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公开(公告)号：CN103219966A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310098334.2
申请日：2010-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山中国人
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/02551 , H03H9/0274
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，其能够实现良好的频率温度特性。表面声波谐振器具有：欧拉角为117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及叉指换能器，其由铝或以铝为主体的合金构成，并且在上述石英基板上具有多个电极指，激励产生阻带上端模式的表面声波，俯视时，在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽，上述表面声波的波长λ、上述电极指间槽的深度G、以及上述电极指的线占有率η满足下式：0.01λ≤G≤0.094，而且-2.5×G/λ+0.675≤η≤-2.5×G/λ+0.775。
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公开(公告)号：CN102403980A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110264421.1
申请日：2011-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/02834 , H03H9/02551 , H03H9/02661 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置。在具有于工作温度范围内具有极大值和极小值、和两者之间的拐点的、曲线的频率温度特性的SAW器件中，抑制由于制造误差而可能在个体之间产生的频率温度特性的偏差及劣化。SAW器件(1)在欧拉角(-1.5°≤Φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，|ψ|≠90°×n(但是，n＝0，1，2，3))的水晶基板(2)的主面上，具有：IDT(3)，其激振阻带上限模式的瑞利波(波长：λ)；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指之间，其中，通过使电极指间槽的深度G为0.01λ≤G≤0.07λ，并使电极指膜厚H和IDT线占有率η满足预定的关系，从而频率温度特性常时在工作温度范围内，于极大值和极小值之间具有拐点，并且抑制由于IDT线占有率η的制造误差而导致的拐点温度的变动。
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公开(公告)号：CN102386880A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110246685.4
申请日：2011-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/0542 , H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/49171 , H01L2224/73265 , H01L2924/16195 , H03H9/02551 , H03H9/02614 , H03H9/02834 , H03H9/0585 , H03H9/1071 , H03H9/14538 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备，它们能够实现良好的频率温度特性。表面声波器件的特征在于，具有石英基板(30)和激励出阻带上端模式的表面声波的IDT(12)，石英基板(30)的欧拉角为
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公开(公告)号：CN102334289B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201080009209.4
申请日：2010-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山中国人
CPC classification number: H03H9/25 , H03B5/326 , H03H9/02551 , H03H9/0296 , H03H9/02992 , H03H9/14538 , H03H9/14594
Abstract: 本发明提供能够实现良好的频率温度特性的表面声波谐振器。用于解决上述课题的SAW谐振器利用了欧拉角为(117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30)，具有激励出阻带上端模式的SAW的IDT(12)；以及使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的槽(32)，其中，在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时，满足0.01λ≤G，在设IDT(12)的线占有率为η时，槽(32)的深度G与所述线占有率η满足以下关系：-2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775，其中0.0100λ≤G≤0.0500λ；以及-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775，其中0.0500λ＜G≤0.0695λ。
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公开(公告)号：CN102386879B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201110246634.1
申请日：2011-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/02551 , H03B5/326 , H03H9/02661 , H03H9/0542 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备，能够实现良好的频率温度特性。用于解决上述课题的SAW谐振器(10)具有：IDT(12)，其利用欧拉角为(-1°≤φ≤1°、117°≤θ≤142°、42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30)，并激励出阻带上端模式的SAW；和槽(32)，其是使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的，SAW谐振器(10)的特征在于，在设SAW的波长为λ、设槽(13)的深度为G的情况下，满足下式的关系：0.01λ≤G，并且在设IDT(12)的线占用率为η的情况下，槽(32)的深度G与所述线占用率η满足下式的关系：并且，所述IDT中的电极指的对数N处于下式所示的范围内：160≤N≤220。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102197590B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN200980141820.X
申请日：2009-10-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山中国人
CPC classification number: H03H9/02551 , H03H9/0547 , H03H9/14517 , H03H9/14555 , H03H9/1457 , H03H9/14582 , H03H9/25 , H03H9/643
Abstract: 本发明能够提高表面声波谐振器的Q值而使表面声波谐振器小型化。表面声波谐振器(1)在石英基板(11)上设置有IDT(12)，该IDT(12)具有激励出表面声波的电极指(12a、12b)，其中IDT(12)中的使得机电耦合系数最大的线占有率与使得表面声波的反射最大的线占有率不同，与IDT(12)的端部相比，IDT(12)的中央部具有使得机电耦合系数更大的线占有率，与IDT(12)的中央部相比，IDT(12)的端部具有使得表面声波的反射更大的线占有率。
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公开(公告)号：CN101820265B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201010126150.9
申请日：2010-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山中国人
CPC classification number: H03H9/02551 , H03H9/0274
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，其能够实现良好的频率温度特性。用于解决上述课题的SAW谐振器是SAW谐振器(10)，具有：IDT(12)，其采用欧拉角为(，117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30)，激励阻带上端模式的SAW；槽(32)，其是通过使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的，在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时，满足下式：0.01λ≤G；在设IDT(12)的线占有率为η时，槽(32)的深度G与上述线占有率η满足下式的关系：-2.5×G/λ+0.675≤η≤-2.5×G/λ+0.775。
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公开(公告)号：CN102904547A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210254019.X
申请日：2012-07-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03B5/326 , H01L41/053 , H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/16195 , H03H9/02897 , H03H9/058 , H03H9/0585 , H03H9/25 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供SAW器件、SAW振荡器以及电子设备，能够分别以较高的水平实现老化特性、接合强度和平行度的各要素。SAW器件（1）具有在压电基板（21）上形成了IDT（22）的SAW芯片（2）、支承SAW芯片（2）的底座基板（311）、和将SAW芯片（2）固定到底座基板（311）的固定部件（4）。SAW芯片（2）在其平面视图中，在不与IDT（22）重叠的位置处经由固定部件（4）被单侧支承到底座基板（311）。在设y轴方向上的SAW芯片（2）的长度为W、y轴方向上的固定部件（4）的长度为（D）时，满足1＜D/W≤1.6的关系。此外，固定部件（4）设置成对SAW芯片（2）的固定端（28）的下表面（281）以及侧面（282a、282b）和底座基板（311）进行接合。
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公开(公告)号：CN102545825A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110399470.6
申请日：2011-12-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山中国人
CPC classification number: H03H9/02661 , H03H9/0009 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供振动器件、振荡器以及电子设备。作为课题，提供一种能够使工作温度范围内(-40℃至+85℃)的频率变动量为10ppm以内的压电器件。该压电器件的特征在于，具有：第1谐振器(14)，其具备三次函数温度特性，上述三次函数温度特性中的三次温度系数为-γ1，且γ1＞0；以及第2谐振器(16)，其与第1谐振器14连接，具备三次函数温度特性，上述三次函数温度特性中的三次温度系数为γ2，且γ2＞0，第1谐振器14与第2谐振器16之间的拐点之差为19℃以下，且满足0＜|γ1|≤|2.4γ2|的关系。
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公开(公告)号：CN102386878A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110241217.8
申请日：2011-08-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/0542 , H03H9/02551 , H03H9/02661 , H03H9/02897
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备。该表面声波谐振器具有：石英基板(30)，其欧拉角为(110°≤θ≤150°，88°≤ψ≤92°)；以及IDT(12、72)，其具有配置在所述石英基板(30)上的多个电极指(18、78)，且激励波为表面声波，该表面声波谐振器的特征在于，在所述石英基板(30)上，配置有在所述表面声波的传播方向上排列成条纹状的多个槽(32、84)，所述电极指(18、78)被配置在所述槽(32)之间、或者所述槽(84)的内部。
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