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公开(公告)号：CN119714121B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510213599.5
申请日：2025-02-26
Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司
Abstract: 本申请公开了一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置，涉及光学干涉测量技术领域，利用初始位置的波前相位分布数据和多个旋转后的波前相位分布数据的平均值，得到旋转非对称误差；然后将参考镜沿着X轴平移，并测量平移后的波前相位分布数据，根据平移后的波前相位分布数据得出旋转对称误差，将旋转对称误差和与旋转非对称误差进行结合即可到所求解的面形误差。本申请提供的一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置消除了待测镜翻转所带来的误差，提高了测量精度，简化了测量步骤，且提高了面形检测的稳定性。
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公开(公告)号：CN119714121A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202510213599.5
申请日：2025-02-26
Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司
Abstract: 本申请公开了一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置，涉及光学干涉测量技术领域，利用初始位置的波前相位分布数据和多个旋转后的波前相位分布数据的平均值，得到旋转非对称误差；然后将参考镜沿着X轴平移，并测量平移后的波前相位分布数据，根据平移后的波前相位分布数据得出旋转对称误差，将旋转对称误差和与旋转非对称误差进行结合即可到所求解的面形误差。本申请提供的一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置消除了待测镜翻转所带来的误差，提高了测量精度，简化了测量步骤，且提高了面形检测的稳定性。
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