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公开(公告)号：CN111093975B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201880059040.X
申请日：2018-09-10
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种可制造减少高频电路中的电信号的传输损失、且平滑性优异的电路基板的高频电路用层叠体及其制造方法、其用途、以及B阶片。本发明的高频电路用层叠体的金属层与树脂层相接并进行层叠，所述树脂层的弹性系数为0.1GPa～3GPa，在23℃下所述树脂层的频率10GHz下的介电损耗正切为0.001～0.01，且相对介电常数为2～3。
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公开(公告)号：CN106066575A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610246881.4
申请日：2016-04-20
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种微流体装置的制造方法、微流体装置及微流体装置制造用感光性树脂组合物，制造方法包括：由感光性树脂组合物在支撑体上形成树脂层的工序，感光性树脂组合物含有具有至少两个自由基聚合性基的化合物、光自由基产生剂、具有至少两个阳离子反应性基的化合物、光阳离子产生剂以及选自具有保护基的胺、光降解性碱、具有酰亚胺结构的化合物、具有酰胺结构的化合物及具有脲结构的化合物中的至少一种化合物；对树脂层的一部分进行紫外线曝光及显影的工序；在显影后的树脂层上载置覆盖材料而获得层压体的工序；及对所得的层压体进行紫外线曝光的工序。由于光刻后的经图案化的树脂层具有充分的强度与粘性，从而使微流体装置具有良好的流路。
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公开(公告)号：CN1732408B
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：CN200380107753.2
申请日：2003-12-24
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2006
Abstract: 提供一种辐射敏感性树脂组合物，该辐射敏感性组合物含有由活性自由基聚合得到的含有能电离出酸性基团的树脂和辐射敏感性酸产生剂，该含有能电离出酸性基团的树脂具有通过碱不溶性或碱难溶性酸作用获得碱易溶性的特定构造，上述含有能电离出酸性基团的树脂的重均分子量和数均分子量之比(重均分子量/数均分子量)小于1.5。
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公开(公告)号：CN1886410A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200480034903.6
申请日：2004-10-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07F7/18 , C08G77/14 , G03F7/075 , G03F7/039 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供适合作为I－D偏差、焦点会聚范围(DOF)等特别优异的化学放大型抗蚀剂中的树脂成分的新型聚硅氧烷，作为合成该聚硅氧烷的原料等有用的新型硅烷化合物，和含有该聚硅氧烷的放射线敏感性树脂组合物。硅烷化合物用下述式(I)表示。聚硅氧烷具有下述式(1)表示的结构单元(R表示烷基，R1与R2表示氟原子、低级烷基或低级氟代烷基，n是0或1，k是1或2，i是0～10的整数)。放射线敏感性树脂组合物含有该聚硅氧烷和放射线敏感性酸发生剂。
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公开(公告)号：CN1732408A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200380107753.2
申请日：2003-12-24
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2006
Abstract: 提供一种辐射敏感性树脂组合物，该辐射敏感性组合物含有由活性自由基聚合得到的含有能电离出酸性基团的树脂和辐射敏感性酸产生剂，该含有能电离出酸性基团的树脂具有通过碱不溶性或碱难溶性酸作用获得碱易溶性的特定构造，上述含有能电离出酸性基团的树脂的重均分子量和数均分子量之比(重均分子量/数均分子量)小于1.5。
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