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公开(公告)号：CN109417106B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN201780040692.4
申请日：2017-04-20
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/111
Abstract: 对入射到石墨烯层的电磁波进行光电变换而检测的电磁波检测器包括：基板，具有表面和背面；下部绝缘层，设置于基板的表面上；设置于下部绝缘层上的铁电体层、及隔着铁电体层相向配置的一对电极；上部绝缘层，设置于铁电体层上；以及石墨烯层，在下部绝缘层及上部绝缘层上以连接2个电极的方式设置，或者，包括：石墨烯层，设置于下部绝缘层上；以及在石墨烯层上经由上部绝缘层设置的铁电体层、及隔着该铁电体层相向配置的一对电极，与下部绝缘层相反的一侧的石墨烯层的表面是电磁波入射面，由于电磁波，铁电体层的极化值变化，对石墨烯层施加电压。
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公开(公告)号：CN114008523A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201980097686.1
申请日：2019-06-20
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 反射光学元件(1)具备绝缘层(3)、格子群(5)、背面电极(21)以及电压施加部(23)。格子群(5)包括具备格子(7i)和格子(7j)的多个格子(7)。多个格子(7)分别具有层叠电介质层(11)和石墨烯层(13)的构造。电压施加部(23)具有对格子群(5)分别单独地施加电压的功能。电压施加部(23)包括对格子(7i)施加第1电压的电压施加部(23i)和对格子(7j)施加第2电压的电压施加部(23j)。
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公开(公告)号：CN112292763A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201980031374.0
申请日：2019-02-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10 , G01J1/02 , H01L27/146 , H01L27/30
Abstract: 电磁波检测器(100)包括：基板(5)，具有表面和背面；绝缘层(4)，设置于基板(5)的表面上，由稀土类氧化物构成；一对电极(2)，设置于绝缘层(4)之上，隔开间隔相对配置；以及二维材料层(1)，在绝缘层(4)之上以与一对电极(2)电连接的方式设置。稀土类氧化物包含由第1稀土类元素的氧化物构成的母材和在母材中被活化的、与第1稀土类元素不同的第2稀土类元素。
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公开(公告)号：CN110402373A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201780087551.8
申请日：2017-10-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L31/0248
Abstract: 电磁波检测器包括：受光石墨烯以及参照石墨烯，并排配置于绝缘层之上；第1电极以及第2电极，隔着受光石墨烯以及参照石墨烯而对置配置；栅极电极，对受光石墨烯以及参照石墨烯施加栅极电压；平衡电路，连接于第2电极之间；以及检测电路，受光石墨烯在电磁波入射的情况下由于带内跃迁而产生光载流子，参照石墨烯在电磁波入射的情况下由于泡利阻塞效应而不产生光载流子，在电磁波不入射到受光石墨烯以及参照石墨烯的状态下，平衡电路使第1电极和第2电极成为相同电位，在电磁波入射到受光石墨烯以及参照石墨烯的状态下，检测第2电极之间的电信号。
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公开(公告)号：CN108701737A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680081193.5
申请日：2016-02-24
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10
CPC classification number: H01L31/028 , H01L27/1443 , H01L27/1446 , H01L31/02161 , H01L31/022408 , H01L31/0232 , H01L31/02366 , H01L31/0288 , H01L31/035209 , H01L31/101 , H01L31/103 , H01L31/112 , H01L31/1804
Abstract: 对电磁波进行光电变换而检测的电磁波检测器包括：基板；绝缘层，设置于基板之上；石墨烯层，设置于绝缘层之上；一对电极，设置于绝缘层之上，分别与石墨烯层的两端连接；以及接触层，被设置成与石墨烯层接触，接触层由具有极性基团的材料构成，接触层与石墨烯层接触，从而在石墨烯层中形成有电荷。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107210326A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680007180.3
申请日：2016-01-04
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/0248 , H01L27/144 , H01L31/10
CPC classification number: H01L27/1446 , H01L27/14601 , H01L27/14612 , H01L31/028 , H01L31/102
Abstract: 电磁波检测器包括基板、设置于基板之上的绝缘层、设置于绝缘层之上的石墨烯层、夹着石墨烯层设置于绝缘层之上的一对电极以及夹在石墨烯层与电极之间并将它们隔离的缓冲层。电磁波检测器阵列包括阵列状地配置的相同或者相互不同的电磁波检测器。
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公开(公告)号：CN114846628B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202080085891.9
申请日：2020-07-30
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 电磁波检测器具备：半导体层(4)，形成有台阶部(40)，且对于检测波长具有灵敏度；绝缘膜(3)，配置于台阶部(40)上，且设置有使台阶部(40)的一部分露出的开口部(3a)；二维材料层(1)，配置于绝缘膜(3)以及开口部(3a)上，且具有在开口部(3a)与半导体层(4)电连接的连接区域(1c)；第1电极部(2a)，配置于绝缘膜(3)上，与二维材料层(1)电连接；以及第2电极部(2b)，配置于半导体层(4)上，经由二维材料层(1)的连接区域(1c)而与第1电极部(2a)电连接。
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公开(公告)号：CN119072791A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202380034867.6
申请日：2023-02-14
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10 , G01J1/02 , H01L27/146 , H10N10/01 , H10N10/13 , H10N10/17 , H10N10/851
Abstract: 提供检测灵敏度高的电磁波检测器以及电磁波检测器阵列。电磁波检测器(100)具备：半导体层(4)，具有第1面(41)；二维材料层(1)，与半导体层(4)电连接；第1电极部(2a)，不经由半导体层(4)与二维材料层(1)电连接；第2电极部(2b)，经由半导体层(4)与二维材料层(1)电连接；以及热电变换材料层(5)。热电变换材料层(5)与二维材料层(1)相接。
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公开(公告)号：CN118369775A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202280081335.3
申请日：2022-12-06
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/108
Abstract: 提供检测灵敏度和响应速度高、且能够进行OFF动作的使用二维材料层的电磁波检测器。电磁波检测器(100)具备：二维材料层(1)，具有第一部分(1a)、在第一方向(X)上与第一部分(1a)隔开间隔地配置的第二部分(1b)以及在第一方向(X)上架设在第一部分(1a)与第二部分(1b)之间的第三部分(1c)；第一电极部(2a)，与第一部分(1a)电连接；第二电极部(2b)，经由二维材料层(1)的第一部分(1a)、第三部分(1c)以及第二部分(1b)而与第一电极部(2a)电连接；以及铁电体层(5)，至少一部分配置于第三部分(1c)上。
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公开(公告)号：CN112272869B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN201980018111.6
申请日：2019-01-09
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10 , H01L21/336 , H01L27/146 , H01L29/786
Abstract: 具备：形成催化金属(42)的工序；形成催化金属(40)的工序；以使催化金属(42)及催化金属(40)的上表面露出的方式形成保护膜(22)的工序；在露出的催化金属(42)及催化金属(40)之上形成石墨烯层(30)的工序；以覆盖石墨烯层(30)的方式形成绝缘膜(20)的工序；在绝缘膜(20)上形成基板(10)的工序；以及去除催化金属(42)的工序，能够减少向石墨烯层的工艺损伤，能够提高性能。
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