电子源的制备方法和成像装置的制备方法

    公开(公告)号:CN1187781C

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN00135597.X

    申请日:1997-12-26

    CPC classification number: C03C21/002 C03C17/06 H01J1/316

    Abstract: 一种制备包括基片、设置于基片表面的电子发射器件和用电子发射器件所发射的电子辐照形成图象的成像部件的成像装置的方法,其特征在于,包括在基片上形成电子发射器件的步骤,其中电子发射器件包括导电薄膜,该薄膜设置于一对器件电极之间并具有电子发射区,基片含钠,承载电子发射器件的基片表面的钠浓度不大于2at%,且与基片本体相比,在用来承载电子发射器件的表面附近,基片的钠浓度降低,并且其中基片还包含硫,并且,从承载电子发射器件的表面计算,硫浓度小于基片本体的硫浓度的区域形成的深度大于0.1μm,该层的硫浓度不大于0.1at%。

    电子源和成象装置
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1086054C

    公开(公告)日:2002-06-05

    申请号:CN94103500.X

    申请日:1994-04-05

    CPC classification number: H01J1/316 H01J31/127

    Abstract: 一种不需要器件电极的电子源及装有该电子源的成象装置,该电子源包括:基底、行方向布线、与行方向布线交叉的列方向布线、在上述交叉点处并位于布线之间的绝缘层,以及设置在上述布线交叉点处并与各布线相连的、具有电子发射区的导电膜。所述电子源制造简单、重复性好,且具有极好的亮度和图象显示能力,此外电子发射器件可致密精细设置又构形简单。所述成象装置对对称亮度点有高的控制能力,并降低了布线电容、具有高速驱动能力。

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