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公开(公告)号：CN114279632B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202210045534.0
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L25/00
Abstract: 本发明公开了一种三维力传感器三维力加载标定装置及方法，在力加载杆穿过直线轴承，直线轴承被竖直固定在支架上，在力加载杆上放置砝码，力加载杆会向三维力传感器施加一个竖直方向的力，施加力的大小F为砝码与力加载杆的质量和，该力作用在装在加载台上的传感器上，通过调整施加砝码的重量以及加载台的角度即可调整施加三维力的大小和方向。本发明三维力传感器三维力加载及标定装置，以施加砝码的质量作为所施加三维力大小的控制量，以加载台上斜面与竖直方向的夹角作为所施加三维力方向的控制量，可以对三维力传感器很方便地实现不同角度与大小的三维力的加载与标定作业，避免了复杂的三维力加载与标定的装置，操作简便，测试成本低。
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公开(公告)号：CN118169433A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410285119.1
申请日：2024-03-13
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种亚纳米尺度硅(111)原子台阶高度标准样板及其制备方法和应用，该标准样板包括：凹槽，所述凹槽位于所述标准样板的中间位置，所述凹槽内设有若干级规则排列的环形原子台阶，单级所述环形原子台阶的高度为300～350pm；两个定位标志，对称设于所述凹槽外檐的所述环形原子台阶的外侧，所述定位标志指向所述环形原子台阶的中心，用于快速确定待测台阶的位置。该标准样板能实现台阶总高度的可控性，使得标准样板的高度量值覆盖范围广，并且数值稳定，台阶高度可直接溯源至硅晶格常数，减小引入的测量不确定度，能够应用于校准扫描探针显微镜的Z轴位移测量偏差及Z向漂移，有利于提高扫描探针显微镜的测量准确性。
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公开(公告)号：CN116164688A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310180628.3
申请日：2023-02-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明提供的一种计量标准器，包括工作区域和标识区域，其中，所述工作区域包括：十字结构四周工作区域、圆孔栅格工作区域、十字结构中心工作区域、组合式棋盘格结构工作区域、西门子星结构工作区域、横向长方形栅格工作区域、纵向长方形栅格工作区域、环状结构工作区域、以及、放射状圆孔组合结构工作区域；所述标识区域包括4:3图幅位置标识和标准器名称标识；本发明的计量标准器是不同尺寸和不同结构的集成，实现了一个标准器多种功能，在实际测量使用中做到不更换校准器就能实现多种校准功能，消除了因更换校准器而带来的误差，大大提高了计量标准器校准效率和生产效率。
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公开(公告)号：CN111537115A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010345205.9
申请日：2020-04-27
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明公开了一种压阻式柔性三维力传感器阵列及其制备方法，压力敏感层设置于柔性电极层上表面，力分解与封装层设置于压力敏感层上表面；力分解与封装层上表面具有呈阵列分布的凸起状结构；压力敏感层包括压力敏感单元和柔性绝缘填充物，压力敏感层在每个凸起状结构受力后的应力敏感部位下方的对应位置设有N(N≥3)个压力敏感单元，压力敏感单元设置于柔性电极层上表面，柔性绝缘填充物填充于力分解与封装层与柔性电极层之间；柔性电极层包括柔性基底和设置于柔性基底上的电极，每个压力敏感单元与柔性基底之间均设有一对电极，电极上连接有电极引出线。本发明能够进一步提高传感器的柔性且能够减小各压力敏感单元之间的串扰。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110793433A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910920159.8
申请日：2019-09-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法，用于实现在线校准，样板包括中心工作区域及第一、第二循迹区域；通过所述微纳米台阶高度标准样板的第一循迹区域和第二循迹区域内的等腰三角形循迹标识的指向配合设计单位标识确定样板的摆放方向与中心工作区域位置；通过所述中心工作区域内台阶结构左右两侧区域设置的四种循迹定位参考图形快速定位台阶结构位置，通过台阶结构两边对称设置的校准定位块快速定位台阶测量位置，完成整个定位过程。该样板上的台阶结构是在晶圆片上直接制备，并且台阶测量区域可通过循迹标记快速定位，因此该发明实现了对微电子集成电路产线中纳米测量仪器的在线溯源校准工作，大大提高了仪器校准效率。
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公开(公告)号：CN216954961U
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202220101733.4
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L25/00
Abstract: 本实用新型公开了一种三维力传感器切向力加载标定装置，利用传感器压板将三维力传感器沿法向压在力加载杆上，通过两个直线轴承与轴向定位板限制力加载杆只能沿竖直方向移动；通过在力加载杆上方不同重量的砝码实现不同大小切向力的加载，通过调整传感器与竖直方向的夹角，实现不同方向切向力的加载，从而实现三维力传感器的切向力加载与标定，本实用新型采用简单的砝码，不需要精确地位移控制与力的测量即可实现切向力的加载与标定，使用简单方便，测试成本低，三维力传感器的安装角度可以与重力方向呈任意角度θ，从而实现任意角度切向力的施加。
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公开(公告)号：CN213750299U
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202022169212.6
申请日：2020-09-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请实施例提供一种包含多种校准类型的晶圆标准样板，属于微纳米级精密测量技术领域。包括：基底，所述基底上设置有指引区域与校准区域；所述指引区域包括：指引图案与至少两个凹坑；所述校准区域包括：与每个凹坑配套的标准样板，所述标准样板安装于所述凹坑上；所述指引图案设置于所述凹坑周围，用于在测量仪器对所述标准样板进行定位时，对所述测量仪器的定位起到指示作用。使用本申请提供的包含多种校准类型的晶圆标准样板，可以在保证校准精度的同时，提高校准效率。
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公开(公告)号：CN216746572U
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202220106489.0
申请日：2022-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L25/00
Abstract: 本实用新型公开了一种三维力传感器三维力加载标定装置，在力加载杆穿过直线轴承，直线轴承被竖直固定在支架上，在力加载杆上放置砝码，力加载杆会向三维力传感器施加一个竖直方向的力，施加力的大小F为砝码与力加载杆的质量和，该力作用在装在斜台上的传感器上，通过调整施加砝码的重量以及斜台的角度即可调整施加三维力的大小和方向。本实用新型三维力传感器三维力加载及标定装置，以施加砝码的质量作为所施加三维力大小的控制量，以斜台上斜面与竖直方向的夹角作为所施加三维力方向的控制量，可以对三维力传感器很方便地实现不同角度与大小的三维力的加载与标定作业，避免了复杂的三维力加载与标定的装置，操作简便，测试成本低。
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公开(公告)号：CN222261390U
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202421519726.1
申请日：2024-06-28
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本实用新型公开了一种免点浆烧结的高温薄膜高温应变传感器引线结构，属于电气连接设备技术领域。该免点浆烧结的高温薄膜高温应变传感器引线结构包括底板、盖板和连接件，还包括：触头，用于将铂金片压紧在高温应变传感器上的电极上；滑槽，沿高温应变传感器的宽度方向设置；左夹紧块，与高温应变传感器的左侧壁抵接；右夹紧块，与高温应变传感器的右侧壁抵接；驱动结构，用于在触头将铂金片压紧在高温应变传感器上的电极上时，驱动左夹紧块和右夹紧块将高温应变传感器夹紧。本实用新型的免点浆烧结的高温薄膜高温应变传感器引线结构，能够限制高温应变传感器沿其宽度方向晃动，保证铂金片与高温应变传感器稳定电连接。
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