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公开(公告)号:CN101571672A
公开(公告)日:2009-11-04
申请号:CN200910136972.2
申请日:2009-04-30
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/038 , H01L21/84 , G02F1/1368
Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物,该组合物的分辨率、绝缘性、平坦性、耐化学性和粘接力均优异,特别是与现有的感光性树脂相比,在形成高开口率液晶显示元件和反射型液晶显示元件的有机绝缘膜时感光度、残膜率和UV透过率显著优异,因此该组合物适合以有机绝缘膜的方式来使用。特别是,本发明涉及含有如下成分的负型感光性树脂组合物:a)使i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、ii)含有环氧基的不饱和化合物和iii)烯烃系不饱和化合物共聚得到的丙烯酸系共聚物;b)含有[1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基肟)的光引发剂;c)具有烯键式不饱和键的多官能性单体;d)具有环氧基或胺基的硅系化合物;和e)溶剂。
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公开(公告)号:CN101566796A
公开(公告)日:2009-10-28
申请号:CN200910131096.4
申请日:2009-04-22
Applicant: 东进世美肯株式会社
Abstract: 本发明提供一种低温固化性感光性树脂组合物,该组合物不仅感光度、耐热性、耐化学性等性能优异,而且即使在150℃以下的低温工序中也使膜具有优异的疏水特性,由此该组合物特别适于在制造OLED、OTFT元件的喷墨方式中形成槽凸起,同时适合用于浮脱用途。本发明涉及低温固化性感光性树脂组合物,特别是涉及含有如下物质的低温固化性感光性树脂组合物:a)将i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、ii)含环氧基的不饱和化合物和iii)烯烃类不饱和化合物共聚得到的丙烯酸类共聚物;b)1,2-醌二叠氮化合物;c)氟类化合物;以及d)沸点为90~150℃并且当以n-BA的蒸发速度为1时蒸发速度为0.3~1.0的溶剂。
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公开(公告)号:CN111123644B
公开(公告)日:2024-09-03
申请号:CN201911054758.2
申请日:2019-10-31
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G02F1/1333 , H10K59/122 , H10K59/12
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、显示器、及显示器的图案形成方法,该感光性树脂组合物包含:a)通过使不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、含环氧基不饱和化合物和烯属不饱和化合物共聚而得的丙烯酸共聚物;b)共聚物以a、b和c的摩尔比包含化学式1至3所示的重复单元;c)1,2‑醌二叠氮化合物;及d)溶剂。本发明感光性树脂组合物具有优异的分辨率、光刻工艺裕度和耐热性,且敏感度和穿透性优异,提高粘结力等。化学式1至3中,a、b和c表示各单体间的摩尔比,a为1至10的整数,b和c各自独立地或同时为0至9的整数,a+b+c=10,n为1至10的整数,R为H或CH3。#imgabs0#
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公开(公告)号:CN115151603A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202180015683.6
申请日:2021-02-18
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种光聚合性组合物、由此形成的光学部件和显示装置,所述光聚合性组合物可以形成显示出改善的光学特性(包含优秀的透光性、低雾度和高折射率)的光学部件。所述光聚合性组合物包含:具有光固化性官能基的一种以上烯烃单体;金属氧化物粒子;具有胺基和光固化性官能基的胺化合物;以及光聚合引发剂。
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公开(公告)号:CN104011594B
公开(公告)日:2020-04-24
申请号:CN201280061667.1
申请日:2012-12-11
Applicant: 东进世美肯株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物,更为详细地讲,涉及包括在基板的氮化硅膜(SiNx)上形成半色调(halftone)的工序的基板微细图案形成用光致抗蚀剂组合物。本发明的光致抗蚀剂组合物,其常温稳定性优良、变色少且透射率优良,从而即便省略HMDS工序,也不存在经微细化的图案在执行显影工序时产生遗失,或者在执行后工序时产生图案变形的危险。
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公开(公告)号:CN102246095B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN200980149593.5
申请日:2009-12-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,具体涉及含有低聚硅氧烷化合物的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,所述低聚硅氧烷化合物是使i)由下述化学式1表示的含有1-3个苯基的反应性硅烷和ii)由化学式2表示的4官能反应性硅烷的硅烷单体在催化剂存在下进行水解和缩聚而得到,所述低聚硅氧烷化合物的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至2,0000。根据本发明的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,可以将现有的SiNx钝化/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双重结构形成为一层(layer),从而能够带来工序的简化和生产费用的节约,不仅灵敏度、分辨率、工艺裕度、透明性、耐热变色性等性能优异,特别是使低介电常数绝缘膜成为可能,从而能够降低耗电,并消除残像、串扰、以及阈值电压的漂移现象。另外,使优异的耐热性带来的低释气成为可能,从而能够确保优异的面板可靠性。由此可以在各种显示器中不仅能够有用地适用于钝化绝缘膜、栅绝缘膜,而且还能够有用地适用于平坦化膜等。
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公开(公告)号:CN114556216B
公开(公告)日:2025-04-25
申请号:CN202080071401.X
申请日:2020-10-08
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其包含一种或多种不同于传统苯并三唑类可交联反应的酚式羟基化合物、具有特定结构的两种反应性硅烷化合物的硅氧烷共聚物,以及具有烷氧基的UV吸收剂;此正型感光性树脂组合物可最大限度地降低残留杂质如未反应单体和催化剂,进而确保优异的面板可靠性,不仅敏感度、分辨率和平坦度等性能优异,且耐候性、紫外线吸收率也优异。
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公开(公告)号:CN113260922A
公开(公告)日:2021-08-13
申请号:CN201980087219.0
申请日:2019-12-31
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物包含:硅氧烷类聚合物,聚合一种以上的反应性硅烷来获取;烯烃类聚合物,包含重复单元,上述重复单元包含一种以上的羟基苯基或苯基;1,2‑醌二叠氮化合物;以及溶剂。本发明的正型感光性树脂组合物具有优秀的灵敏度、耐热变色性等性能,尤其,具有优秀的耐热性,因此,在将其用于显示面板的情况下,防止裂纹并提高耐化学性,从而可确保优秀的面板可靠性。
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公开(公告)号:CN107533293B
公开(公告)日:2021-06-22
申请号:CN201680023800.2
申请日:2016-05-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 根据本发明的一实施例的正型感光性树脂组合物包含a)下述化学式1所表示的共聚物、b‑1)肟系光产酸剂、b‑2)三嗪系光产酸剂、c)有机碱、及d)溶剂。下述化学式1中,下述R1为缩醛和缩酮中的任一种,下述x+y+z=1。
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公开(公告)号:CN108073042A
公开(公告)日:2018-05-25
申请号:CN201711098303.1
申请日:2017-11-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/039
Abstract: 本发明涉及一种正型光敏树脂组合物。更具体地,本发明涉及一种具有优异的灵敏度、分辨率、图案轮廓、曝光后延迟裕度(PED margin)等,尤其是因为具有亲油性的巨大的发色团结构,对蚀刻液渗透的排斥力及耐热性优异,并且使用因含长烷基链的酸结构而容易控制酸扩散速度的光致产酸剂,从而湿法蚀刻粘合力及耐热性、分散度优异的正型光敏树脂组合物。因此,本发明的正型光敏树脂组合物能够用于显示器、半导体、微机电系统(MEMS)、电子纸(E-paper)等伴有湿法蚀刻工艺的元件,尤其适用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有机发光二极管(OLED)或有机薄膜晶体管(O-TFT)等大面积高分辨率显示器。
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