一种可寻址外围测试电路
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117630420A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311607618.X

    申请日:2023-11-29

    Abstract: 本发明公开了一种可寻址外围测试电路,该电路包括地址转换电路,以及与所述地址转换电路连接的开关电路。地址转换电路用以将外部输入的地址转换为漏极地址和栅极地址,开关电路的行输出电控制DUT阵列的漏极,开关电路的列输出电控制DUT阵列的源极。开关电路的行、列输出通过地址缓冲器接入所述DUT阵列。地址转换电路包括多个并行译码器接入所述开关电路。

    一种半导体器件中漏源电阻的提取方法

    公开(公告)号:CN116449103A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310413212.1

    申请日:2023-04-18

    Abstract: 本发明公开了一种半导体器件中漏源电阻的提取方法,包括如下步骤1)输入电压,测得半导体器件的闪烁噪声;2)在保持输入电压大于阈值电压的前提下,改变输入电压并进行噪声测试,以测得的半导体器件在不同输入电压下的闪烁噪声;3)将所述步骤1)和步骤2)中测得的闪烁噪声减去其包含的由RTN缺陷造成的噪声,得到剩余的闪烁噪声;4)剩余的闪烁噪声包括沟道区散射噪声和漏源电阻噪声;根据剩余的闪烁噪声的强度随Vg的变化关系,对数据进行拟合,获得要提取的漏源电阻大小。本发明利用的原理是沟道区和源漏接触电阻噪声形式不同,并且由于Vg变化导致的沟道电阻变化会改变两部分电阻占总电阻的比例,从而能从测量得到的噪声强度变化中提取漏源电阻大小。

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