一种纳米结构的侧壁成形制造方法

    公开(公告)号:CN104528634A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201410782852.0

    申请日:2014-12-16

    Abstract: 本发明公开了一种纳米结构的侧壁成形制造方法,该方法可以人工制造任意尺寸和小于5nm的纳米点和线结构。低价的纳微米结构的制造方法:与传统的制造方法相比,“侧壁纳米结构成形”的方法,无需依赖昂贵的电子束曝光设备和高分辨率的深紫外光刻设备,做到低价的纳米结构产生方法,可广泛应用于纳米基础科学和应用研究和工业化生产中对纳微米结构制造的需求。宽的纳微米结构制造范围:因为侧壁纳米结构成形方法制备的纳微米结构取决于沉积的侧壁硬掩膜材料的厚度,这样利用这种方法可以制造任意尺寸的纳微米结构。

    一种高选择性高灵敏度的半导体丙酮传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN110161086A

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201910417147.3

    申请日:2019-05-20

    Abstract: 本发明公开了一种高选择性高灵敏度的半导体丙酮传感器的制备方法。该制备方法包括以下步骤:按质量比为1:99称量SnO2和IN2O3,然后加入乙醇混合球磨得混合物A;将步骤1中混合物A烘干后,加入粘合剂,造粒得母粒;将母粒使用压片机按压成型,然后放入管式炉烧结得靶材;清洗平面电极,与靶材一起装入磁控溅射设备腔体内,然后开始沉积薄膜;沉积结束后,将样品取出封装成传感器的半成品,然后将半成品在空气中240℃下老化7天,即得半导体丙酮传感器。本发明通过磁控溅射制备的掺杂S nO2的IN2O3薄膜气敏材料,可以在较低温度下检测ppb级别的丙酮,检测限在20ppb,并且具有较高的选择性。

    一种SnO2掺杂ZnO的氢气传感材料的制备方法与应用

    公开(公告)号:CN108627550A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201810480106.4

    申请日:2018-05-18

    Abstract: 本发明公开了一种SnO2掺杂ZnO的氢气传感材料的制备方法与应用。该制备方法包括以下步骤:氧化锌分散在乙醇溶液中,磁力搅拌10min后再超声10min,继续搅拌10min,作为溶液A;将二水氯化亚锡溶液边搅拌边滴入溶液A中,滴加完毕后继续磁力搅拌20min,将混合溶液转移至反应釜中,连同反应釜置于烘箱中120℃时反应24h,再将反应生成物分别用乙醇和水离心洗涤3次后,于烘箱中80℃干燥20h,得到浅黄色粉末;将浅黄色粉末在400-600℃下煅烧2 h,即可。本发明方法制备过程简单,且所得SnO2掺杂ZnO的氢气传感材料对低浓度的氢气灵敏度高,且制备过程简单。

    一种多核-壳结构的ZnO多孔材料的制备方法与应用

    公开(公告)号:CN108609647A

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201810480085.6

    申请日:2018-05-18

    Abstract: 本发明公开了一种多核-壳结构的ZnO多孔材料的制备方法与应用。该制备方法包括以下步骤:二水乙酸锌溶于甲醇溶液中,磁力搅拌10min后,超声处理10min,再继续磁力搅拌10min,作为溶液A;将水杨酸溶于甲醇溶液中,磁力搅拌20min,作为溶液B;将溶液A和溶液B混合,磁力搅拌10min后,再混合溶液转移至反应釜中,连同反应釜置于烘箱中160℃时反应24h,反应产物分别用乙醇和水离心洗涤3次后,于烘箱中于60℃干燥12h,得到浅黄色粉末;步骤4,将浅黄色粉末煅烧2h,即可。本发明制备方法简单,且所得多核-壳结构的ZnO多孔材料应用领域广。

    一种大面积氧化锌纳微发电机的制造方法

    公开(公告)号:CN104037320A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410229816.1

    申请日:2014-05-28

    Abstract: 一种大面积ZnO纳微发电机的制造方法,在衬底上沉积Au电极;旋涂光刻胶,形成Y方向的光刻胶纳微米线结构;通过离子束刻蚀刻蚀掉没有光刻胶保护的Au电极材料,然后沉积硬掩膜材料氧化铝,刻蚀掉侧壁的氧化铝材料,以暴露光刻胶;用丙酮剥离掉光刻胶及上面的Al2O3,利用溶胶凝胶法沉积ZnO薄膜;用离子束刻蚀和丙酮进行光刻胶剥离形成ZnO纳米线;旋涂光刻胶,经曝光和成型后露出两端的ZnO纳米线;利用电子束蒸发沉积Pt电极;用丙酮剥离掉光刻胶,刻蚀去除Al2O3,压电纳米发电机结构;暴露压电纳米发电机到振动源,产生压电转换和纳微压电发电。达到低成本、高机械能-电能转化纳米发电机的大面积可控生产和加工。

    微传感器节点、无线供电装置、无线传感器网络

    公开(公告)号:CN205595903U

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201620370078.7

    申请日:2016-04-28

    Abstract: 本实用新型公开了一种微传感器节点,属于传感器技术领域。该微传感器节点包括微传感器、无线模块以及用于为微传感器和无线模块供能的供能单元;所述供能单元包括能量线圈以及具有储能部件的能量收集电路,所述能量线圈可在周围空间中存在变化的电磁场时产生感应电能,所述能量收集电路可将能量线圈所产生的感应电能收集并存储于所述储能部件后供给微传感器和无线模块。本实用新型还公开了一种用于为该微传感器节点进行无线供电的无线供电装置以及一种无线传感器网络。本实用新型可利用周围空间中变化的电磁场,将微弱的无线信号能量收集并存储起来,供给节点中的用电设备使用;不需要使用电池,实用性更强且环境亲和性更好。

    WirelessHART适配器、网络节点及网络

    公开(公告)号:CN205596147U

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201620370073.4

    申请日:2016-04-28

    Abstract: 本实用新型公开了一种WirelessHART适配器,用于将HART设备接入WirelessHART网络。所述WirelessHART适配器包括:电源模块,用于为WirelessHART适配器中的用电部件提供电能;HART模块,用于与HART设备进行符合HART协议的数据通信;WirelessHART无线模块,用于与WirelessHART网络中的其它节点以及网关之间进行符合WirelessHART协议的无线数据通信;控制模块,分别与HART模块、WirelessHART无线模块连接,用于实现WirelessHART协议与HART协议之间的数据转换。本实用新型还公开了一种WirelessHART网络节点及WirelessHART网络。本实用新型可方便且低成本地实现现有HART设备的无线组网。

Patent Agency Ranking