公开(公告)号：CN119687777B

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202510220383.1

申请日：2025-02-27

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 李志松 ,  张丰怡 ,  底复龑 ,  宋金龙

IPC: G01B9/02

Abstract: 本申请公开了一种基于移相分布收敛准则的图像重组与筛选方法及装置，通过获取多组干涉图像，将每组干涉图像的每帧图像映射到预定义的移相量目标值集合中，得到映射函数，然后采用移相收敛策略进行初级、次级、三级、四级和多级筛选，逐步优化，以筛选出移相分布最为准确的组合，在筛选过程中计算MAD指标评估像素点的移相准确性，根据离散系数评估多级筛选结果的整体移相数据集中度，从而确定出符合预设精度要求的干涉图组合。本申请提供的一种基于移相分布收敛准则的图像重组与筛选方法及装置不仅提高了相位测量的准确性，而且通过减少对复杂算法的依赖，降低了计算成本；此外，该方法的自适应筛选机制使其能够在多变的测量环境中保持高效。

公开(公告)号：CN119687777A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202510220383.1

申请日：2025-02-27

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 李志松 ,  张丰怡 ,  底复龑 ,  宋金龙

IPC: G01B9/02

Abstract: 本申请公开了一种基于移相分布收敛准则的图像重组与筛选方法及装置，通过获取多组干涉图像，将每组干涉图像的每帧图像映射到预定义的移相量目标值集合中，得到映射函数，然后采用移相收敛策略进行初级、次级、三级、四级和多级筛选，逐步优化，以筛选出移相分布最为准确的组合，在筛选过程中计算MAD指标评估像素点的移相准确性，根据离散系数评估多级筛选结果的整体移相数据集中度，从而确定出符合预设精度要求的干涉图组合。本申请提供的一种基于移相分布收敛准则的图像重组与筛选方法及装置不仅提高了相位测量的准确性，而且通过减少对复杂算法的依赖，降低了计算成本；此外，该方法的自适应筛选机制使其能够在多变的测量环境中保持高效。