有机电致发光装置的制造方法

    公开(公告)号:CN103137904A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201210498618.6

    申请日:2012-11-23

    CPC classification number: H01L51/0002 H01L51/0018 H01L51/5012

    Abstract: 有机电致发光装置的制造方法,包括:在第一有机化合物层上形成掩模层和中间层以使掩模层和中间层具有预定图案的步骤;利用掩模层和中间层将第一有机化合物层进行图案化的步骤;形成第二有机化合物层的步骤;和以使中间层与用于溶解中间层的溶解液接触的方式将中间层和其上形成的第二有机化合物层除去的步骤。该方法中,直至完成第一和第二有机化合物层的图案化,通过用牺牲层覆盖第一和第二有机化合物层来保护第一和第二有机化合物层。

    制备有机发光显示装置的工艺和设备

    公开(公告)号:CN101433128B

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN200780015046.9

    申请日:2007-08-20

    Inventor: 森山孝志

    CPC classification number: C23C14/042 H01L51/0011 H01L51/56

    Abstract: 通过磁力抑制当使基板与掩模彼此紧密接触时导致的基板与掩模之间的位置位移。在通过气相沉积穿过掩模(3)在基板(2)上形成包括在有机发光显示装置中的有机化合物层(有机EL元件膜)的步骤中,使基板(2)与掩模(3)对准,然后通过多个按压部件(5)将基板(2)按压到掩模(3)以执行临时固定。当通过临时固定抑制基板(2)与掩模(3)之间的位置位移时,通过磁体(6)使基板(2)与掩模(3)紧密接触。分别通过多个按压部件(5)临时固定已对准的基板(2)的多个位置,从而能够执行高精度图案化,以防止有机EL元件膜从阳极的偏离。

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