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公开(公告)号：CN113960010A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111125949.0
申请日：2021-09-24
Applicant: 江苏锐精光电研究院有限公司 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于涡旋光束的暗场共聚焦拉曼偏振光谱测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。本发明装置包括光纤双波长光照明模块、明场共聚焦模块、暗场偏振共焦拉曼光谱分析模块；通过光纤产生环形照明光束与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取微米级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；共聚焦拉曼光谱测量可对样品化学分子成分等性质进行三维检测分析；通过引入偏振信息测量，可以分析物质极性。
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公开(公告)号：CN118914204A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411018180.6
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种基于差分分数阶涡旋光束的暗场共焦显微测量装置与方法，涉及光学精密测量领域，该装置包括：分数阶涡旋光模块，用于生成第一分数阶涡旋光和第二分数阶涡旋光；光学扫描模块，用于将第一分数阶涡旋光和第二分数阶涡旋光分别对样品进行扫描，得到第一信号回光和第二信号回光；暗场探测模块，用于分别对第一信号回光和第二信号回光进行暗场探测，得到第一分数阶散射暗场图像和第二分数阶散射暗场图像；差分暗场散射图像确定模块，用于将第一分数阶散射暗场图像和第二分数阶散射暗场图像进行差分，得到差分暗场散射图像；缺陷确定模块，用于对差分暗场散射图像进行处理，得到样品缺陷。本发明可提升成像信噪比，提高缺陷检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN118914202A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411010409.1
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于涡旋光孔径扫描的暗场共焦显微测量装置及其方法，涉及光学精密测量技术领域，其中装置包括：涡旋光生成模块、涡旋光孔径扫描模块、样品扫描模块和暗场锁放探测模块；一方面利用涡旋光孔径扫描模块实现聚焦至样品的聚焦光斑在样品上小范围内扫描，产生振荡信号凸显出样品纳米级缺陷的散射信号。另一方面，利用暗场锁放探测模块实现高灵敏度振荡信号探测。本发明中，涡旋光孔径小范围扫描与暗场锁放探测功能的相结合，实现小于50纳米级缺陷的高灵敏度检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118914200A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411010369.0
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于螺旋变换的涡旋二色性暗场共焦显微测量装置，涉及光学精密测量技术领域，相反阶涡旋光束产生模块用于产生混合涡旋光束，样品扫描模块用于利用混合涡旋光束照射待测样品的扫描位置，得到样品反射光束，螺旋变换模块用于对样品反射光束进行空间分离，得到空间分离光束，多阶探测模块用于对空间分离光束进行探测，得到扫描位置的涡旋二色性信号强度，当待测样品的扫描位置无缺陷时，涡旋二色性信号强度为0，当待测样品的扫描位置存在缺陷时，涡旋二色性信号强度不为0，且涡旋二色性信号强度的正负性与缺陷的左旋手性和右旋手性分别对应，从而可以探索三维集成电路层间缺陷的手性特性。
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公开(公告)号：CN117517319A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311426287.X
申请日：2023-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88 , G02B21/06 , G02B21/10 , G02B26/08 , G02B26/10 , G02B6/02 , G02B27/10 , G02B27/30 , G01N21/01
Abstract: 一种基于频率失配解调的暗场共焦显微测量装置及方法，它涉及一种暗场共焦显微测量装置及方法。本发明为了解决传统暗场共焦显微测量的亚表面缺陷无损检测技术依赖复杂的光束整形机制，影响横向和轴向分辨率，并且降低显微系统的稳定性的问题。本发明所述装置包括双通道波形发生器、调制照明模块、光学扫描模块、失配解调模块和轴向位移台；样品放置在轴向位移台上，双通道波形发生器的一个通道与所述调制照明模块连接，所述调制照明模块发出的激光经过所述光学扫描模块照射在样品上，样品的回光由所述失配解调模块收集。本发明属于光学精密测量技术领域。
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公开(公告)号：CN113984771B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202111121288.4
申请日：2021-09-24
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 江苏锐精光电研究院有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括径向偏振光产生模块、旋转方向照明模块、明场超分辨共聚焦探测模块、暗场超分辨共聚焦探测模块；通过偏振转换器产生径向偏振光照明，同时利用互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号并进行双路同步收集，可同时获取亚波长级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息。
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公开(公告)号：CN116465867A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310248941.6
申请日：2023-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超结构表面的热波暗场荧光共焦显微测量装置，包括热波泵浦光产生模块、线振探测光产生模块、照明模块和信号检测模块；述热波泵浦光产生模块和所述线振探测光产生模块分别产生热波泵浦光和荧光激发光；所述照明模块用于接收所述热波泵浦光和所述荧光激发光，在待测样品上形成聚焦光斑，并产生热波荧光信号；其中，所述热波荧光信号包括左旋圆偏振光信号和右旋圆偏振光信号；所述信号检测模块分别获取所述左旋圆偏振光信号和右旋圆偏振光信号的信号值，并计算手性信息；本发明，能够采用热波荧光成像检测，对吸收缺陷的检测具有更高的成像灵敏度，可以对吸收性污染缺陷检测。
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公开(公告)号：CN116297486A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310253142.8
申请日：2023-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于螺旋谱提取的暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括涡旋照明光产生模块、光束扫描照明模块和螺旋谱提取模块；通过液晶空间光调制器加载叉形光栅相位调制样品反射至探测路的光束，同时利用孔径光阑遮挡环形光探测光斑中心光强，提取对应涡旋阶数的螺旋谱分量强度。可提取亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；分析反射光螺旋谱可获取样品的相位等信息；能够准确地实现光学元件相位缺陷与振幅缺陷的识别及分类。
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