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公开(公告)号：CN114846628A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202080085891.9
申请日：2020-07-30
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10 , G01J1/02 , H01L27/146
Abstract: 电磁波检测器具备：半导体层(4)，形成有台阶部(40)，且对于检测波长具有灵敏度；绝缘膜(3)，配置于台阶部(40)上，且设置有使台阶部(40)的一部分露出的开口部(3a)；二维材料层(1)，配置于绝缘膜(3)以及开口部(3a)上，且具有在开口部(3a)与半导体层(4)电连接的连接区域(1c)；第1电极部(2a)，配置于绝缘膜(3)上，与二维材料层(1)电连接；以及第2电极部(2b)，配置于半导体层(4)上，经由二维材料层(1)的连接区域(1c)而与第1电极部(2a)电连接。
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公开(公告)号：CN111788700A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201880089720.6
申请日：2018-08-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/112 , G01J1/02
Abstract: 电磁波检测器(1)具备：绝缘膜(22)，具有第1面和与第1面对置的第2面；包含第1二维原子层材料的第1层(40)，由于被入射的电磁波而进行光电变换，电位发生变化；以及包含第2二维原子层材料的第2层(30)，设置于第1面上，经由绝缘膜(22)被提供电位的变化，产生电量的变化。由此，检测入射的电磁波作为电量的变化，能够提供针对入射的电磁波的响应速度快的高灵敏度的电磁波检测器(1)。
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公开(公告)号：CN110392933A
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201780085842.3
申请日：2017-10-19
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 电磁波检测器包括并排设置于绝缘层之上的p型以及n型的石墨烯、隔着石墨烯而对置配置的第一电极和第二电极、向p型以及n型的石墨烯施加动作电压的栅极电极以及连接于2个第二电极之间的平衡电路和检测电路，p型的石墨烯具有比动作电压高的狄拉克点电压，n型的石墨烯具有比动作电压低的狄拉克点电压，在电磁波未入射于石墨烯的状态下，平衡电路使第一电极和第二电极具有相同电位，在电磁波入射于p型以及n型的石墨烯的状态下，检测电路检测第二电极间的电信号，输出电磁波入射后的状态的电信号。
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公开(公告)号：CN112292763B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201980031374.0
申请日：2019-02-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10 , G01J1/02 , H01L27/146 , H10K65/00 , H10K39/30
Abstract: 电磁波检测器(100)包括：基板(5)，具有表面和背面；绝缘层(4)，设置于基板(5)的表面上，由稀土类氧化物构成；一对电极(2)，设置于绝缘层(4)之上，隔开间隔相对配置；以及二维材料层(1)，在绝缘层(4)之上以与一对电极(2)电连接的方式设置。稀土类氧化物包含由第1稀土类元素的氧化物构成的母材和在母材中被活化的、与第1稀土类元素不同的第2稀土类元素。
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公开(公告)号：CN116057716A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180055848.2
申请日：2021-05-13
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10
Abstract: 电磁波检测器具备至少1个光电变换元件和以与至少1个光电变换元件对置的方式配置的等离子体滤波器(3)。在等离子体滤波器(3)周期性地形成有多个贯通孔(30)。至少1个光电变换元件具备：半导体层(2)，具有在俯视时与多个贯通孔中的至少1个贯通孔重叠的区域(20)；绝缘层(4)，以覆盖区域(20)的一部分的方式形成；二维材料层(1)，配置于区域(20)的其他一部分以及绝缘层(4)上并且与区域(20)的其他一部分电连接；第1电极部(5)，与二维材料层(1)电连接；以及第2电极部(6)，与半导体层(2)电连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115699338A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180040678.0
申请日：2021-03-10
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/108 , G01J1/02 , H01L27/144 , H01L27/146
Abstract: 电磁波检测器具备：半导体层(4)；二维材料层(1)，与半导体层电连接；第1电极部(2a)，不经由半导体层而与二维材料层电连接；第2电极部(2b)，经由半导体层(4)与二维材料层电连接；以及铁电体层(5)，与二维材料层的至少一部分接触。
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公开(公告)号：CN114041210A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202080047788.5
申请日：2020-03-26
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10
Abstract: 检测灵敏度高并且能够进行关断动作的使用二维材料层的电磁波检测器具备受光元件(4)、绝缘膜(3)、二维材料层(1)、第1电极部(2a)以及第2电极部(2b)。受光元件(4)包括第1导电类型的第1半导体部分(4a)和第2半导体部分(4b)。第2半导体部分(4b)与第1半导体部分(4a)接合。第2半导体部分(4b)是第2导电类型。绝缘膜(3)配置于受光元件(4)上。在绝缘膜(3)形成有开口部(3a)。二维材料层(1)在开口部(3a)与第1半导体部分(4a)电连接。二维材料层(1)从开口部(3a)上延伸至绝缘膜(3)上。第1电极部(2a)配置于绝缘膜(3)上。第1电极部(2a)与二维材料层(1)电连接。第2电极部(2b)与第2半导体部分(4b)电连接。
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公开(公告)号：CN110402373B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201780087551.8
申请日：2017-10-19
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01J1/02 , H01L31/0248
Abstract: 电磁波检测器包括：受光石墨烯以及参照石墨烯，并排配置于绝缘层之上；第1电极以及第2电极，隔着受光石墨烯以及参照石墨烯而对置配置；栅极电极，对受光石墨烯以及参照石墨烯施加栅极电压；平衡电路，连接于第2电极之间；以及检测电路，受光石墨烯在电磁波入射的情况下由于带内跃迁而产生光载流子，参照石墨烯在电磁波入射的情况下由于泡利阻塞效应而不产生光载流子，在电磁波不入射到受光石墨烯以及参照石墨烯的状态下，平衡电路使第1电极和第2电极成为相同电位，在电磁波入射到受光石墨烯以及参照石墨烯的状态下，检测第2电极之间的电信号。
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公开(公告)号：CN115315818B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202080098843.3
申请日：2020-03-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H10F30/227 , H10F39/10
Abstract: 电磁波检测器(100A)具备：半导体基板(1)；第1绝缘膜(2)，配置于半导体基板上，并且以使半导体基板的一部分露出的方式形成；第1电极(3)，配置于第1绝缘膜上；二维材料层(5)，具有在半导体基板的一部分与半导体基板肖特基接合的接合部(12)，从接合部经由第1绝缘膜之上而延伸至第1电极；第2电极(6)，与半导体基板接触；以及控制电极(7)，在俯视时配置于接合部的周围的至少一部分，并且与半导体基板肖特基接合。
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公开(公告)号：CN118901146A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202380028949.X
申请日：2023-01-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/10 , H01L27/146
Abstract: 电磁波检测器(100)具备第一铁电体层(5)、二维材料层(1)、第一电极对(2a)以及第二电极对(2b)。第一电极对(2a)包括第一电极(21)和第二电极(22)。第二电极对(2b)包括第三电极(25)和第四电极(26)。第一电极对(2a)及第二电极对(2b)与二维材料层(1)电连接。第三电极(25)与第四电极(26)在与第一铁电体层(5)的自发极化的极化方向垂直的第一方向上彼此相向地配置。第一电极(21)与第二电极(22)在与第一方向不同的第二方向上彼此相向地配置。
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