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公开(公告)号：CN105549331A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610023018.2
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716 , H02N15/00
Abstract: 基于主动平衡质量动线圈气磁结合气浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、气磁结合气浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，采用双电机曲柄摇杆机构组成的主动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用气悬浮和平面电机驱动，采用双层水冷散热降温，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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公开(公告)号：CN105547145A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510868029.6
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02042 , G01B9/02048
Abstract: 一种超分辨结构探测共焦相干成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明的目的是为了解决现有共焦限位技术的分辨力难以提高，共焦成像不清晰的问题。本发明包括激光光源，沿激光光源光线传播方向依次设有准直扩束器、分光棱镜、1/4波片、扫描系统、照明物镜、工业样品、收集透镜和CCD探测器，探测面上进行积分，改变对应探测位置的光灵敏度，使系统CTF带宽变大。本发明提高了共焦相干成像系统的空间截止频率，拓宽空间频域带宽，从而显著改善成像系统横向分辨力，适用于工业形貌成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN104865031B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510235880.5
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 涡流补偿的双永磁管两端对称励磁圆柱形封闭磁场式低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，两圆筒形永磁管对称安装在电磁驱动结构两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称的闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，与静压气浮导向技术有机融合，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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公开(公告)号：CN104849007B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510235813.3
申请日：2015-05-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 磁场跟踪补偿的四磁路对称励磁矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，四个永磁体对称安装在两个外磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成四个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，与气隙相邻的内磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，中心磁轭上设有补偿线圈，所通电流与工作线圈中的电流方向相反、相位同步跟踪、幅值成一定比例，形成的补偿磁场可对电枢反应的影响进行跟踪补偿；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力和线性电磁驱动力特性，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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公开(公告)号：CN104019798B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410179235.1
申请日：2014-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C9/20
Abstract: 同心共面三等分环-圆嵌套极板倾角测量方法与装置属于角度测量技术，其中传感器单元的环形共面电容测头由一个圆形金属板和三个三分之一圆环形金属板组成，四块金属板共面同心，三个三分之一圆环形金属板沿周向均匀分布，每一块与圆形金属板形成电容，将此环形共面电容测头安置于圆形绝缘基板上，圆形绝缘基板作为圆柱体容器底面，并将此圆柱体容器横置，在容器中密封注入体积1/2的绝缘性液体，电位引线将四块金属板的电位取出并与电容测量单元的输入端相连，电容测量单元与倾角计算单元连接；容器发生倾斜时，环形共面电容测头与绝缘性液体的相对位置发生变化，通过测量电容容值的变化，可求得倾角值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103292912B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201310190829.8
申请日：2013-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双声光移频的光电接收器温度系数测试方法属于激光应用技术，该方法采用单频激光作为光源，经过双声光移频器后输出双频激光光束，利用无偏分光棱镜进行分光，测试待测光电接收器在不同温度下与参考光电接收器之间的相位差，得到待测接收器的温度系数；本方法在测试中参考光束与测量光束的相位不受外界环境变化影响，不引入额外相位误差，测试准确度高，而且可以通过调节双频激光的光频率测试不同频率下的光电接收器的温度系数。
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公开(公告)号：CN105514782A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201610084901.2
申请日：2016-02-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: H01S3/1109 , H01S3/109
Abstract: 基于三周期性极化晶体的飞秒脉冲锁相中继方法及装置属于激光探测领域，该方法依据远端发射过来的功率极弱的飞秒脉冲序列，由本地飞秒激光器沿原方向发射新的脉冲序列，并利用周期性极化晶体的非线性效应和双折射效应产生反馈信号，对本地飞秒激光器的脉冲重复频率进行反馈控制，使得输出信号的脉冲与原信号实时重叠并锁定；该装置包括本地飞秒激光器、平衡光电探测单元、控制单元和分光光路；本发明在实现了飞秒激光脉冲中继传输的同时，保证了脉冲锁定偏差的阿伦方差在亚纳米量级。
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公开(公告)号：CN105487346A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610023030.3
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于电磁阻尼的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用干涉仪对工件台位置进行测量，采用平面片簧和电磁阻尼器组成的被动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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公开(公告)号：CN105426566A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510664084.3
申请日：2015-10-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5086
Abstract: 基于蒙特卡罗技术的大型高速回转装备形位公差分配方法属于机械公差分配技术；分析大型高速回转装备的径向和轴向测量面的定位及定向公差在装配中的传递过程，确定n级装备装配后的圆心坐标的传递关系，得到装配后装备偏心与各级转子定位、定向公差和旋转角度之间的关系；依据蒙特卡罗法生成各级大型高速回转装备的径向偏心及轴向垂直度数据，绘制出分布函数求出概率密度函数，进而得到各级大型高速回转装备的径向偏心及轴向垂直度公差与最终多级装备同轴度公差的概率关系，实现大型高速回转装备公差的分配。
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公开(公告)号：CN105425552A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201610023019.7
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于平面光栅测量动磁钢气磁结合气浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、气磁结合气浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置、传感器信号传输装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行测量，采用平面片簧和电磁阻尼器组成的被动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用气悬浮和平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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