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公开(公告)号：CN108572516B
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN201810195286.1
申请日：2018-03-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组合物、显示器件及其图案形成方法，更详细地，涉及包含a)下述化学式1或化学式2的1，2‑醌二叠氮化合物；b)丙烯酸类共聚物；c)硅烷偶联剂；以及d)溶剂的正型感光性树脂组合物，所述化学式1的R1、化学式2的R3分别独立地为氢原子或1，2‑醌二叠氮类磺酸酯，化学式1的R2、化学式2的R4分别独立地表示氢原子或碳数为1至20的烃基，所述R1、R3中的至少一个为1，2‑醌二叠氮类磺酸酯。化学式1：#imgabs0#化学式2：#imgabs1#
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公开(公告)号：CN105759568B
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201510940417.0
申请日：2015-12-16
Abstract: 阳性光敏硅氧烷树脂组合物包括：a)通过在催化剂下进行i)至少一种由下列化学式1表示的反应性硅烷和ii)至少一种由下列化学式2表示的4‑官能反应性硅烷的水解和缩合聚合而获得的硅氧烷类共聚物，所述共聚物具有1,000至20,000的聚苯乙烯转换的重均分子量Mw；b)1,2‑二叠氮醌化合物；和c)溶剂，(R1)nSi(R2)4‑n [化学式1]Si(R3)4 [化学式2]其中R1可各自独立地为具有1至10个碳原子的烷基和具有6至15个碳原子的芳基中的任一种，R2可以各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，R3可各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，且n可以为1至3的自然数。
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公开(公告)号：CN105190782B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201480020441.6
申请日：2014-04-07
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及负型感光性有机‑无机混合绝缘膜组合物，根据本发明的负型感光性有机‑无机混合绝缘膜组合物可通过将以往的SiNx钝化(Passivation)/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双层结构形成为单层(layer)来实现工序简化和生产费用降低，不仅灵敏度、分辨率、工艺窗口、透明性、耐热变色性、平坦度等性能优异，尤其能够实现低电容率绝缘膜，从而能够降低耗电，并且能够消除残影、串扰(Crosstalk)和阈值电压的位移(Shift)现象。此外，由于以优异的耐热性而能够实现低脱气(Outgassing)，因此能够确保优异的面板(Panel)可靠性。由此，在多种多样的显示器中不仅能够有效地用于钝化绝缘膜、栅极绝缘膜，还能够用于平坦化膜等。
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公开(公告)号：CN102576192B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201080048213.1
申请日：2010-10-21
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/0233
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物，特别是涉及一种感光性树脂组合物，其为用于形成层间有机绝缘膜的正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有选自a)UV稳定剂、b)自由基清除剂、以及c)抗氧化剂中的1种以上的化合物。本发明的感光性树脂组合物用作TFT-LCD的层间有机绝缘膜，不仅能在光取向用液晶工序中进行过渡曝光时改善液晶变形现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜形成。
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公开(公告)号：CN105759568A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201510940417.0
申请日：2015-12-16
CPC classification number: G03F7/039 , C08K5/23 , C08K5/42 , G03F7/0233 , G03F7/038 , H01L27/3246 , H01L27/3248 , H01L51/0043 , H01L51/0094 , C08L83/04 , G03F7/0757
Abstract: 阳性光敏硅氧烷树脂组合物包括：a)通过在催化剂下进行i)至少一种由下列化学式1表示的反应性硅烷和ii)至少一种由下列化学式2表示的4-官能反应性硅烷的水解和缩合聚合而获得的硅氧烷类共聚物，所述共聚物具有1,000至20,000的聚苯乙烯转换的重均分子量Mw；b)1,2-二叠氮醌化合物；和c)溶剂，(R1)nSi(R2)4-n [化学式1]Si(R3)4 [化学式2]其中R1可各自独立地为具有1至10个碳原子的烷基和具有6至15个碳原子的芳基中的任一种，R2可以各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，R3可各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，且n可以为1至3的自然数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103052916B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201180037435.8
申请日：2011-07-15
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/032 , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/037 , G03F7/0757
Abstract: 本发明涉及一种感应长波长UV的负型感光性树脂组合物，尤其涉及一种包含a）i)丙烯酸类共聚物、ii）聚酰亚胺类共聚物、iii)硅氧烷类共聚物中的单独或者混合共聚物；b）光引发剂；c）特定结构的吖啶类光敏剂（Photosensitizer）的负型感光性树脂组合物。根据本发明的负型感光性树脂组合物，其分辨率、透射率、耐热变色性、粘接力等优秀，尤其在405nm～435nm的UV长波长中敏感度优秀，因而适用于GH-line专用曝光机或者下一代数码曝光机。
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公开(公告)号：CN101825843B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201010122249.1
申请日：2010-03-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/031 , G02F1/133345
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其用于TFT-LCD的层间有机绝缘膜的形成，在光取向用液晶工序中进行过曝光时能够改善液晶偏置现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜的形成。本发明的感光性树脂组合物的特征是，是用于TFT-LCD用层间有机绝缘膜的形成的感光性树脂组合物，含有0.01至20重量％的UV稳定剂或者自由基清除剂。
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公开(公告)号：CN102246095A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200980149593.5
申请日：2009-12-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物，具体涉及含有低聚硅氧烷化合物的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物，所述低聚硅氧烷化合物是使i)由化学式1表示的含有1-3个苯基的反应性硅烷和ii)由化学式2表示的4官能反应性硅烷的硅烷单体在催化剂存在下进行水解和缩聚而得到，所述低聚硅氧烷化合物的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至2,0000。根据本发明的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物，可以将现有的SiNx钝化/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双重结构形成为一层(layer)，从而能够带来工序的简化和生产费用的节约，不仅灵敏度、分辨率、工艺裕度、透明性、耐热变色性等性能优异，特别是使低介电常数绝缘膜成为可能，从而能够降低耗电，并消除残像、串扰、以及阈值电压的漂移现象。另外，使优异的耐热性带来的低释气成为可能，从而能够确保优异的面板可靠性。由此可以在各种显示器中不仅能够有用地适用于钝化绝缘膜、栅绝缘膜，而且还能够有用地适用于平坦化膜等。
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公开(公告)号：CN101825843A
公开(公告)日：2010-09-08
申请号：CN201010122249.1
申请日：2010-03-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/031 , G02F1/133345
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其用于TFT-LCD的层间有机绝缘膜的形成，在光取向用液晶工序中进行过曝光时能够改善液晶偏置现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜的形成。本发明的感光性树脂组合物的特征是，是用于TFT-LCD用层间有机绝缘膜的形成的感光性树脂组合物，含有0.01至20重量％的UV稳定剂或者自由基清除剂。
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公开(公告)号：CN111123644B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN201911054758.2
申请日：2019-10-31
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G02F1/1333 , H10K59/122 , H10K59/12
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、显示器、及显示器的图案形成方法，该感光性树脂组合物包含：a)通过使不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或它们的混合物、含环氧基不饱和化合物和烯属不饱和化合物共聚而得的丙烯酸共聚物；b)共聚物以a、b和c的摩尔比包含化学式1至3所示的重复单元；c)1,2‑醌二叠氮化合物；及d)溶剂。本发明感光性树脂组合物具有优异的分辨率、光刻工艺裕度和耐热性，且敏感度和穿透性优异，提高粘结力等。化学式1至3中，a、b和c表示各单体间的摩尔比，a为1至10的整数，b和c各自独立地或同时为0至9的整数，a+b+c＝10，n为1至10的整数，R为H或CH3。#imgabs0#
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