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公开(公告)号：CN1805119A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610000330.6
申请日：2006-01-04
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/20 , H01L21/683 , C23C14/04 , C23C16/04
Abstract: 本发明提供一种夹盘组件，包括：阴罩，形成有预定的图案；阴罩框架，支持所述阴罩并具有热辐射和冷却功能；基底，与阴罩对齐并且来自沉积源的沉积材料被沉积在其上；夹盘，将所述基底附在阴罩上，该夹盘包括冷却剂循环管。考虑阴罩的温度优化基底的温度，从而由于热变形导致的对齐误差被最小化。即，防止阴罩本身的温度上升，从而防止由于热膨胀导致的阴罩的变形，提高了基底图案位置的精确度。
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公开(公告)号：CN1800443A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510117051.3
申请日：2005-10-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L21/68728 , H01L21/68735 , H01L21/68778 , Y10S414/136 , Y10S414/141 , Y10T29/53265
Abstract: 本发明提供一种基片固定盘，为了在真空工程用垂直基片固定盘的平板面上固定和支持所述基片，包含至少一部分以上基片固定单元，并且，通过固定和支持垂直布置的基片，可以进行高精度的校正和更加稳定的蒸镀工艺。基片固定盘(60)及利用该基片固定盘(60)的基片校正系统及其方法，包含被蒸镀蒸镀物的基片(10)、用于容纳所述基片(10)的框架(70)、用于容纳所述框架(70)而构成的盘(60)、用于在所述框架(70)上固定和支持所述基片(10)而构成的至少一个以上基片固定单元(110)。
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公开(公告)号：CN104148263B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201410172133.7
申请日：2014-04-25
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 提供了一种用于可再充电电池的电极板的干燥器及其控制方法，所述干燥器包括：干燥炉，具有入口和出口，电极板通过入口引入，并且电极板通过出口排出；驱动单元，使电极板移动，由此使电极板经过干燥炉；导辊单元，在干燥炉中引导电极板，并且具有静导辊和动导辊，其中，动导辊根据驱动单元的驱动速度沿从电极板的另一表面朝着电极板的一个表面的方向移动或沿从电极板的所述一个表面朝着电极板的所述另一表面的方向移动。
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公开(公告)号：CN102544433B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201110042809.7
申请日：2011-02-21
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明提供了一种板干燥器，当热处理炉的温度被升至或保持在200℃以去除热处理炉中残留的溶剂时，所述板干燥器能防止板被氧化。所述板干燥器包括热处理炉，所述热处理炉容纳上面形成有活性物质的板，并具有惰性气体供应口和惰性气体排气口；测量所述热处理炉的内部温度的温度传感器；测量所述热处理炉的内部氧气浓度的氧气传感器；惰性气体供应单元，当所述热处理炉的内部温度在预定范围内或当所述热处理炉的内部氧气浓度在预定范围内时，所述惰性气体供应单元供应惰性气体；以及控制所述惰性气体供应单元的控制器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103418534A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310074788.6
申请日：2013-03-08
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: F26B25/001 , F26B13/107 , F26B13/14
Abstract: 一种干燥设备包括：具有入口和出口的干燥炉；安装在所述干燥炉内并用于干燥待干燥物体的干燥单元；多个上辊和多个下辊，所述多个上辊和所述多个下辊交替布置在所述干燥炉的内部的顶部和底部处；以及辊驱动器，被连接到所述多个上辊和所述多个下辊并将所述上辊向上移动和将所述下辊向下移动，其中，在所述待干燥物体被从所述入口传送到所述出口时，所述辊驱动器将所述上辊朝向向下移动，将所述下辊向上移动，或者将所述上辊向下移动和将所述下辊朝向向上移动。
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公开(公告)号：CN100454514C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200610112369.7
申请日：2006-08-31
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L51/56 , C23C14/50 , C23C16/458
CPC classification number: C23C14/50 , C23C14/042 , H01L51/0008 , H01L51/0097 , H01L51/56 , H01L2251/5338
Abstract: 本发明公开一种用于制造柔性显示器的膜盘，该膜盘可以避免柔性基板或膜下沉。所述膜盘包括支撑板和至少一对夹钳，至少一对夹钳中的每个夹钳沿着支撑板的相对边缘设置以固定柔性介质。至少一对夹钳中的第一夹钳和至少一对夹钳中的第二夹钳对准。每个夹钳都包括适于打开以容纳柔性基板或膜并适于关闭以固定柔性基板或膜的开关部分，以及与该开关部分分开有预定距离以当开关部分关闭时将柔性基板或膜支持在预定高度的支撑部分。
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公开(公告)号：CN100419955C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200610108939.5
申请日：2006-07-28
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: H01L51/5246 , H01L51/524 , Y10S269/90
Abstract: 本发明公开了一种用于制造有机发光显示器的基底支撑板转移装置。在一个实施例中，该装置包括：石英板，被移入用于有机发光显示装置的结合处理室中；保护框，石英板置于其上，以将石英板移入室中；框形的支撑板，包括用于帮助转移保护框的滑动转移装置并被安装在室中。石英板具有能够承受在结合工艺中施加到大尺寸基底的压力的刚性，该装置为更换石英板提供了方便。
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公开(公告)号：CN1818127A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200510121705.X
申请日：2005-12-01
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/243
Abstract: 一种具有稳定沉积速度和高重现性的沉积源，以及一种包括沉积源的沉积设备，其中该沉积源包括：具有线形开孔部分的加热室；和包括多个孔并与加热室线形开孔部分相连的盖。盖上形成的孔之间的距离沿加热室的线形开孔部分的长边方向变化。盖上形成的孔的数量沿加热室的线形开孔部分的长边方向也可发生变化。
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公开(公告)号：CN1789484A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510108161.3
申请日：2005-10-09
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明涉及串列形式的薄膜蒸镀系统，提供一种通过固定并支持基片而实现垂直蒸镀、并移送中使微细粒子的影响最小而可以充分确保掩模板平面度的校正系统、垂直型盘移送装置和具有该装置的蒸镀装置。本发明的解决手段为包含：垂直固定基片(10)的基片盘(100)；为了与所述基片盘(100)相校正而垂直固定掩模板(30)的掩模盘(300)；通过联接部联接所述基片盘(100)和掩模盘(300)的盘支座(500)。
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