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公开(公告)号：CN112461312A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202011332943.6
申请日：2020-11-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种热堆式气体质量流量传感器及其制造方法，包括：(111)单晶硅衬底；与衬底相连接的隔热薄膜，且共同围成隔热腔体；加热元件；一对呈“<>”状且对称分布于加热元件两侧的热电堆，每个热电堆尖端处两条轮廓线的夹角为120°，热电堆由至少一对悬挂于隔热薄膜下表面的单晶硅热偶臂和位于隔热薄膜上表面的多晶硅热偶臂组成的单晶硅‑多晶硅热偶对构成，两个热偶臂及热电堆与加热元件之间通过隔离槽隔离。本发明选择塞贝克系数较大的单晶硅及多晶硅，且可在有限的尺寸下将热偶臂的等效长度做的更长，提高传感器的灵敏度；另外还可增大单晶硅‑多晶硅热偶对热端与单晶硅加热元件之间的间距，调整传感器量程和测量精度，满足不同应用需求。
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公开(公告)号：CN111938610A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010662146.8
申请日：2020-07-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/02
Abstract: 本发明涉及一种气囊一体化的脉诊仪触觉传感阵列结构，包括气囊、PCB线路软板，所述气囊与导气管连通，所述气囊的人体接触面上开设有测试区域，所述测试区域内嵌入有与所述PCB线路软板相连的传感器阵列；所述传感器阵列包括多个传感器，所述传感器的敏感面与所述气囊的人体接触面近似在一个平面。本发明能够提高测量的精确度。
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公开(公告)号：CN110819698A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911030850.5
申请日：2019-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C12Q1/6851 , C12M1/38 , C12M1/34
Abstract: 本发明公开了一种高压液体浸入式数字PCR方法、数字PCR芯片及其制备方法，该数字PCR方法包括以下步骤：S1.将经过进样处理的数字PCR芯片浸入高压反应室的液体中；S2.排空高压反应室内的空气，对排空空气后的高压反应室增压；S3.将增压后的高压反应室放到PCR仪上进行PCR反应；S4.对PCR反应后的高压反应室冷却；S5.将冷却后的高压反应室降压；S6.将高压反应室中的数字PCR芯片取出，对数字PCR芯片进行荧光信号分析。本发明芯片进样不依赖泵、阀等复杂设备，也不需要使用高粘度热聚合分离油，进样完成后芯片不需要密封，操作简单；芯片厚度小，导热快，反应迅速；芯片结构简单，容易制作，成本低，自动化程度高。
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公开(公告)号：CN107994807B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201610947457.2
申请日：2016-10-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明提供一种基于铁磁悬臂梁的低振动阈值监控二级能量采集器，包括固定架，及固定在固定架内的第一级低频振子和第二级高频振子；第一级低频振子包括：第一端固定在固定架一侧，第二端为自由端的第一悬臂梁；位于第一悬臂梁第二端第一表面的永磁体；位于第一悬臂梁第二端第二表面或永磁体上表面的质量块；第二级高频振子包括：第一端固定在固定架另一侧，第二端为自由端的第二悬臂梁；位于第二悬臂梁第一表面的压电薄膜；其中，第一、第二悬臂梁为铁磁悬臂梁，且第一悬臂梁的第二端和第二悬臂梁的第二端之间设有预设距离。通过本发明所述的二级能量采集器，解决了现有技术中二级能量采集器功能单一、以及感应小振幅、低加速度振动效率低的问题。
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公开(公告)号：CN106549649B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201510591179.7
申请日：2015-09-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种N型重掺杂恒温控制振荡器及其恒温控制方法，包括：谐振结构、锚点、加热梁及温度传感器；谐振结构包括N型重掺杂纵向振动梁及第一电极；N型重掺杂纵向振动梁及第一电极均沿单晶硅 晶向族方向分布；锚点位于谐振结构的两侧；加热梁贯穿N型重掺杂纵向振动梁；温度传感器位于锚点表面。本发明中沿 晶向族的N型重掺杂结构的频率温度系数存在过零点，频率温度系数过零点的温度由掺杂浓度决定；通过调整N型掺杂浓度，可以使 晶向族谐振频率温度系数过零点略高于振荡器工作温区的上限；设置贯穿谐振结构的加热梁，在加热梁上通电流即可实现恒温控制，使得N型重掺杂恒温控制振荡器具有较好的性能稳定性及较好温度特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106788316B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201510830774.1
申请日：2015-11-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种压阻式恒温控制振荡器及其制备方法，包括：谐振结构、加热梁、多晶硅高阻层、第一绝缘层及加热电阻；谐振结构包括纵向振动梁及第一电极；纵向振动梁的数量为两根，两根纵向振动梁平行间隔排布；第一电极位于两根纵向振动梁的两端，并将两根纵向振动梁相连接；纵向振动梁及第一电极均沿单晶硅 晶向族方向分布；加热梁贯穿两根纵向振动梁；多晶硅高阻层位于两根纵向振动梁之间，且将加热梁隔断为两部分；第一绝缘层及加热电阻由下至上依次覆盖于加热梁的上表面。在两根纵向振动梁之间制作多晶硅高阻层，可实现对振荡器进行压阻检测；多晶硅高阻层将位于其两侧的加热梁连接成双端固支梁，可显著减小加热梁变形对谐振结构的影响。
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公开(公告)号：CN105699694B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201610251519.6
申请日：2016-04-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供一种基于FPGA的微机电混合ΣΔM加速度计闭环检测电路系统，包括：微机械加速度计、差分电荷放大器组件、高通滤波器、多位模数转换器、FPGA及工作时序控制反馈开关；差分电荷放大器组件的输入端与微机械加速度计相连接；高通滤波器的输入端与差分电荷放大器组件的输出端相连接；多位模数转换器的输入端与高通滤波器的输出端相连接，多位模数转换器的输出端与FPGA相连接；FPGA与微机械加速度计及工作时序控制反馈开关相连接；工作时序控制反馈开关的第一端与FPGA相连接，工作时序控制反馈开关的第二端与微机械加速度计相连接。本发明的微加速度计闭环检测电路系统具有简单容易实现、稳定性好、可移植性强的优点。
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公开(公告)号：CN104771857B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201410014641.2
申请日：2014-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A62D3/30 , A62D101/26
Abstract: 本发明涉及一种介孔氧化硅纳米材料的新用途，即将介孔氧化硅纳米材料应用于有机磷农药的吸附降解；介孔氧化硅纳米材料依靠介孔氧化硅材料表面的硅羟基（Si‑OH）基团与有机磷农药分子中P=O（或P=S）基团的特异性作用，将有机磷农药分子吸附至介孔氧化硅材料表面；随后在Si‑OH基团的作用下，使吸附的有机磷分子发生降解，生成低毒甚至无毒的产物。将介孔氧化硅纳米材料应用于有机磷农药的吸附降解，该用途先进、具有现实的应用意义，且材料制备简单成熟、易于操作、价格低廉。
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公开(公告)号：CN105004626B
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201510434139.1
申请日：2015-07-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度的氨类气体传感器，以谐振式微悬臂梁为质量型敏感检测平台，以高羧基含量（重量百分比为20%以上）的介孔纳米颗粒材料为敏感材料，依靠酸性基团与具有碱性的氨类气体之间存在的酸碱特异性吸附作用，获得灵敏度为ppb量级的氨类气体传感器。本发明采用共缩聚方法和后嫁接方法相结合制得高羧基含量的氨类气体敏感材料，其具有高羧基含量、高比表面积、短介孔孔道等优点，克服了传统的SBA‑15型介孔粉末类氨气敏感材料存在的羧基含量少、比表面积小以及介孔孔道过长，使得氨类气体分子难以扩散至介孔孔道内部等缺点。本发明实施方案先进，可用于氨气、三甲胺以及甲胺磷等分子的高灵敏度检测，具有现实的应用意义。
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公开(公告)号：CN108020688A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201711042279.X
申请日：2017-10-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器及其系统在瞬时冲击过程中响应输出电压与时间的关系，即传感器受到瞬时冲击的时域谱；将冲击过程所记录的曲线按时间顺序划分出来，其中至少包含三个以上明显不同的响应特征部分；提取所述待检测加速度传感器在所述三个以上不同时间段的电压与时间关系数据曲线；依次对每一个时间段的数据分别进行傅里叶变换，提取每一个时间域上经过傅里叶变换后的明显典型信号峰；比较上述不同时段信号峰，确定加速度传感器的共振频率峰及其频率。本发明通过一次测试即可识别和确定噪声信号峰和加速度传感器的一阶固有频率峰。
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