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公开(公告)号：CN108358465A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810223615.9
申请日：2018-03-16
Applicant: 南京邮电大学
CPC classification number: C03C17/30 , B05D7/24 , B05D2203/30 , B05D2203/35 , B05D2518/10 , B05D2602/00 , C03C2217/445 , C03C2217/477 , C03C2217/48 , C03C2217/70 , C03C2218/116 , G02B1/00
Abstract: 本发明公开了一种具有光开关与光固化功能的复合薄膜材料的制备方法，通过改进的溶胶-凝胶技术结合低温有机-无机复合技术在二氧化钛基有机-无机复合材料中同时引入了偶氮苯小分子以及有机光敏功能基团，制备得到了既具有光开关性能，又具有光固化功能，同时又拥有优良的光波导性能的二氧化钛基有机-无机复合光波导材料。该制备工艺过程简单，制作成本低廉，可实现批量生产。另外，在低温下即可获得数微米厚、折射率可调的多功能性复合平面光波导材料。鉴于该复合薄膜具有光固化功能，可通过光学光刻、紫外软压印等方法直接在该复合薄膜上制备微光学元器件。在光子学与光电子器件制备等领域具有非常重要的应用。
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公开(公告)号：CN105642376B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201511010392.0
申请日：2015-12-29
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种生物荧光微全分析系统芯片及其制备方法，该芯片包括：PDMS微流通道、InGaN基LD、Si光电探测器三部分，分别构成所述芯片的上层、中层、底层，通过硅片键合技术接合为一体；其中，所述的PDMS微流通道与玻璃片键合而成为样品台；所述的InGaN基LD用作激发光源；所述的Si光电探测器用于检测和分析激发荧光信号；所述的InGaN基LD和Si光电探测器中间接合有一个光带通滤波器。本发明的荧光微全分析系统芯片实现了将激发光源与样品台和光电检测器集成在同一个芯片上，具有高度的集成化，此外，该芯片还具有生物材料消耗低，荧光背景噪声小，灵敏度高等特点，在医疗诊断和环境分析等领域具有非常重要的应用意义。
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公开(公告)号：CN114337831B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202111439328.X
申请日：2021-11-30
Applicant: 南京邮电大学 , 南京先进激光技术研究院
IPC: H04B10/50 , H04B10/508 , H04B10/516 , H04B10/80
Abstract: 本发明公开了一种提高水下蓝绿激光通信可靠性的方法及系统，属于水下无线通信领域，通过数据预处理、峰值判决结合自适应阈值判决，将所述激光通信系统的脉冲进行数据预处理去噪，对去噪之后的数据进行峰值判决，同时结合自适应阈值判决方式对所述激光信息进行恢复，最终恢复出所述激光系统发射端信息。本发明克服现有技术中的不足，对于激光通信在水下受到的噪声干扰起到了良好的抑制作用，有效避免了水下激光折射、散射带来的信息损失，提高了水下激光通信的可靠性。
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公开(公告)号：CN112853267B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202110022043.X
申请日：2021-01-08
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于叠片结构的BaZr0.2Ti0.8O3多层薄膜及制备方法，多层薄膜包括若干层交替错位沉积在基片上电极薄膜层和BaZr0.2Ti0.8O3薄膜层，通过磁控溅射和平移掩膜板的方法在基片上交替错位沉积电极薄膜层和BaZr0.2Ti0.8O3薄膜层。本发明简化了多层薄膜的制备工艺，不需要重复的刻蚀等步骤，避免产生二次污染和防止结构损伤；沉积速率高，提高了镀膜质量和镀膜效率；能较大面积成膜，可实现大尺寸样品的制备，适用于批量生产。
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公开(公告)号：CN114944453A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202210419379.4
申请日：2022-04-20
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 一种具有超高存储窗口的晶态TaOx阻变存储器及其制备方法，属于半导体薄膜及其阻变存储器技术领域。主要包括：1)处理(100)取向的单晶Si衬底；2）在衬底上通过磁控溅射法制备(222)取向的ITO底电极；3)在ITO底电极上通过射频反应磁控溅射法生长主晶向(100)、最大晶粒尺寸为30nm的晶态TaOx薄膜作电阻层；4）在电阻层上通过磁控溅射法沉积Ta电极。本发明制备了主晶向(100)、最大晶粒尺寸为30nm的晶态TaOx薄膜，薄膜晶体结构和晶粒尺寸俱佳，生长速度快，薄膜成分可控，以其为电阻层的晶态TaOx阻变存储器表现出超高的存储窗口、很低的操作电压和较强的耐久性，可以为晶态TaOx阻变存储器的商业化和工业化应用提供一定的技术指导。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113215549A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110498532.2
申请日：2021-05-08
Applicant: 南京邮电大学
IPC: C23C14/58 , H01L21/477 , C23C14/08 , C23C14/35 , C23C14/46
Abstract: 本发明公开了一种基于射频磁控溅射的锆钛酸钡薄膜退火方法，属于锆钛酸钡制备技术领域，以钛酸锶为基体，溅射钌酸锶材料作为衬底，利用磁控溅射技术将其溅射到基体表面，然后利用锆钛酸钡靶材溅射锆钛酸钡材料镀在表面，其中锆钛酸钡靶材中锆含量为20mol.％。钌酸锶电极沉积的过程中，采用混合气氛溅射得到薄膜，锆钛酸钡薄膜沉积的过程中，采用混合气氛溅射，得到膜厚为280nm，溅射结束后，对样品进行保温处理，之后取出部分样品进行退火处理；本申请通过退火工艺有效增强了锆钛酸钡薄膜衍射峰的强度，改善锆钛酸钡薄膜的结晶性，进而提高了薄膜质量，其铁电性能明显提升。
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公开(公告)号：CN112670087A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011431103.5
申请日：2020-12-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01G4/33 , H01L27/11507
Abstract: 本发明公开了一种应用于铁电储存器中使用的铁电薄膜电容，包括硅基底层、上电极层、铁电薄膜层以及下电极层，所述上电极层、铁电薄膜层以及下电极层依次设置于硅基底层上且在上电极层、下电极层与铁电薄膜层之间分别设置有缓冲层，在所述缓冲层与铁电薄膜层之间设置有隔离层，所述上电极层的上部设置有呈格栅状的金属互联，本发明引入隔离层，改善界面，减少了薄膜中氧空位的聚集程度，铁电薄膜的疲劳及保持性能得到了极大的改善。
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公开(公告)号：CN111575666A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010523344.6
申请日：2020-06-10
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种制备(222)强织构ITO薄膜的方法，包括以下步骤：(1)清洗硅基片并安装于磁控溅射设备的腔室中；(2)将靶材放置于磁控溅射设备的腔室内，调整靶材和硅基片之间的距离；(3)对腔室进行抽真空处理；(4)对硅基片进行加热处理；(5)向腔室通入氩气和氧气；(6)开启磁控溅射设备，对硅基片进行溅射；(7)溅射完成后，得到(222)晶面高度择优取向的ITO薄膜。本发明通过实现了在普通单晶Si(100)基底上制备(222)晶面高度择优取向的ITO薄膜，无需引入种子层，利于高质量电子陶瓷薄膜在Si上的集成，具有结晶性良好，工艺简便，易于工业化的特点。
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公开(公告)号：CN110441838A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910727738.0
申请日：2019-08-07
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于二氧化钛有机-无机光敏复合薄膜异形凸透镜阵列的制备方法，首先利用光刻技术制造出具有规则排列的光刻胶柱体结构，再对得到的结构加热进行热回流处理，得到凸透镜阵列的母版结构，然后在母版上浇注PDMS，热固化后复制得到具有凹透镜阵列结构的软模板，最后通过紫外软压印技术在二氧化钛有机-无机光敏复合薄膜上制备得到凸透镜阵列结构。最终得到的异形凸透镜阵列结构的形状和尺寸可以根据不同的母版形状和尺寸进行调节，而凸透镜阵列结构的基本光学参数可通过调节光敏复合材料的折射率等实现。本发明具有制作快速，成本低，转移精度高，重复性强的优点。
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公开(公告)号：CN105642376A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201511010392.0
申请日：2015-12-29
Applicant: 南京邮电大学
CPC classification number: B01L3/5027 , B01L3/502707 , B01L2300/06 , B01L2300/0819 , G01N21/6486
Abstract: 本发明公开了一种生物荧光微全分析系统芯片及其制备方法，该芯片包括：PDMS微流通道、InGaN基LD、Si光电探测器三部分，分别构成所述芯片的上层、中层、底层，通过硅片键合技术接合为一体；其中，所述的PDMS微流通道与玻璃片键合而成为样品台；所述的InGaN基LD用作激发光源；所述的Si光电探测器用于检测和分析激发荧光信号；所述的InGaN基LD和Si光电探测器中间接合有一个光带通滤波器。本发明的荧光微全分析系统芯片实现了将激发光源与样品台和光电检测器集成在同一个芯片上，具有高度的集成化，此外，该芯片还具有生物材料消耗低，荧光背景噪声小，灵敏度高等特点，在医疗诊断和环境分析等领域具有非常重要的应用意义。
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