形成图案的方法
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117597628A

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN202280047231.0

    申请日:2022-07-04

    Abstract: 提供一种形成图案的方法,所述方法包括:在基板上涂布含金属抗蚀剂组成物;沿基板的边缘涂布用于去除边珠的组成物;对所得物进行干燥及加热,以在基板上形成含金属抗蚀剂膜;以及对所得物进行曝光及显影以形成抗蚀剂图案,其中所述用于去除边珠的组成物可包括至少一种添加剂以及有机溶剂,所述至少一种添加剂选自亚磷酸系化合物、次亚磷酸系化合物、亚硫酸系化合物及氧肟酸系化合物。

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