可调波长滤波器及其制造方法、以及检测装置

    公开(公告)号:CN1719302A

    公开(公告)日:2006-01-11

    申请号:CN200510083555.8

    申请日:2005-07-11

    CPC classification number: G02B26/001

    Abstract: 本发明提供一种不必除去牺牲层便可形成且可使波长短于红外光的光分离的可调波长滤波器及其制造方法。可调波长滤波器(1)具有:固定基板(2),其至少对可见光具有光透过性;和可动基板(3),其由硅构成。可动基板(3)具有:可动部(31)、将可动部(31)支撑为能向Z方向位移的支撑部、和向可动部(31)通电的通电部(33),且在可动部(31)的大致中央形成了圆柱形状的光透过部(36)。光透过部(36)由至少对可见光具有光透过性的材料构成。

    波长可变滤光器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1580837A

    公开(公告)日:2005-02-16

    申请号:CN200410056345.5

    申请日:2004-08-06

    CPC classification number: G02B26/001 G01J3/26

    Abstract: 本发明提供一种波长可变滤光器及其制造方法,本发明的波长可变滤光器是将在上表面形成有高反射膜(23)并支撑自由地上下移动的可动体(21a)的可动部(2)、形成有与可动体(21a)间隔静电间隙(EG)而相面对的驱动电极(12)的驱动电极部(1)、形成有与高反射膜(23)间隔光学间隙(OG)而相面对的高反射膜(32)的光学间隙部(3)相互接合而构成的。由此,能够以高精度形成静电间隙,以低驱动电压驱动,并防止制造时及使用时的粘附。

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