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公开(公告)号：CN107142449B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201710307426.5
申请日：2017-05-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种高精度极小尺寸自支撑铍薄膜的制备方法，依次包括以下步骤：在铜块体表面加工出高精度的台阶；精细研磨铜台阶端面粗糙度至纳米量级；在铜台阶端面蒸发沉积铝薄膜；在铝薄膜表面沉积铍薄膜；采用NaOH溶液反应去除铝薄膜衬底，得到高精度极小尺寸自支撑铍薄膜；本发明极大提高了极小尺寸自支撑铍薄膜的尺寸精度，精度可达1μm；并且所得的自支撑铍薄膜表面光滑，无砂眼，形状规则，质量优良。
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公开(公告)号：CN106544629B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201710037031.8
申请日：2017-01-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大尺度自支撑铍薄膜的制备方法及装置，依次包括以下步骤：在基片表面上沉积NaCl薄膜衬底；在NaCl薄膜衬底表面上沉积铍薄膜，形成“NaCl+Be”复合薄膜；将“NaCl+Be”复合薄膜进行自然时效；然后进行脱膜处理，即得；本发明提供的自支撑铍薄膜制备方法有很多明显的优点，以“基片+NaCl薄膜”作为衬底，可以避免直接采用可溶性衬底带来的缺点；采用自然时效及精细化脱膜工艺，以降低铍薄膜内应力和脱膜液体表面张力；通过以上方法克服了金属铍的极大脆性，可制备最大尺寸达数十毫米、厚度介于1μm‑10μm的自支撑铍薄膜，而且所得的自支撑铍薄膜质量优良。
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公开(公告)号：CN108593497A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810536202.6
申请日：2018-05-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N9/02
Abstract: 本发明公开了一种精确测量自支撑铍薄膜密度的方法，所述的方法采用高精度磁悬浮天平分两次测量后计算得出铍薄膜密度，首先将称量桶单独在不同气压的He气介质中进行测量，后将自支撑铍薄膜置于称量桶中同样在不同气压的He气介质中进行共同测量，将两次测量的数据进行线性拟合并计算得到自支撑铍薄膜的质量及体积，从而计算出密度；本发明采用高精度的磁悬浮天平为称量装置，同时利用He气作为称量介质，将两次称量后的数据进行数值拟合后计算得到自支撑铍薄膜的质量及体积，从而计算出密度，具有测量误差小、样品无破裂风险等优点。
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公开(公告)号：CN106363259A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610878532.4
申请日：2016-10-09
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC classification number: B23H1/02 , B23H1/04 , B23H9/14 , B23H11/003
Abstract: 本发明提供了一种电火花打孔装置，涉及精密加工领域。该电火花打孔装置包括供电电路、电极针、三维位移负压吸附组件和压电陶瓷驱动组件。供电电路的一端与电极针相连，供电电路的另一端与工件相连。三维位移负压吸附组件用于固定工件，压电陶瓷驱动组件驱动电极针在工件上打孔。本发明提供的电火花打孔装置结构简单，操作方便，成本低，可用于易碎空心微球、箔材、板材和实心微球的微孔加工。
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公开(公告)号：CN105728746A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610307415.2
申请日：2016-05-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B22F9/30
CPC classification number: B22F9/30
Abstract: 本发明提供了一种纳米铍粉的制备方法。所述的制备方法包括步骤：(a) 将矿物油溶剂加热恒温；(b) 采用微液滴发生器分配有机铍醚合物，将有机铍醚合物通过管道从储液管输送到分配头，形成微液滴喷射进入已加热恒温的矿物油溶剂；(c) 有机铍醚合物在矿物油溶剂中受热分解生成BeH2，副产物异丁烯、乙醚排出；(d) BeH2过热分解脱氢生成铍；(e) 蒸馏分离矿物油溶剂并干燥得到纳米铍粉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103482571B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201310441492.3
申请日：2013-09-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C01B6/04
Abstract: 本发明提供了一种氢化铍材料的制备方法及装置。所述的装置是通过对低压氢等离子体约束后形成的活性氢原子射流，诱导二叔丁基铍气体分子气相裂解生成气态氢化铍分子，然后氢化铍分子碰撞聚合成氢化铍薄膜或粉末。由于活性氢原子能将二叔丁基铍分子中的Be-C键断裂，而对C-C键没有明显影响，且氢原子相对于铍原子显著过量，采用该制备方法及装置可以获得纯度较高的氢化铍材料。
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公开(公告)号：CN206721361U
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201720539875.8
申请日：2017-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C23C16/505
Abstract: 本实用新型公开了一种掺铍的碳氢涂层的制备装置，包括石英放电腔和真空室，所述石英放电腔位于真空室上方，与真空室连通，所述石英放电腔外周设置有螺旋电感线圈，所述真空室内设置有基底，所述石英放电腔连接载气气管和放电氢气气管，所述载气气管连接有机铍源瓶，所述有机铍源瓶位于第二恒温器内，所述有机铍源瓶的另一端还连接载气气管；采用本实用新型的装置通过共沉积铍和碳氢片段，形成均一的、无定形的掺铍的碳氢聚合物涂层材料，该材料作为激光聚变能源研究中的烧蚀层材料，该材料具有高X射线透过率、高烧蚀稳定性等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206509522U
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201720202201.9
申请日：2017-03-03
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本实用新型公开了一种纳米铍粉的制备装置，包括源瓶、反应瓶、鼓泡瓶和冷凝装置，所述源瓶通过第一管道与所述反应瓶连接，所述第一管道外周设置有第一加热装置，所述源瓶还与一进气管连通，所述源瓶置于第二加热装置中，所述反应瓶还与所述冷凝装置连通，所述冷凝装置的另一端通过第二管道与所述鼓泡瓶连通，所述鼓泡瓶还连接有尾气排放管；采用本实用新型的制备装置，可以实现有机铍醚合物蒸汽进样，相对于微液滴进样法，得到的铍粉颗粒直径更细，其直径小于65nm；碳杂质含量低，碳杂质含量低于0.2 at%；本实用新型的整个工艺过程都在无氧无水的高纯手套箱中进行，因此铍粉氧杂质含量低，最终得到的铍粉金属杂质总量小于12 ppm。
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公开(公告)号：CN207576294U
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201721329190.7
申请日：2017-10-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本实用新型提供的抛光液自动添加设备，涉及机械抛光技术领域。该抛光液自动添加设备包括搅拌装置、泵液系统和防虹吸管。搅拌装置设置于抛光液存储池中，用于搅拌抛光液，避免其产生沉淀。防虹吸管的一端与抛光液存储池连通，防虹吸管的另一端通向抛光机，泵液系统安装在防虹吸管上，用于将抛光液泵送至防虹吸管内，以便于防虹吸管将抛光液引流至抛光机。该抛光液自动添加设备可以避免抛光液产生沉淀，能实现自动向抛光机添加抛光液，且添加量控制精准，自动化程度高。本实用新型提供的抛光液自动添加设备，可以通过调节组件调整防虹吸管的高度，便于控制抛光液的添加量，结构简单，实用性强。
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公开(公告)号：CN205329151U
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201620128052.1
申请日：2016-02-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本实用新型提供一种气动悬浮式微球涂层装置，属于微层表面涂层材料的制备技术领域，其包括真空室、气流板、多个靶枪和进气管，气流板设置于真空室内，靶枪具有靶口，靶口位于气流板上方的真空室内并朝向气流板设置，气流板具有上表面和下表面以及第一侧面，气流板设有贯通上表面的多个气流孔和贯通第一侧面的导气通道，多个气流孔分别与导气通道相连通，导气通道连通进气管。通过进气管进气，并从气流孔向上吹出，使放置在气流孔处的微球悬浮，从靶口溅射出的涂层材料与微球接触在微球表面涂层。受到下方气流影响，微球在靶口与气流孔之间悬浮和自由随机转动，保证微球涂层均匀性，同时将靶枪掉落的渣屑吹走，防止沾染微球，影响光洁度。
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