线放电加工装置及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN107073613B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201480082164.1

    申请日:2014-09-24

    Abstract: 控制部(14)对切断加工和形状修正加工进行控制,切断加工是指,通过一边使被加工物(5)沿与主引导辊(1a~1d)的轴向垂直的面相对于切断线部(CL)在与切断线部(CL)垂直的方向上相对地移动,一边通过放电加工同时进行多个晶片的切断,并且将切断中途的多个晶片的一部分与被加工物(5)连结的连结部残留下来,形状修正加工是指,使多个切断线部(CL)以切断加工时的切断方向上的切断线部(CL)的轨迹一边进行放电加工、一边进行扫描,对在切断加工时切断加工出的多个切断加工面的形状同时进行修正加工。

    电解加工装置以及电解加工方法

    公开(公告)号:CN107206517A

    公开(公告)日:2017-09-26

    申请号:CN201680008386.8

    申请日:2016-02-26

    Abstract: 本发明提供一种既能够将加工电极相对于工作物的相对扫描速度抑制为较低,又能够改善加工表面的粗糙度的技术。电源(10)向加工电极(20)与工作物(1)之间施加用于使电解加工用的电流流动的电压。加工电极(20)从工作物(1)分离配置,并且,能够沿着工作物(1)的表面方向相对扫描。电解液供给部(30)向加工电极(20)与工作物(1)之间供给电解加工用的电解液(3)。充电控制机构(40)利用适当方法消除存储在加工电极(20)与工作物(1)之间的电荷。

    线放电加工装置、线放电加工方法及控制装置

    公开(公告)号:CN105939807B

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201380081685.0

    申请日:2013-12-19

    Inventor: 桥本隆 汤泽隆

    CPC classification number: B23H1/02 B23H1/022 B23H7/02 B23H7/04

    Abstract: 线放电加工装置具有:加工部,其通过从被加工物切除外框部分而形成作为内侧部分的产品部位;以及控制装置(2),其控制加工部,加工部以将外框部分与产品部位的边界之中的一部分作为切割剩余部分而剩余的方式对边界之中的第1边界区域进行加工,然后,在成为产品部位的部件与成为外框部分的部件利用导电性部件连接之后,对边界之中的切割剩余部分即第2边界区域进行加工,从而从所述外框部分切除产品部位,并且,在加工被加工物时,对第1边界区域反复进行多次加工,并对第2边界区域反复进行多次加工,控制装置(2)在将n设为大于或等2的自然数的情况下,基于对第1边界区域进行了加工时的加工状况,在对第1边界区域第n次进行加工时的第1加工条件、和对第2边界区域第n次进行加工时的第2加工条件中设定不同的加工条件。

    放电加工装置
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104781029B

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201280076689.5

    申请日:2012-10-31

    CPC classification number: B23H1/024 B23H1/02 B23H2300/20

    Abstract: 本发明在使利用极间所具有的电容容量的电容放电进行自激振荡而进行加工时,以考虑到加工变得不稳定的情况的周期定期地设置休止时间,由此能够提高加工精度和加工效率。本发明的放电加工装置具备:电源;极间,其由电极和被加工物形成;限流电阻,其连接于所述电源和所述极间之间;开关元件,其将从所述电源向所述极间的电压的施加接通/断开;电感元件,其串联连接于所述开关元件和所述极间之间;以及控制部,其控制所述开关元件,所述控制部在开关模式下使所述开关元件进行接通断开动作,所述开关模式具有:接通脉冲时间宽度(ΔTon),其使得所述极间的电压在接通脉冲时间内能够达到所述电源的电压值;以及休止时间宽度(ΔToff),其大于或等于在所述电容放电时流动的放电电流的时间宽度(ΔTic)、且小于自激振荡的周期(ΔTso)。

    线电极放电加工装置
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101528399B

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN200680056215.9

    申请日:2006-10-24

    CPC classification number: B23H7/04

    Abstract: 本发明的目的在于得到一种线电极放电加工装置,其可以避免由极间产生的能量不均衡导致的线电极断线并改善加工速度,其构成为:将设置在从加工电源至加工间隙(极间)的上部侧供电路径和下部侧供电路径中的路径通断单元,根据通断模式设定单元中预先设定的通断模式单独进行接通/断开而形成上下两侧供电路径和2个单侧供电路径,通过混用上述供电路径的供电方式而实施主放电,在这一过程中,加工能量运算单元对每个放电位置的放电电流值进行累积而求出从当前时刻至过去的一定时间内的加工能量,能量分布变更单元由此求出加工间隙的上下方向上的加工能量分布,检测是否存在能量不均衡,在存在的情况下,通过变更为可以得到能够消除该不均衡的加工能量分布的通断模式,从而进行消除该不均衡的供电。

    放电加工装置
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101932403A

    公开(公告)日:2010-12-29

    申请号:CN200880126025.9

    申请日:2008-01-31

    CPC classification number: B23H1/022 Y10T307/609

    Abstract: 本发明得到一种放电加工装置,其向加工用电极和被加工物之间施加电压脉冲,适当切换该电压脉冲的极性而进行加工,兼顾期望的加工精度和期望的控制性。放电加工装置具有开关元件(SW1~SW4),对上述开关元件(SW1~SW4)进行控制的控制部在设置了将开关元件(SW1)接通的期间的情况下,在该期间中设置使开关元件(SW4)成为接通状态的期间,在设置了将开关元件(SW2)接通的期间的情况下,在该期间中设置使开关元件(SW3)成为接通状态的期间,从而向加工用电极和被加工物之间施加期望的电压脉冲。由此,得到构成为可以防止浪涌电压、而且可以消耗极间的残存电荷的放电加工装置。

    线电极放电加工装置及线电极放电加工方法

    公开(公告)号:CN100577336C

    公开(公告)日:2010-01-06

    申请号:CN200680001173.9

    申请日:2006-04-05

    CPC classification number: B23H7/04 B23H1/022

    Abstract: 本发明提供一种线电极放电加工装置及方法,其可提高被加工物的直线精度,防止连续2次的集中放电,即使在重叠多个材质不同的被加工物的情况下,也能够采用对各种材质来说最佳的加工条件而同时加工,其具有:放电发生控制单元,其在线电极和被加工物的电极之间,至少依次施加预放电用电压脉冲和主放电用电压脉冲,以产生脉冲状的放电;电流测定单元,其在多条通电路径,测定前述电极间通过的放电电流;放电位置判断单元,其根据前述多个电流测定单元的测量结果,求出放电位置;以及加工能量调整单元,其根据在前述主放电用电压脉冲施加前判断出的放电位置,调整由该主放电用电压脉冲产生的能量,将该调整结果反映给前述放电发生控制单元。

    线电极放电加工装置
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101528401A

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200680056218.2

    申请日:2006-10-24

    CPC classification number: B23H7/04 B23H7/107

    Abstract: 本发明的目的在于得到一种线电极放电加工装置,其在作为主放电用电源而独立地设置上部供电用和下部供电用电源的情况下,保持上部供电和下部供电的独立性,同时在利用辅助放电用电源进行辅助放电时,可以从上部·下部的供电点均等地向极间供给电流,上部主放电用电源(10a)使用可以构成去路和回路的上部馈线(14a),而连接在上部通电端子(4a)和被加工物(3)之间,下部主放电用电源(10b)使用可以构成去路和回路的下部馈线(14b),而连接在下部通电端子(4b)和被加工物(3)之间,辅助放电用电源(11)使用具有比上部·下部的馈线(14a、14b)更高的阻抗且可以构成去路和回路的上部·下部的辅助馈线(15a、15b),连接在上部通电端子(4a)和被加工物(3)之间、以及下部通电端子(4b)和被加工物(3)之间。此外,上部·下部的通电端子(4a、4b)分别设置大于或等于1个。

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