公开(公告)号：CN105529394B

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201510671724.3

申请日：2015-10-13

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 米村贵幸 ,  浅川勉

IPC: H01L41/047 ,  H01L41/08 ,  H01L41/29

Abstract: 本发明提供能够实现压电特性的提高、且能够确保较高的可靠性的压电元件。是从基板(10)侧开始层叠第一电极(60)、由包含Mg的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物构成的压电体层(70)、以及第二电极(80)的压电元件(300)，第一电极(60)具备抑制Mg的扩散的扩散抑制层(60a)、和相对于扩散抑制层使Mg扩散的扩散层(60b)，扩散抑制层(60a)被设置在比扩散层(60b)靠近基板(10)侧。

公开(公告)号：CN102529371A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110360314.9

申请日：2011-11-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 酒井朋裕 ,  两角浩一 ,  浅川勉

IPC: B41J2/045

CPC classification number: H01L41/0815 ,  B41J2/055 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14258 ,  B41J2002/14419 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。提供具有电极与压电体层的密合性优异的压电元件的液体喷射头。该液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，所述压电元件具备由铂形成的第1电极，和由含有铋、钡、铁、锰和钛的具有钙钛矿结构的复合氧化物形成的压电体层，和第2电极；在所述压电体层与所述第1电极之间具有含铁、钡、钛和氧的层状化合物。

公开(公告)号：CN108656749B

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201810159615.7

申请日：2018-02-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也 ,  角浩二 ,  酒井朋裕 ,  高桥敏明 ,  浅川勉

IPC: B41J2/14 ,  H01L41/083 ,  H01L41/18

Abstract: 本发明提供一种具有由向(100)面结晶取向的KNN构成的压电体层的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具有：基板；第一电极，其被形成在基板上；压电体层，其被形成在第一电极上，且为包含钾、钠、以及铌的多个压电体膜层叠而成的层叠体；第二电极，其被形成在压电体层上，压电体层中的钠浓度在多个压电体膜中的第一压电体膜的第一电极的附近处具有作为钠浓度的极大值的Na极大值，且从Na极大值起越靠近第二电极则越向钠浓度减少的方向倾斜，并且在第一压电体膜与被形成在其正上方的第二压电体膜的边界的附近处具有作为钠浓度的极小值的Na极小值。

公开(公告)号：CN109484029A

公开(公告)日：2019-03-19

申请号：CN201811041580.3

申请日：2018-09-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西胁学 ,  加藤洋 ,  浅川勉

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/01 ,  G01D5/48 ,  H01L41/08

Abstract: 本发明提供液体喷出头、液体喷出装置、压电设备以及超声波传感器。即使在于高温下对压电元件进行烧成的情况下，也能够抑制振动板与压电元件的剥离。振动板(36)包括氮氧化硅层361。氮氧化硅层(361)为以含有氮氧化硅的方式而形成的层。氧的含量越多则氮氧化硅层(361)的线膨胀系数越减小，而氮的含量越多则氮氧化硅层(361)的线膨胀系数越增大。氮氧化硅层(361)的线膨胀系数大于氧化硅的线膨胀系数＝0.5×10-6/K，并且接近于第一电极(51)的线膨胀系数＝8.9×10-6/K。因此，与在振动板(36)的材料中采用氧化硅的情况相比，通过使用包含氮氧化硅层(361)的振动板(36)，从而即使在于高温条件下烧成压电元件(38)的情况下，也能够抑制压电元件(38)与振动板(36)的剥离。

公开(公告)号：CN109256460A

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201810733889.2

申请日：2018-07-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 角浩二 ,  古林智一 ,  酒井朋裕 ,  北田和也 ,  两角浩一 ,  浅川勉

IPC: H01L41/08 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种泄漏电流较少的压电元件。压电元件包括：第一电极；压电体层，其被设置于所述第一电极的上方，且包括钾、钠、铌、钛以及氧；第二电极，其被设置于所述压电体层的上方。

公开(公告)号：CN107800325A

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201710762727.7

申请日：2017-08-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古林智一 ,  岸田三省 ,  浅川勉

IPC: H02N2/00 ,  H02N2/10 ,  H02N2/12 ,  B25J15/00

Abstract: 本发明提供压电元件、致动器及马达、机器人、输送装置及打印机，提供一种能够充分地抑制电极成分向压电体层的扩散，并且能够在充分地提高电特性的同时使压电元件的厚度变厚的压电元件，另外，提供具备该压电元件的压电致动器、压电马达、机器人、电子部件输送装置及打印机。压电元件的特征在于，具备：基板；第一电极，配置于所述基板上；压电体层，配置于所述第一电极上，并具有构成为包含压电体材料的多个层，所述多个层的厚度的总和在1.6μm以上且10μm以下的范围内；以及中间层，配置于所述压电体层的层间，并构成为含有钛。

公开(公告)号：CN107452888A

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201710149639.X

申请日：2017-03-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 白鸟幸也 ,  花村雄基 ,  浅川勉

IPC: H01L51/52

CPC classification number: H01L51/5212 ,  H01L27/3211 ,  H01L27/322 ,  H01L51/50 ,  H01L51/5084 ,  H01L51/5203 ,  H01L51/5231 ,  H01L51/5253 ,  H01L51/5259 ,  H01L51/5265 ,  H01L2251/558 ,  H01L51/5221

Abstract: 本发明提供明亮且可靠性品质优异的发光元件、发光装置以及电子设备。有机EL元件(30)具备：像素电极(31)；发光功能层(32)，其形成于像素电极(31)上；电子注入层(33)，其形成于发光功能层(32)上；以及对置电极(35)，其形成于电子注入层(33)上且具有半透过反射性，对置电极(35)包括对电子注入层(33)的材料进行还原的还原性材料和在原子数比中为75％以上的Ag，在对置电极(35)上形成有吸附层(37)。

公开(公告)号：CN1117401C

公开(公告)日：2003-08-06

申请号：CN98103902.2

申请日：1998-01-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 井上孝 ,  高野靖 ,  直野秀昭 ,  伊藤涉 ,  浅川勉 ,  宇敷武义

IPC: H01L49/00 ,  G02F1/133

CPC classification number: H01L45/00 ,  G02F1/1365

Abstract: 提供一种时效变化小的MIM型非线性元件、使用了这种元件的液晶显示屏、以及这种元件的制造方法。这种元件包括第1导电膜、绝缘膜及第2导电膜。在利用SIMS的元素分析中，氢光谱在峰值强度小1位的强度处，在深度方向上的厚度为10nm以上。在热解吸分光谱中，氢光谱的峰值温度为300℃以上。制造这种元件的方法包括形成第1导电膜、在300℃以上进行热处理、形成绝缘膜及形成第2导电膜等工序。