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公开(公告)号：CN117457467A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311743459.6
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法，涉及半导体刻蚀技术领域，解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置，并对其空间不均匀性进行评估校准”，装置包括：腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块，所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直；方法包括：通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强；基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强；通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数，得到等离子体二维空间分布；评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准；该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点，对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。
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公开(公告)号：CN117451238A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311743364.4
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置，涉及电推进技术领域，方法包括：将所述原子光与各价离子光数据和所述基于推力架获得的推进器推力输入发散角修正系数循环神经网络，得到羽流发散角修正系数；根据所述羽流发散角修正系数构建推力循环神经网络，将预先测得的电压电流噪声特性和所述在轨电压和在轨电流输入所述推力循环神经网络，得到未修正推力；将预先测得的响应时间间隔内的卫星动量差以及所述未修正推力输入天地修正循环神经网络，得到天地修正系数，并根据所述天地修正系数对所述未修正推力进行修正得到实时推力；该方法结合循环神经网络计算得出实时推力变化，具有实时性高、高精度、对推力器羽流没有影响的优势。
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公开(公告)号：CN117420121A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311743388.X
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N21/70 , G06F18/2135 , G06F18/23 , G01N21/25
Abstract: 本发明提出了基于碰撞辐射和光谱关联的金属光谱识别方法及系统，属于航天等离子体推进领域，首先确定实验中采集的光谱中心波长的偏移量；在满足偏移量的条件下，依据爱因斯坦发射系数、相对强度、上能级水平以及下能级水平的强度，综合比较进行谱线的初步辨识；对于偏移量满足确定的范围但仍无法区分的谱线，重点关注其上能级的能级结构，找出具有相同上能级的其他强谱线，进一步确定这些谱线是否存在，以完成基于碰撞辐射和光谱关联的复杂结构金属光谱识别，依靠此方法可以对钡钨空心阴极内部关键部件的金属谱线辨识分离。
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公开(公告)号：CN114236450A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111464781.6
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明涉及一种等离子体静电探针校准用模拟负载，包括可调精密恒压源、MOSFET模块、二极管阵列、相位补偿过压保护网络、屏蔽机箱和同轴接头，二极管阵列用于产生单向导通且随电压指数增长的探针电流，以模拟探针过渡区的电流信号，MOSFET模块用于在探针对地正电压下产生饱和电流信号以模拟探针的电子饱和电流；可调精密恒压源用于为MOSFET模块提供精准稳定的栅极电压，相位补偿过压保护网络用于限制MOSFET模块饱和电流、补偿探针高速扫描时二极管阵列引起的相位偏差、保护测试负载免受过高的探针电压烧毁。本发明可模拟空间等离子体的特征阻抗，与探针电源配合使用可获得大电流范围内的等离子体探针特征电压电流曲线，具有极高的精度、重复性和稳定性。
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公开(公告)号：CN111315106A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010203562.1
申请日：2020-03-20
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本申请提供了一种等离子体发生器校准系统。所述等离子体发生器校准系统包括：第一真空校准系统，所述第一真空校准系统用于校准标准量传装置以及标准探针；第二真空校准系统，所述第二真空校准系统与所述第一真空校准系统连通，其内设置有待校准等离子体发生器；其中，所述第二真空校准系统用于使用经过所述第一真空校准系统校准后的标准量传装置对所述待校准等离子体发生器进行校准。采用本申请的等离子体发生器校准系统，通过第一真空校准系统以及第二真空校准系统的组合，满足校准的同时，提供了一种高效的等离子体校准与舱室压力调节形式，在保证设备易用性、经济性的前提下，提升校准平台在校准电推进器过程的效率与灵活性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102539019B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201210001769.6
申请日：2012-01-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: 空间真空环境下的温度测量与校准平台，有利于实现接触式测温与非接触式测温的同时校准，从而服务于卫星、飞船等航天器的热真空、热平衡试验包括恒温槽，所述恒温槽内设置有双子真空腔，所述双子真空腔包括第1真空腔体和第2真空腔体，所述第1真空腔体和第2真空腔体通过三通连接真空抽取装置，所述第1真空腔体的外壁上和所述第2真空腔体的外壁上均设置有标准温度计传感器，所述标准温度计传感器连接温度二次仪表；所述第1真空腔体的真空腔中设置有激光光路反射装置，用于校准基于可调谐二极管激光吸收光谱技术的非接触式测温系统；所述第2真空腔体的真空腔用于容纳温度传感器，以校准采用所述温度传感器的接触式测温系统。
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公开(公告)号：CN102519670A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201210001886.2
申请日：2012-01-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 真空计电参数检定装置，有利于实现多种型号的简便校准，包括具有电流端和电压端的数字多用表，所述电流端连接第一个二选一开关的一个活动端，所述电压端连接第一个二选一开关的另一个活动端，所述第一个二选一开关的固定端连接第二个二选一开关的固定端，所述第二个二选一开关的一个活动端连接电离真空计测量电路，所述第二个二选一开关的另一个活动端连接热偶真空计测量电路；所述电离真空计测量电路包括电源，所述电源连接电阻阵列，所述电阻阵列向被测电离真空计提供离子流输入，所述电离真空计测量电路通过真空规接线座连接被测电离真空计；所述热偶真空计测量电路通过等效电阻电路连接电源，通过真空规接线座连接被测热偶真空计。
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公开(公告)号：CN118549138B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202410877279.5
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 霍尔推进器震荡光电联合监测装置及方法，涉及电推进技术领域。解决了现有电推进羽流推力波动的监测方法存在误差，光谱数据难以采集，计算成本高的问题。所述装置包括：平面、霍尔推进器、二维数据采集装置、探针支架、法拉第探针、RPA探针、推力器羽流和支架；所述霍尔推进器固定在平面上，所述霍尔推进器推进形成推力器羽流，二维数据采集装置通过支架固定在平面上；所述法拉第探针、RPA探针所组成的探针阵列固定在探针支架上。本发明应用于电推力器监测领域。
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公开(公告)号：CN114245554B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202111465016.6
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明涉及一种等离子体推力器羽流参数多点测量装置及测量方法，多点测量装置，包括：真空舱；与所述真空舱相连接的真空泵单元；与所述真空泵单元相连接的工控单元，用于提供并维持所述真空舱的真空环境；以及测量单元；所述测量单元包括：至少两个设置在所述真空舱内的三维移动平台；设置于所述三维移动平台上的探测结构；与所述探测结构连接，用于采集数据的采集单元；探测结构采用朗缪尔探针、RPA探针或Faraday探针。本发明可以提高等离子体测量效率、能够连续测量羽流多点对称性，打破朗缪尔探针使用的局限性、屏蔽探针电路中的误差干扰，同时，本发明的多点测量装置结构简单、稳定可靠，实用性强。
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公开(公告)号：CN118678524A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410877288.4
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 等离子体推进器远场羽流离子通量监测装置及方法，涉及电推进系统技术领域。解决目前对于羽流轰击离子通量分布的测量手段的不足，严重影响了电推进寿命的评估与应用的问题。装置包括：霍尔推进器、阻滞势分析仪RPA、热电偶、滑动轨道、石英窗口、红外热像仪、太阳能板和真空罐；霍尔推进器、阻滞势分析仪RPA、热电偶、滑动轨道和太阳能板位于真空罐内部；霍尔推进器的羽流方向处设置太阳能板，热电偶一端紧贴太阳能板，热电偶另一端安装在滑动轨道上；太阳能板与霍尔推进器设有阻滞势分析仪RPA；真空罐外部设有红外热像仪，石英窗口固定在真空罐外部，红外热像仪与石英窗口位于同一水平线上。应用于电推进系统寿命评估领域。
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