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公开(公告)号：CN111229489A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010029716.X
申请日：2020-01-13
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提出了一种高频核壳结构微液滴喷射装置，包括喷头鞘层、喷头内层、针芯、鞘层可控供液装置、内层可控供液装置、鞘层波形可编程电源、内层波形可编程电源、鞘层波形高压放大器和内层波形高压放大器，所述喷头内层嵌设在喷头鞘层内，所述喷头内层表面设有喷头内层绝缘层。本发明通过喷头鞘层和喷头内层的独立控制供电，分别控制高压电源的电压和频率，与溶液性质进行匹配，可实现微液滴体积以及多核包裹核壳结构的精确调控，引入高频振动针芯，促进溶液微界面流动，从而实现高粘度差鞘层溶液与内层溶液的同步喷射与核壳包裹，并提高核壳结构微液滴的喷射频率。
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公开(公告)号：CN106449269B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201610889673.6
申请日：2016-10-12
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS压力开关，具体涉及一种压力敏感结构以及制备该压力敏感结构的方法；本发明的压力敏感结构，在硅盖板晶圆片上紧邻玻璃浆料密封环的两侧设置内、外参考墙，内、外参考墙之间设置玻璃浆料密封环，封装密封性能良好同时简化了器件结构，且上、下金属电极接触可靠、额定阈值精确可调，实现压力开关的带引线真空封装，工作可靠；同时本发明公开了该压力敏感结构的制备方法，该方法简化了压力敏感结构制备工艺流程，降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN104535228B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510043292.1
申请日：2015-01-28
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器，涉及一种压力传感器。设有上基板和下基板，上基板下表面设有上凹槽，下基板上表面设有下凹槽，上凹槽与下凹槽之间形成空腔；在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层，所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板，可变电容上极板位于平面电感线圈中间，固定电容上极板位于平面电感线圈外部；所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接，平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接；所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线。制备工艺简单，密封性能好，生产成本低。
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公开(公告)号：CN104999776A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201510399087.9
申请日：2015-07-09
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及丝网印刷设备技术领域，具体一种丝网印刷对准系统及方法，在丝网印刷机上设丝网版和升降台，在丝网版上设有夹具，升降台上设有XYR微动平台，XYR微动平台上设有真空吸盘，真空吸盘用于吸附承印物，承印物对应于丝网版下方，丝网版上设有第一定位标志，承印物上设有相对应的第二定位标志，夹具用于调节成像及放大相机相对丝网版的高度和二维平面坐标，XYR微动平台用于调节承印物的二维平面坐标并旋转承印物，升降台用于调节承印物的高度，成像及放大相机采集丝网版和承印物上的第一、第二定位标志，并通过XYR微动平台和升降台调节承印物的位置和方向，使得第一定位标志与第二定位标志精确对准，实现承印物落料区域与丝网版上的图案精确对准。
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公开(公告)号：CN103224219A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201310112265.6
申请日：2013-04-02
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种用于微器件圆片级封装的纳米吸气剂集成方法，涉及一种吸气剂的集成方法。在硅/玻璃键合组合片上加工下沉槽和可动结构；在硅片正面加工定向碳纳米管结构；在玻璃片正面图案化印刷玻璃浆料结构，将硅片与玻璃片正面相对置于键合机内，加热到令玻璃浆料结构软化的烧结温度，控制硅片与玻璃片之间距离，使定向碳纳米管结构的上端部分与玻璃浆料结构接触，冷却后分离硅片与玻璃片，实现定向碳纳米管结构粘贴至玻璃片上；在定向碳纳米管结构上沉积吸气剂薄膜，得吸气剂结构；将硅/玻璃键合组合片与玻璃片置于键合机内对准，使定向碳纳米管结构置于下沉槽内，真空下将硅/玻璃键合组合片与玻璃片键合在一起，形成具有真空度的MEMS器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102019240B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN201010611543.9
申请日：2010-12-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 可起停控制的电纺直写喷头，涉及一种电纺直写喷头。提供一种可自动起停控制、降低喷射开启电压、实现喷射与直写图案特征有机结合、完成复杂图案微纳米结构直写的可起停控制的电纺直写喷头。设带喷头空心套管、带螺纹调节塞、线圈、衔铁、回位弹簧、探针、排气管道；带喷头空心套管前端设有喷孔和注入孔，带螺纹调节塞设于带喷头空心套管后端，线圈套在带喷头空心套管外侧，衔铁设于带喷头空心套管内，探针与衔铁固连，探针前端位于带喷头空心套管前端的喷孔中，探针后端与回位弹簧一端固连，回位弹簧另一端与带螺纹调节塞内端固连，排气管道设于带螺纹调节塞上，排气管道内端与带喷头空心套管内腔相通，排气管道外端与外界相通。
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公开(公告)号：CN1958437A
公开(公告)日：2007-05-09
申请号：CN200610135263.9
申请日：2006-11-28
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 硅金键合方法，涉及一种硅金键合方法。提供一种可提高硅金键合晶片的键合品质，基于硅基多孔氧化铝的新型MEMS器件硅金键合方法。步骤为采用两步恒压阳极氧化法制备硅基多孔氧化铝薄膜：用电子束蒸发方法在硅片上制备一层厚度1.0～1.5μm的铝膜，一次氧化后用6wt％的磷酸和1.8wt％的铬酸混合液去除一次氧化膜，再二次氧化后用5wt％的磷酸进行扩孔处理；制备键合晶片：将2片硅片放入键合器，烘干后在N2保护下退火得键合晶片。硅金键合晶片的键合强度由1.78MPa提高到3.03MPa，晶片的键合品质得到显著提高；而晶片的断裂界面没有发生什么变化，说明基于AAO的硅金键合晶片依然遵循硅金键合晶片的断裂特性。
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公开(公告)号：CN112301435B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202011122953.7
申请日：2020-10-20
Applicant: 厦门大学
IPC: D01D5/00
Abstract: 本发明涉及电纺直写的技术领域，公开了一种多射流电纺直写深度学习控制系统，包括储液槽、供液器、多个纺丝喷头、安装支架、供液器、高压电源、收集板、电流检测器、环境传感器、数据采集器和控制计算机，数据采集器的信号输入端与环境传感器、电流检测器的信号输出端连接；数据采集器的信号输出端连接控制计算机的信号出入端，控制计算机的信号输出端与高压电源的信号输入端、供液器的信号输入端连接，控制计算机设有参数输入端口和深度学习控制系统，高压电源电压调整幅值控制规则，供液器供液流量流速调整规则由深度学习控制系统根据不同生产条件的自动调整，实现对不同纺丝溶液多射流电纺直写过程的控制。
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公开(公告)号：CN111484088B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202010177255.0
申请日：2020-06-29
Applicant: 厦门大学深圳研究院
Abstract: 本发明提出了一种多级别选择性纳米纤维柱水处理净化装置，包括上位机、上层流道出水盖板、多材料分散过滤板块和下层流道进水基板，所述上层流道出水盖板和下层流道进水基板分别设于多材料分散过滤板块的上下端，所述多材料分散过滤板块的侧边设有拨动弹力卡扣，所述上层流道出水盖板和下层流道进水基板通过拨动弹力卡扣分别与多材料分散过滤板块相连接。本发明通过上位机向电子阀门输出控制指令，通断不同的阀门，达到控制液体流向目的，同时确定净化材料的过滤顺序与过滤级数，使其可以根据需求选择性经过多级净化材料，有效提高净化质量。
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公开(公告)号：CN113510015A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110861871.2
申请日：2021-07-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明涉及静电喷雾的技术领域，公开了一种新型微纳喷头，包括壳体、喷头组件和驱动装置，壳体内设有安装腔，喷头组件包括进液管、旋转筒和喷针，旋转筒固定在安装腔内，进液管与旋转筒的顶端连通，安装腔的底面设有支撑座，旋转筒转动安装在支撑座上，喷针位于壳体的下方，喷针的顶部与旋转筒的底面相连接，驱动装置固定在安装腔内，驱动装置与旋转筒的外侧壁驱动连接，旋转筒可旋转设置，能够有效的防止溶液在喷头中出现沉积，保证溶液的均质。
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