公开(公告)号：CN105441892A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201511026931.X

申请日：2015-12-31

Applicant: 同济大学

Inventor： 王占山 ,  黄秋实 ,  王轶文 ,  蒋励 ,  张众

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  G02B5/08

CPC classification number: C23C14/3464 ,  C23C14/165 ,  C23C14/185 ,  C23C14/35 ,  G02B5/0875 ,  G02B5/0891

Abstract: 本发明涉及一种极紫外高反射率的钯/钇多层膜反射镜的制备方法，包括以下步骤：1)在镀膜溅射真空腔内的样品架上设置一基底，该基底的表面粗糙度为0.2纳米以下；2)在所述镀膜溅射真空腔内充入由高纯氩气和高纯氮气混合而成的混合工作气体；3)开启直流磁控溅射电源，执行钯靶材和钇靶材的预溅射；4)将设置有基底的样品架重复交替转到钯靶材和钇靶材上方的溅射区域，控制样品架的停留时间或运动速度，完成钯膜层和钇膜层交替的钯/钇多层膜反射镜的镀制。与现有技术相比，本发明制备的钯/钇多层膜成膜质量和反射率都有明显提高，该方法工艺重复性好，可控性强，在高效率极紫外多层膜元件和相应光学系统领域有重要应用。

公开(公告)号：CN103983204A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201410050122.1

申请日：2014-02-13

Applicant: 同济大学

Inventor： 王占山 ,  马爽 ,  蒋励 ,  沈正祥

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/30

Abstract: 本发明涉及一种利用白噪声功率谱密度(PSD)校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法。白噪声会限制光学表面轮廓仪的空间分辨率，它是一种功率频谱密度为常数的随机信号或随机过程，利用这一规律，将测试结果中符合白噪声功率谱密度(PSD)曲线化规律的部分截断，剩余部分对应有效的空间频率范围。本发明原理简单、操作便捷，不需要借助其他设备，在检测光滑样品的同时就可以完成校准工作，显著降低了光学表面轮廓仪校准的难度和成本，确定了光学表面轮廓仪的有效空间分辨率。

公开(公告)号：CN103954230A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201410050115.1

申请日：2014-02-13

Applicant: 同济大学

Inventor： 王占山 ,  马爽 ,  蒋励 ,  沈正祥

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种校准光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率的方法。分形表面的功率谱密度曲线在对数坐标下是斜率为-n的直线。利用这一规律，采用原子力显微镜对符合分形表面的样品在不同范围内(10μm×10μm、5μm×5μm、2μm×2μm和1μm×1μm)进行测试，并将得到的功率谱密度(PSD)曲线的拟合直线作为标准对光学表面轮廓仪进行校准，实现确定表面轮廓仪实际有效空间分辨率的目的。本发明原理简单、操作便捷，在检测超光滑样品的同时就可以完成校准工作，显著降低了光学表面轮廓仪校准的难度和成本，确定了光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率，定量的给出了实际空间分辨率范围内的表面粗糙度。