功能材料至靶材表面上的可控沉积

    公开(公告)号:CN115398034B

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202180025731.X

    申请日:2021-03-31

    Abstract: 本文提供了板(1),其包括将要使用具有波长(λR3)的单色光子辐射(R3)沉积到靶材表面(51)上的功能材料(2)。所述板包括基底(10),所述基底(10)具有被引导朝向靶材表面的第一表面(11)和接收单色光子辐射的第二表面(12)。第一表面(11)被图案化为具有一个或多个凹陷区域(111),所述凹陷区域(111)具有介电涂层(4)并且填充有所述功能材料。介电涂层(4)包括一系列折射率交替的介电涂层子层(41,42,43)。与对于以45度角入射到介电涂层(4)的所述单色辐射(R3)的反射率相比,所述介电涂层(4)对于垂直于介电涂层(4)入射的所述单色辐射(R3)具有相对高的反射率。从而减轻了剪切力,而不需要高的对准精度。本申请还提供了包括该板的沉积装置和涉及该板的方法。

    制造薄膜光伏产品的方法
    208.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114127958B

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202080051711.5

    申请日:2020-07-17

    Abstract: 公开了一种制造具有多个串联互连的光伏电池(1A,1B)的光伏产品(1)的方法,包括沉积叠层,该叠层具有底部电极层(12)、顶部电极层(16)和布置在所述第一和所述顶部电极层之间的光伏层(14),底部电极层和光伏层具有界面层(13)。该方法还包括将所述叠层分割成与相应光伏电池(1A,1B)相关联的相应侧向部分,在每个光伏电池(1A)和后续光伏电池(1B)之间具有边界区域(1AB),并且在边界区域中使相互后续的光伏电池串联互连。分割包括至少使用辐照子步骤和随其之后的机械碎片去除子步骤形成一个或多个沟槽(20;22;23)延伸贯穿顶部电极层和光伏层以暴露底部电极层。

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