组件、用于组件的部件以及制造组件的方法

    公开(公告)号:CN102742371A

    公开(公告)日:2012-10-17

    申请号:CN201180007790.0

    申请日:2011-01-31

    Abstract: 提供一种包括柔性箔(20)上的电-物理换能器(10)与托板(40)在内的组件。所述柔性箔(20)具有第一主表面(22)和第二主表面(23),所述第一主表面(22)设置有与所述电-物理换能器相连的至少一个第一导电轨(24),所述第二主表面(23)与所述第一主表面相对并面向所述托板。至少一个第一切口(25a)在所述至少一个第一导电轨的旁边延伸穿过所述柔性箔,由此界定出所述柔性箔的条形部分(27),所述条形部分承载所述至少一个第一导电轨的一部分。所述至少一个第一导电轨与所述托板的电导体(421)电连接,且所述柔性箔通过所述柔性箔的条形部分附接到所述托板上。

    封闭槽腔压力传感器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117897601A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202280059382.8

    申请日:2022-08-04

    Abstract: 本公开涉及一种用于测量外力的系统(100)。系统包括衬底(1),该衬底形成一组封闭的口袋(2),该一组封闭的口袋具有至少一个柔性壁(3)和封装的MEMS设备(4),该至少一个柔性壁随外力而变形,该MEMS设备被配置成引起随口袋内的压力(P)变化的电信号的变化。柔性壁设置有向外突出的形状和弹性装置,该向外突出的形状被构造成在存在外力的情况下向内弯曲到口袋中,该弹性装置被构造成在没有外力的情况下使向外突出的形状恢复。

    组件、用于组件的部件以及制造组件的方法

    公开(公告)号:CN102742371B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201180007790.0

    申请日:2011-01-31

    Abstract: 提供一种包括柔性箔(20)上的电-物理换能器(10)与托板(40)在内的组件。所述柔性箔(20)具有第一主表面(22)和第二主表面(23),所述第一主表面(22)设置有与所述电-物理换能器相连的至少一个第一导电轨(24),所述第二主表面(23)与所述第一主表面相对并面向所述托板。至少一个第一切口(25a)在所述至少一个第一导电轨的旁边延伸穿过所述柔性箔,由此界定出所述柔性箔的条形部分(27),所述条形部分承载所述至少一个第一导电轨的一部分。所述至少一个第一导电轨与所述托板的电导体(421)电连接,且所述柔性箔通过所述柔性箔的条形部分附接到所述托板上。

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