公开(公告)号：CN100343682C

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN02816283.8

申请日：2002-08-27

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  门田和浩 ,  笠井干也 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/302

CPC classification number: G01R31/312

Abstract: 本发明提供一种可精密检查导体图案形状的检查装置用传感器及使用该传感器的检查装置。传感元件12a包含MOSFET，配置铝电极(AL)，作为无源元件80。作为无源元件80的铝电极80连接于MOSFET81的栅极及MOSFET82的源极上。另外，从电源电路部18向MOSFET81的漏极施加电压VDD，将MOSFET81的源极连接于MOSFET83的漏极上。向MOSFET82的栅极输入来自纵向选择部14的复位信号，从电源电路部18向MOSFET82的漏极施加电压VDD。从纵向选择部14向MOSFET83的栅极输入选择信号，向横向选择部13输入来自MOSFET83的源极的输出。

公开(公告)号：CN1216295C

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN01800308.7

申请日：2001-03-23

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 藤井达久 ,  石冈圣悟 ,  山冈秀嗣

IPC: G01R31/02 ,  H05K3/00

CPC classification number: G01R31/302 ,  G01R31/304 ,  G01R31/312

Abstract: 本发明提供了一种可以借助直感获得回路配线检测结果的检测装置和检测方法。检测系统20，具有配置着多个传感元件的传感器芯片1，电子计算机21，向回路配线101供给检测信号的电极触头22，对供给至电极触头22处的检测信号实施切换的选择部件23。电子计算机21可以对由传感器芯片1给出的检测信号实施接收，生成图象数据，进而可以将作为检测对象的回路配线图象显示在显示部件21a上。采用这种构成形式，便可以对特定回路配线的形状实施分析，并且可以依据所生成的图象数据和表示设计上的回路配线的图象数据，对回路配线101中出现的断线、短路、脱落等等故障实施检测。

公开(公告)号：CN1175274C

公开(公告)日：2004-11-10

申请号：CN01800076.2

申请日：2001-02-16

Applicant: OHT株式会社

Inventor： 石冈圣悟 ,  藤井达久

IPC: G01R31/02 ,  G01R31/04 ,  G01R31/316

CPC classification number: G01R1/0433 ,  G01R1/0483 ,  G01R31/2886

Abstract: 本发明提供了一种可以使检测用芯片相对于作为检测对象的导电图形实施适当配置的检测装置。这种检测装置中的检测用芯片1上的电极连接部1b，与壳体2上的引线2a相连接，而且在两者上均设置有突起电极3和4，这种检测装置还设有覆盖着突起电极3和4的各向异性导电部件5，跨接在突起电极3和4之间的、位于各向异性导电部件5上的导电薄膜6，通过对各向异性导电部件5实施热压接，而使导电薄膜6与突起电极3和4间实现电气导通的方式，这种检测装置可以将检测用芯片1的表面设置的比较薄。