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公开(公告)号：CN100443893C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200510112214.9
申请日：2005-12-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微细加工技术领域的基于一维纳米材料的微气体传感器的制造方法，包括如下步骤：(1)衬底的清洗，(2)底电极层的制备，(3)金属支柱层的制备，(4)金属顶电极层的制备，(5)去除微铸模。本发明提出使用标准微电子加工技术中图形转换技术和金属微电铸技术，作为实现基于一维纳米材料的微气体传感器的制造工艺，可以极大提高对该种传感器核心结构要素的控制精度和器件结构设计的灵活性。因此可以极大提高器件的性能，包括提高精度、敏感度、安全性、稳定性和降低能耗与成本。并可以方便地实现器件的阵列化设计，并方便实现微型智能传感器。
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公开(公告)号：CN100410659C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200510112216.8
申请日：2005-12-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种传感器技术领域的使用一维纳米材料的微型气体传感器。本发明包括：衬底、金属底电极层、一维纳米材料层、金属支柱层、金属顶电极层。其中，金属底电极层设置在衬底上，一维纳米材料层设置在金属底电极层之上，金属支柱层设置在衬底之上，金属顶电极层设置在衬底上。金属底电极层、一维纳米材料层与金属支柱层之间相互隔离，金属顶电极层和金属底电极层、一维纳米材料层之间有气体间隙相互隔离。本发明具有选择性高、灵敏度高、低能耗、成本低、易于实现阵列化、小型化的优点，并有利于提高安全性、稳定性。
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公开(公告)号：CN101236178A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200810033990.3
申请日：2008-02-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N27/70
Abstract: 本发明涉及一种检测技术领域的多个标定指标的气体成分分辨与识别方法，利用由局部自持放电产生的离子流作为检测对象，采用“放电电极正极－放电电极负极－检测电极”三极结构形成放电区域和检测区域，通过改变检测电极的加载电压测量某种成分气体在检测区域内不同电场强度下形成的离子电流，将测量得到的“加载电压－检测电极电流”关系作为标定该成分气体的指标，在识别该成分气体时，用相同加载电压下的检测电极电流实测值与标定值进行对比。本发明能够显著提高场致电离气体传感器的选择性、敏感性；相对于间隙击穿电学特征检测方法，本发明能够极大改善器件的稳定性、寿命、可靠性和识别精度。
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公开(公告)号：CN101132049A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710044701.5
申请日：2007-08-09
Abstract: 一种微电子技术领域的用于相变存储器的SiSb基相变薄膜材料，其组分为(SixSb1－x)1－yMy，其中元素M是O元素或N元素或它们的混合物，掺杂元素M的含量y是0－15％原子百分比，Si含量x为5－90％原子百分比。本发明可在施加电脉冲情况下，发生高阻态和低阻态之间的可逆转变，从而达到数据存储的目的。本发明不含对环境有毒的Te元素，且制造工艺与现行半导体集成电路CMOS工艺有很好的兼容性。SiSb基相变薄膜材料具有比常用的Ge2Sb2Te5相变薄膜更快的晶化速率；更加优越的非晶态稳定性；以及更低的非晶态/晶态薄膜厚度变化率，这些特征有助于提高存储器的存取速率；数据可靠性和器件稳定性。
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公开(公告)号：CN100357773C
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200510030975.X
申请日：2005-11-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微机械光纤定位器，属于微机械和光学技术领域。本发明包括：定位槽和挠性夹，挠性夹设在定位槽的上方。所述的定位槽包括：单晶硅衬底和截面槽，截面槽设在单晶硅衬底上，所述的挠性夹包括：金属基座和挠性片，金属基座和挠性片设在同一平面内，金属基座和挠性片为一体化结构，金属基座和挠性片的底面均与单晶硅衬底的顶面贴合，金属基座设在单晶硅衬底表面上，金属基座与单晶硅衬底之间通过溅射金属时产生的粘附力固定，利用挠性片内部的弹性变形力将光纤固定在定位器中。本发明易于大批量制作，实现光纤与光纤、光纤与有源模块快速、可靠、精确定位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1744324A
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN200510028672.4
申请日：2005-08-11
Abstract: 一种降低相变存储器编程电流的单元结构，属于微电子领域。本发明包括：集成电路衬底、下电极、硫族化物合金相变层、加热层、上电极、绝缘介质层，在集成电路衬底上设有下电极，上电极设在硫族化物合金相变层上，硫族化物合金相变层和加热层设在绝缘介质层的小孔内，加热层设在下电极和硫族化物合金相变层之间，加热层与下电极相连接。本发明在存储单元中增加一层不发生相变的半导体加热层，该加热层具有较高的电阻和较低的热传导系数，能够降低编程电流同时产生足够的焦耳热使相变材料到达熔点，从而达到使用较低的电流对存储单元进行编程的目的。
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公开(公告)号：CN1186670C
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN02136828.7
申请日：2002-09-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 电磁驱动位错型微机械可变光衰减器属于光纤通信领域。包括：电磁驱动线圈、底座、两段光纤、定位槽、可动平台、磁性体和弹性体，光纤和分别固定在底座和可动平台上的定位槽中，可动平台与磁性体固定在一起，可动平台相对于底座上下移动，底座与可动平台通过弹性体连接并调整上下位置，底座与电磁驱动线圈固定。本发明结构和光路简洁，易于实现阵列化封装；插入损耗低于1分贝，回波损耗高于60分贝、动态范围大于50分贝；波长相关性损耗小于0.2分贝，偏振相关性损耗小于0.2分贝，工作电压低于5伏，与现有集成电路的工作电压兼容；各部件都可用基本的集成电路工艺制作，实现低成本，大批量，自动化生产。
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公开(公告)号：CN1166970C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN01132270.5
申请日：2001-11-22
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02B6/36
Abstract: 微机械光纤定位器主要包括：光纤、光纤定位基准面、光纤夹紧弹簧片、基体和基底，光纤、光纤定位基准面、光纤夹紧弹簧片、基体设置在基底上，光纤夹紧弹簧片与基体和基底相连，光纤夹紧弹簧片将光纤压向光纤定位基准面和基底。本发明具有实质性特点和显著进步，该定位器具有面积小，加工精度高，一致性及可靠性好，插入损耗低的优点，能与微电子机械系统器件系统集成，从而实现微电子机械系统光学器件批量化、集成化生产。
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公开(公告)号：CN1424424A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN02157786.2
申请日：2002-12-26
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 超声起雾效应制备薄膜的大面积沉积设备属于薄膜材料领域。主要包括：加热炉、超声起雾器、雾气输送系统、雾气均匀分配喷头、负压尾气抽取与处理系统、样品装载机构和样品输送机构，雾气均匀分配喷头和样品输送机构直接与加热炉相连接，雾气输送系统、超声起雾器、雾气均匀分配喷头、尾气抽取与处理系统则通过小口径管路依次相连接，样品装载机构是独立的部件，与样品一起装载和卸载。本发明使在大面积上获得膜厚均匀的各种薄膜在技术上成为可能，设备成本大大降低，设备成本仅为同样生产能力的常压化学气相沉积设备的1/3左右，这样的价格减少正是氧化物透明导电膜玻璃在这些领域得到大规模应用的必要条件。
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公开(公告)号：CN1402052A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02136828.7
申请日：2002-09-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 电磁驱动位错型微机械可变光衰减器属于光纤通信领域。主要包括：电磁驱动线圈、底座、两段光纤、定位槽和、可动平台、磁性体和弹性体，光纤和分别固定在底座和可动平台上的定位槽中，可动平台与磁性体固定在一起，可动平台相对于底座上下或/和左右移动，底座与可动平台通过弹性体连接并调整上下位置，底座与电磁驱动线圈固定。本发明结构和光路简洁，易于实现阵列化封装；插入损耗低于1分贝，回波损耗高于60分贝、动态范围大于50分贝；波长相关性损耗小于0.2分贝，偏振相关性损耗小于0.2分贝，工作电压低于5伏，与现有集成电路的工作电压兼容；各部件都可用基本的集成电路工艺制作，实现低成本，大批量，自动化生产。
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