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公开(公告)号：CN116856050A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202210315664.1
申请日：2022-03-28
Abstract: 本发明公开了一种适用于单晶石墨烯晶圆生长的合金衬底。单晶石墨烯晶圆的制备包括以下步骤：1)构筑铜钴(111)合金晶圆，其中将磁控溅射制备的铜钴合金/蓝宝石晶圆置于化学气相沉积系统中进行退火处理，得到铜钴(111)合金晶圆；2)通入气态碳源，在所述铜钴(111)合金晶圆表面外延生长单晶石墨烯。本方法一方面有利于解决现有铜晶圆高温退火单晶化时表面的热沟壑问题，从而提高合金晶圆的表面平整度和均匀性。另一方面，本方法利用钴元素自身的高催化活性和溶碳量，可以实现石墨烯单晶晶圆畴区尺寸、生长速率和层数的有效调控。
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公开(公告)号：CN116764540A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202210237978.4
申请日：2022-03-11
Abstract: 本申请提供一种石墨烯包覆电极材料的制备系统及制备方法。制备系统包括抽气装置、输料装置、动力装置、反应管、射频线圈和加热炉，动力装置为输料装置提供动力。反应管内部容纳输料装置，反应管的两端分别密封连接动力装置和抽气装置。反应管的侧壁上设置有进料口、进气口和出料口，反应管与抽气装置连接的一端设置有出气口。射频线圈套设在反应管的外部并靠近动力装置，加热炉设置在反应管的外部并靠近抽气装置，加热炉与射频线圈在沿反应管径向方向上具有一间隔。通过以上设计，可实现石墨烯原位包覆电极材料，并有利于实现快速均匀包覆。
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公开(公告)号：CN116445856A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310442703.9
申请日：2023-04-23
IPC: C23C14/06
Abstract: 本发明公开一种石墨烯薄膜的制备方法及其该方法制备的石墨烯。该制备方法以乙炔、丙酮和氩气的混合气体为碳源在衬底上生长石墨烯薄膜。本发明以乙炔、丙酮和氩气的混合气体为碳源可以实现在多种衬底上的快速、高质量、大面积生长石墨烯薄膜。生长时间可以从小时量级缩短到分钟量级，显著缩短石墨烯的生长时间；同时生长的石墨烯薄膜单层覆盖度＞99％，ID/IG显著低于0.05，可以显著提高石墨烯的单层覆盖度及石墨烯薄膜的质量；可实现一定面积范围的石墨烯薄膜的批量生长。
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公开(公告)号：CN112746262B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN201911035935.2
申请日：2019-10-29
IPC: C23C16/26 , C23C16/505 , C23C16/54 , C01B32/186
Abstract: 本公开提供一种石墨烯复合金属箔及其双面生长方法和装置，该装置包括化学气相沉积炉、放卷轴和收卷轴，其中化学气相沉积炉包括依次连接的等离子体辉光区和加热生长区；放卷轴和收卷轴分别位于化学气相沉积炉的两侧，通过放卷轴和收卷轴的转动，以带动金属箔进出化学气相沉积炉并在其上沉积生长石墨烯；其中等离子体辉光区内设有包括平板的支架，平板的上下区域均包括中空区域，金属箔平直通过平板表面并悬空于加热生长区，使金属箔双面生长石墨烯。该装置通过特殊的支架设计，可以在金属箔材基底上一次制备得到双面生长的垂直结构石墨烯，生长温度低，垂直结构石墨烯结构和总厚度可控性高，金属种类和材质适应性广，适用于工业化大规模生产。
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公开(公告)号：CN113622024B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202010380747.X
申请日：2020-05-08
Abstract: 本发明提供了一种单晶石墨烯的制备方法，包括通过化学气相沉积工艺制备所述单晶石墨烯；其中，所述化学气相沉积工艺包括如下步骤：S1：于不包含还原性气体的反应体系内，在基底上形成石墨烯核；以及S2：于还原性气体的作用下，在所述石墨烯核的基础上形成所述单晶石墨烯。本发明一实施方式的单晶石墨烯的制备方法，在石墨烯成核阶段未使用还原性气体，使得石墨烯核的取向完全受单晶基底的调控，实现取向一致。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114956062A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202110213872.6
申请日：2021-02-25
IPC: C01B32/194
Abstract: 本发明公开一种单晶晶圆石墨烯薄膜的转移方法，包括：在直接生长于生长基底上的单晶晶圆石墨烯薄膜表面依次形成萜类小分子层、辅助支撑层并贴合热释放胶带，得到复合层；采用鼓泡剥离法将生长基底分离；待复合层干燥后，将其贴合到目标衬底；以及除去复合层中的热释放胶带和各胶层。本发明的单晶晶圆石墨烯薄膜的转移方法，通过构筑“热释放胶带/辅助支撑层辅助支撑层/萜类小分子层/单晶晶圆石墨烯薄膜/生长基底”的分层结构，基于鼓泡剥离法可以在数分钟之内与生长基底剥离，可以避免鼓泡过程对晶圆石墨烯薄膜的损坏；并且鼓泡剥离法不会损伤生长基底，生长基底可重复使用，可大幅降低生产成本。本发明的转移方法兼容石墨烯的层层转移。
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公开(公告)号：CN114836828A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202110138724.2
申请日：2021-02-01
Abstract: 本申请提供一种大畴区石墨烯单晶的制备方法，其包括如下步骤：1)在微量氧化气氛对蓝宝石/金属基底进行退火；2)按照生长气体比例梯度增加的方式提供生长气体，在所述蓝宝石/金属基底上生长得到所述大畴区石墨烯单晶。本发明采用在单晶金属/蓝宝石晶圆基底上利用“外延+取向一致拼接”的方法制备单晶石墨烯薄膜，并且通过“微氧钝化退火+梯度供气”的方式，克服了在拼接过程中会出现的一定程度的转角或者缺陷，使得制得的单晶石墨烯薄膜更加完美，大大提高了所得石墨烯膜的品质，并且所得的石墨烯呈单晶形式，且所得石墨烯单晶畴区尺寸大，畴区尺寸数倍于常规方法得到的石墨烯单晶。
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公开(公告)号：CN112442729B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201910816010.5
申请日：2019-08-30
Abstract: 本申请提供一种制备大面积单晶铜箔的方法。本申请提供的方法包括：‑提供多晶铜箔；‑提供材质为石墨或六方氮化硼的载具；‑将所述多晶铜箔置于所述载具上；‑对所述载具上的所述多晶铜箔在一定温度梯度下进行退火，得到所述单晶铜箔。由于石墨和六方氮化硼等载具具有优良的润滑性，高温下铜和石墨或六方氮化硼的相互作用较弱，采用这种材质的载具可以大大减小退火过程中载具与其上方铜箔之间的相互作用，减小高温下载具对铜箔产生的外应力，因此不仅保证了良好的单晶化效果，而且可以维持铜箔本身形貌的规则平整。
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公开(公告)号：CN113802107A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202010546760.8
申请日：2020-06-16
IPC: C23C16/26 , C23C16/509 , C01B32/186
Abstract: 本发明提供一种利用PECVD制备石墨烯的装置及方法，装置包括沉积炉、等离子体源、第一极板和第二极板，第一极板设置于沉积炉内，第一极板连接于等离子体源的发射端；第二极板设置于沉积炉内，第二极板与第一极板相对设置，且在沉积炉的第一区域具有重叠部分，第二极板连接于等离子体源的接地端。相比现有技术中的电感耦合的方式，由于第一极板和第二极板之间以电容耦合方式激发等离子体，使等离子的分布更均匀，生长在基底上的石墨烯更加均匀，提高了石墨烯薄膜的质量。通过相对设置的极板产生等离子体的方式，使两个极板间产生的辉光区域的面积相比现有技术线圈产生的辉光区域的面积更大，进而本实施例的装置能够生长出大尺寸的石墨烯。
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公开(公告)号：CN113655560A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202010397157.8
申请日：2020-05-12
IPC: G02B6/02 , C03C25/223 , C03C25/1065 , C03C25/44 , C03C25/42
Abstract: 提供一种具有石墨烯‑氮化硼异质结构的光纤，包括光纤本体和设置在所述光纤本体表面的石墨烯薄膜和氮化硼薄膜，所述石墨烯薄膜和所述氮化硼薄膜层叠构成异质结构。还提供该光纤的制备方法。本发明的具有石墨烯‑氮化硼异质结构的光纤，相对于单纯的石墨烯光纤而言，可以增加光和石墨烯的相互作用，在非线性锁模激光器、波长转换器、光频梳等方面具有广阔的应用前景。通过化学气相沉积法制备具有石墨烯‑氮化硼异质结构的光纤步骤简单，生长工艺可控性强，重复性高，石墨烯‑氮化硼异质结构薄膜质量高，可实现同一批次多根光纤批量生长。
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