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公开(公告)号:CN1806178A
公开(公告)日:2006-07-19
申请号:CN200480016161.4
申请日:2004-06-01
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/0735 , G01R1/07378 , H01R4/04 , H01R12/52
Abstract: 公开了一种晶片检测装置及用于该晶片检测装置的各向异性导电性连接器,该晶片检测装置的特征为:小型,不会缩短检测用电路基板的使用寿命,能够对多个被检测电极一并进行检测,具有良好的电特性,能够对高功能集成电路进行电检测。本发明的各向异性导电性连接器包括:弹性各向异性导电膜,由互相分开设置、沿厚度方向延伸的多个连接用导电部以及形成在它们之间的绝缘部构成;框架板,用于支撑该弹性各向异性导电膜,其中,框架板由线性热膨胀系数为3×10-6~2×10-5K-1的金属材料构成;连接用导电部是在弹性高分子物质中紧密填充了数平均颗粒直径为20~80μm的具有磁性的导电性颗粒而制成的,导电性颗粒的表面形成厚度大于等于20nm的贵金属构成的覆盖层,连接用导电部的肖氏硬度为10~35,连接用导电部间的电阻大于等于10MΩ。
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公开(公告)号:CN1957260A
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN200580015971.2
申请日:2005-05-18
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/0735 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明公开了一种片状探针及其制造方法和应用,其允许形成小直径的前表面电极部分,并可靠地实现稳定的电连接状态,即使对于其上以小间距形成有电极的电路装置,并且其防止电极结构从绝缘膜脱落,以实现高耐用性。本发明的片状探针具有接触膜,其通过在挠性绝缘膜中设置多个电极结构而获得,这些电极结构在绝缘膜的厚度方向上以彼此在绝缘膜的平面方向上分开的状态延伸贯穿,其中每个电极结构对绝缘膜的表面暴露,并由从绝缘膜的前表面上凸出的前表面电极部分、对绝缘膜的后表面暴露的后表面电极部分、直接结合到前表面电极部分和后表面电极部分用于将它们电连接并在绝缘膜厚度方向延伸的短路部分、和在前表面电极部分的近端部分形成并在绝缘膜的平面方向上延伸的支撑部分,其中支撑部分的至少一部分被嵌埋在绝缘膜中。
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公开(公告)号:CN1938842A
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:CN200580010268.2
申请日:2005-03-30
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/07364 , G01R1/07314 , G01R1/07371 , G01R1/07378
Abstract: 提供了晶片检测设备、晶片检测方法以及探针设备,通过它们,可以对待检测的许多电极共同地执行电检测,在小负载下,对待检测的所有电极,可以肯定地实现良好的电连接状态。本发明的探针设备包括具有许多检测电极的用于检测电路板,具有用于连接的电路板(具有许多端电极和接触构件)的探针卡,位于用于检测的电路板和用于连接的电路板之间的并使得相应的检测电极与相应的端电极电连接的各向异性导电连接器,以及用于调节用于检测的电路板与用于连接晶片的电路板的平行性的平行性调节机构。平行性调节机构配备有位置改变机构,该机构在各向异性导电连接器的厚度方向相对地位移用于检测的电路板或用于连接的电路板。晶片检测设备配备有探针设备。
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公开(公告)号:CN100468867C
公开(公告)日:2009-03-11
申请号:CN03822988.9
申请日:2003-08-26
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L23/60 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了这样的一种各向异性导电片及其生产方法和它的应用,即使在高温环境下将它保持在通过连接的对象挤压的状态下较长的时间时,该各向异性导电片仍然不污染连接的对象,也不粘连到连接的对象,并且可以阻止或抑制电荷累积以消除静电的不利影响。根据本发明的各向异性导电片具有由弹性聚合物形成的各向异性导电片体和整体地形成在各向异性导电片体上的一个或两个表面上以至少覆盖绝缘部件的DLC膜,该各向异性导电片体具有在片体的厚度方向上延伸的多个导电部件和使这些导电部件相互绝缘的绝缘部件。
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公开(公告)号:CN100468065C
公开(公告)日:2009-03-11
申请号:CN200580015971.2
申请日:2005-05-18
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/0735 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明公开了一种片状探针及其制造方法和应用,其允许形成小直径的前表面电极部分,并可靠地实现稳定的电连接状态,即使对于其上以小间距形成有电极的电路装置,并且其防止电极结构从绝缘膜脱落,以实现高耐用性。本发明的片状探针具有接触膜,其通过在挠性绝缘膜中设置多个电板结构而获得,这些电极结构在绝缘膜的厚度方向上以彼此在绝缘膜的平面方向上分开的状态延伸贯穿,其中每个电极结构对绝缘膜的表面暴露,并由从绝缘膜的前表面上凸出的前表面电极部分、对绝缘膜的后表面暴露的后表面电极部分、直接结合到前表面电极部分和后表面电极部分用于将它们电连接并在绝缘膜厚度方向延伸的短路部分、和在前表面电极部分的近端部分形成并在绝缘膜的平面方向上延伸的支撑部分,其中支撑部分的至少一部分被嵌埋在绝缘膜中。
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公开(公告)号:CN1774838A
公开(公告)日:2006-05-17
申请号:CN200480010091.1
申请日:2004-04-05
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01R13/2414 , G01R1/0735 , H01L23/49827 , H01L23/49838 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种各向异性导电连接器以及具有上述各向异性导电连接器的电路装置的电气检查装置。根据本发明,即使对于时钟频率大于等于例如1GHz的电路装置也可以进行期望的电气检查。本发明的各向异性导电连接器具有按照对应于应连接的电极的图案而配置的、沿厚度方向延伸的多个连接用导电部分、和将上述导电部分相互绝缘的绝缘部分,其特征在于,所述弹性各向异性导电膜中形成有沿厚度方向延伸的高频屏蔽用导电部分。本发明的电路装置的电气检查装置的特征在于具有上述的各向异性导电连接器。
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公开(公告)号:CN1692283A
公开(公告)日:2005-11-02
申请号:CN200380100560.4
申请日:2003-10-24
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/06711 , G01R1/06733 , H01L23/49811 , H01L23/49827 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01R11/01 , H01R12/523 , H05K1/116 , H05K3/4007 , H05K3/423 , H05K2201/0367 , H05K2201/0394 , H05K2201/09436 , H05K2201/09481 , H05K2203/0733 , H01L2924/00
Abstract: 此处公开了一种片状连接器,在所述片状连接器中可形成各具有一个直径较小的正面电极部件的电极结构,并且可确保实现甚至是到一个其上以小间隔形成电极的电路设备的稳定电连接,并且防止电极结构从一块绝缘片脱落以实现高耐用性,还公开了其生产过程和应用。本发明所述的片状连接器具有一块绝缘片和多个电极结构,所述电极结构安排在绝缘片上,并且沿绝缘片的厚度方向延伸。每个电极结构由一个正面电极部件、一个背面电极部件、一个短路部件和一个支撑部件组成,其中所述的正面电极部件暴露给所述绝缘片的一个正面,并且从所述绝缘片的正面凸出,所述的背面电极部件暴露给所述绝缘片的一个背面,所述短路部件从所述的正面电极部件的底端沿着所述绝缘片的厚度方向穿过所述绝缘片连续延伸,并且连接到所述的背面电极部件,所述支撑部件从所述的正面电极部件的一个底端部分沿着所述绝缘片的正面向外连续延伸。
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