制造高纵横比结构的设备和方法

    公开(公告)号:CN107925054B

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN201680051335.3

    申请日:2016-07-15

    Abstract: 一种制造锂电池(100)的方法,锂电池(100)具有由衬底面(10)上的柱(11)形成的集电器,其中该方法包括:在衬底面(10)上形成细长且对准的结构,该结构形成导电柱(11),导电柱(11)具有从柱基部延伸到柱顶的直立柱壁;其中柱被覆盖有层压体,层压体包括第一电极(12)、固态电解质层(13)、第二电极层(14)以及形成电极部分的顶层(20);并且其中第一电极层、第二电极层和顶层中的至少一个被非共形涂布,以通过在电池的充电/放电循环期间发生电极层的体积膨胀/收缩时,限制柱基部处的裂纹,而防止锂嵌入柱基部附近的第一或第二电极中。

    涂覆系统和涂覆方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107107101A

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201580073661.X

    申请日:2015-12-16

    Abstract: 提供了一种涂覆系统(1),包括涂覆室(20),在所述涂覆室(20)中布置有用于向基底(S)提供有机涂层的涂覆设备(10)。所述涂覆设备(10)包括用于沉积用于所述有机涂层的无溶剂的可固化液体有机前体的涂覆装置(12)和用于通过将能量供应至所述液体有机前体使沉积在所述基底(S)上的所述液体有机前体固化的固化单元(14)。所述涂覆系统还包括涂覆时将所述涂覆室内的压力保持在低于1毫巴下的真空泵(30)。供应设施(152,152’)用于将所述可固化液体有机前体从储器可控地供应至所述涂覆装置(12)。所述供应设施(152,152’)具有用于接收来自所述储器的可固化液体有机前体的入口(1510)。所述储器的底部(150B)的位置布置在所述入口(1510)上方的高度(H1)处。所述涂覆系统具有第一操作模式,其中将待供应至所述涂覆设备的可固化液体有机前体暴露于具有第一压力值等于或低于室压力值的压力的真空;以及具有接着所述第一操作模式的第二操作模式,其中所述供应设施(152,152’)将所述可固化液体有机前体供应至所述涂覆装置(12)。

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