公开(公告)号：CN119714121A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202510213599.5

申请日：2025-02-26

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 李志松 ,  侯懿 ,  宋金龙

IPC: G01B11/24 ,  G01M11/02

Abstract: 本申请公开了一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置，涉及光学干涉测量技术领域，利用初始位置的波前相位分布数据和多个旋转后的波前相位分布数据的平均值，得到旋转非对称误差；然后将参考镜沿着X轴平移，并测量平移后的波前相位分布数据，根据平移后的波前相位分布数据得出旋转对称误差，将旋转对称误差和与旋转非对称误差进行结合即可到所求解的面形误差。本申请提供的一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置消除了待测镜翻转所带来的误差，提高了测量精度，简化了测量步骤，且提高了面形检测的稳定性。

公开(公告)号：CN119687777A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202510220383.1

申请日：2025-02-27

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 李志松 ,  张丰怡 ,  底复龑 ,  宋金龙

IPC: G01B9/02

Abstract: 本申请公开了一种基于移相分布收敛准则的图像重组与筛选方法及装置，通过获取多组干涉图像，将每组干涉图像的每帧图像映射到预定义的移相量目标值集合中，得到映射函数，然后采用移相收敛策略进行初级、次级、三级、四级和多级筛选，逐步优化，以筛选出移相分布最为准确的组合，在筛选过程中计算MAD指标评估像素点的移相准确性，根据离散系数评估多级筛选结果的整体移相数据集中度，从而确定出符合预设精度要求的干涉图组合。本申请提供的一种基于移相分布收敛准则的图像重组与筛选方法及装置不仅提高了相位测量的准确性，而且通过减少对复杂算法的依赖，降低了计算成本；此外，该方法的自适应筛选机制使其能够在多变的测量环境中保持高效。

公开(公告)号：CN117128877B

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311394444.3

申请日：2023-10-26

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 李志松 ,  孙佳兴 ,  宋金龙

IPC: G01B11/06

Abstract: 本申请公开了一种薄膜厚度检测方法、计算机及系统，涉及光学薄膜厚度测量技术领域，方法包括：通过获取光源的波长范围以及薄膜样品的折射率函数得到所有仿真反射光谱曲线和所有仿真反射光谱曲线的零点；采集实测反射光谱，并将实测反射光谱进行分解得到实测反射光谱Imf2分量的所有零点；根据评价函数获取所有仿真反射光谱曲线的零点中与实测反射光谱Imf2分量的所有零点差异最小的一组，并得到薄膜样品的实测厚度；获取CCD相机采集到的干涉图中的条纹个数；根据厚度校正公式校正薄膜样品的实测厚度，得到最终厚度。本申请提供的薄膜厚度检测方法、计算机及系统在测量厚度小于1mm的薄膜时，不仅精度高，而且还具备强大的稳定性。