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公开(公告)号:CN1856403B
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200480027538.6
申请日:2004-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1623 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供了一种能够可靠并长时间防止压电元件破坏的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。另外,本发明提供了能够有效地防止由于压电元件驱动所产生的振动板位移量的下降的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。根据本发明的装置包括:形成有压力产生腔(12)的流动通道形成板(10),该压力产生腔与输送液滴的喷嘴中的开口连通;和压电元件(300),其包括通过振动板布置在流动通道形成板(10)的一个表面上的下电极(60)、压电层(70)和上电极(80)。构成至少压电元件(300)的各层的图案区域被由无机绝缘材料制成的绝缘膜(100)覆盖。
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公开(公告)号:CN109484029A
公开(公告)日:2019-03-19
申请号:CN201811041580.3
申请日:2018-09-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供液体喷出头、液体喷出装置、压电设备以及超声波传感器。即使在于高温下对压电元件进行烧成的情况下,也能够抑制振动板与压电元件的剥离。振动板(36)包括氮氧化硅层361。氮氧化硅层(361)为以含有氮氧化硅的方式而形成的层。氧的含量越多则氮氧化硅层(361)的线膨胀系数越减小,而氮的含量越多则氮氧化硅层(361)的线膨胀系数越增大。氮氧化硅层(361)的线膨胀系数大于氧化硅的线膨胀系数=0.5×10-6/K,并且接近于第一电极(51)的线膨胀系数=8.9×10-6/K。因此,与在振动板(36)的材料中采用氧化硅的情况相比,通过使用包含氮氧化硅层(361)的振动板(36),从而即使在于高温条件下烧成压电元件(38)的情况下,也能够抑制压电元件(38)与振动板(36)的剥离。
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公开(公告)号:CN106236139A
公开(公告)日:2016-12-21
申请号:CN201610698500.6
申请日:2013-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 西胁学
IPC: A61B8/00
CPC classification number: H04B11/00 , B06B1/0629 , H01L41/0475 , H04R29/008 , A61B8/00 , A61B8/44 , A61B8/4483 , A61B8/52 , A61B8/56
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波诊断装置。其中,超声波换能器装置包括:第一基板,形成有配置成阵列状的多个开口;超声波换能器元件,在俯视下设置于各个所述开口;第二基板,与所述第一基板连结,并具有第一配线;以及配线部件,具有使所述超声波换能器元件和所述第一配线相互电连接的第二配线。
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公开(公告)号:CN104078452A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410116108.7
申请日:2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B06B1/0629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明提供能够使发送部以及接收部双方的灵敏度均提高的压电元件模块、超声波换能器、超声波设备、液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件模块的制造方法。在同一基板(310)上具备具有第一压电体层(371)的第一压电元件、和具有与上述第一压电体层不同的第二压电体层(372)的第二压电元件,且上述第一压电体层的d常量比上述第二压电体层的d常量大。
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公开(公告)号:CN103445810A
公开(公告)日:2013-12-18
申请号:CN201310219089.6
申请日:2013-06-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 西胁学
IPC: A61B8/10
CPC classification number: A61B8/10 , A61B3/16 , A61B8/4209
Abstract: 本发明提供一种眼球生物体信息收集装置及眼球生物体信息收集方法。该眼球生物体信息收集装置具备超声波传感器部以及支撑主体部,支撑主体部具备将超声波传感器部按压至受检者的下眼睑的弹性部。还具备:超声波传感器部;在使用时使超声波传感器部与受检者的眼睑贴紧的贴紧部;基于由超声波传感器部检测到的检测数据运算眼压的数据运算部;存储由超声波传感器部检测到的检测数据及由数据运算部运算出的运算数据的数据存储部;基于时刻信息设定计测定时与计测间隔的计时器部,以及控制超声波传感器部、数据运算部、数据存储部、计时器部的控制部,其中,按在计时器部设定的计测定时与计测间隔获得眼压。
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公开(公告)号:CN100461481C
公开(公告)日:2009-02-11
申请号:CN200610066954.8
申请日:2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了一种其中压电层结晶性被改善且具有均一压电层特性的压电元件、使用该压电元件的液体喷射头以及液体喷射设备。该压电元件包括:设置到衬底的一个表面侧的下电极;压电层,所述压电层由包含铅(Pb)、锆(Zr)和钛(Ti)的压电材料制成,并且设置在所述下电极上;和设置在所述压电层上的上电极,并且在该压电元件中,压电层的相对介电常数为750~1500,压电层的矫顽电场为10~40kV/cm。
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公开(公告)号:CN1856403A
公开(公告)日:2006-11-01
申请号:CN200480027538.6
申请日:2004-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1623 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供了一种能够可靠并长时间防止压电元件破坏的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。另外,本发明提供了能够有效地防止由于压电元件驱动所产生的振动板位移量的下降的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。根据本发明的装置包括:形成有压力产生腔(12)的流动通道形成板(10),该压力产生腔与输送液滴的喷嘴中的开口连通;和压电元件(300),其包括通过振动板布置在流动通道形成板(10)的一个表面上的下电极(60)、压电层(70)和上电极(80)。构成至少压电元件(300)的各层的图案区域被由无机绝缘材料制成的绝缘膜(100)覆盖。
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公开(公告)号:CN1841805A
公开(公告)日:2006-10-04
申请号:CN200610066954.8
申请日:2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明公开了一种其中压电层结晶性被改善且具有均一压电层特性的压电元件、使用该压电元件的液体喷射头以及液体喷射设备。该压电元件包括:设置到衬底的一个表面侧的下电极;压电层,所述压电层由包含铅(Pb)、锆(Zr)和钛(Ti)的压电材料制成,并且设置在所述下电极上;和设置在所述压电层上的上电极,并且在该压电元件中,压电层的相对介电常数为750~1500,压电层的矫顽电场为10~40kV/cm。
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公开(公告)号:CN109514998B
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN201811080229.5
申请日:2018-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对被连接在上电极上的配线电短路的不良情况进行抑制的液体喷出头、液体喷出装置以及压电器件。液体喷出头具备:压力室;振动板,其构成压力室的壁面;喷嘴,其对被收纳于压力室内的液体进行喷出;以及压电元件,其被配置在振动板的一侧。压电元件具备:压电体层,其被施加电压而变形;第一电极,其被配置在振动板与压电体层之间且压电体层的一面上;以及第二电极,其被配置在压电体层的另一面上。液体喷出头具备与第二电极连接并且沿着压电体层的面方向而延伸的配线,在配线和振动板之间的区域、且在与第二电极的面方向垂直的朝向上配线与第二电极或压电体层均未重叠的第一区域中,不具有成为与第一电极相同电位的金属层。
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公开(公告)号:CN109514998A
公开(公告)日:2019-03-26
申请号:CN201811080229.5
申请日:2018-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对被连接在上电极上的配线电短路的不良情况进行抑制的液体喷出头、液体喷出装置以及压电器件。液体喷出头具备:压力室;振动板,其构成压力室的壁面;喷嘴,其对被收纳于压力室内的液体进行喷出;以及压电元件,其被配置在振动板的一侧。压电元件具备:压电体层,其被施加电压而变形;第一电极,其被配置在振动板与压电体层之间且压电体层的一面上;以及第二电极,其被配置在压电体层的另一面上。液体喷出头具备与第二电极连接并且沿着压电体层的面方向而延伸的配线,在配线和振动板之间的区域、且在与第二电极的面方向垂直的朝向上配线与第二电极或压电体层均未重叠的第一区域中,不具有成为与第一电极相同电位的金属层。
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