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公开(公告)号：CN100529166C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200580007849.0
申请日：2005-03-10
Applicant: 新明和工业株式会社 , 株式会社大岛电机制作所
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/34 , H01J37/32458 , H01J37/3435
Abstract: 本发明提供一种能够对依然装载于成型加工用的模具上的基体材料进行成膜加工的成膜装置。该装置具有一端利用底部封闭，另一端开放的筒状的框体(1h)、设置于所述底部内表面的靶(1a)、以及贯通框体(1h)的壁部形成的端口(3b)。
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公开(公告)号：CN101080510A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200680001413.5
申请日：2006-08-23
Applicant: 新明和工业株式会社
IPC: C23C14/35
CPC classification number: C23C14/35 , H01J37/3405 , H01J37/3452
Abstract: 本发明提供一种基于多个磁体间的磁相互作用形成的四方向磁场，谋求减少平衡良好地形成隧道状等离子体封闭用漏磁场时的磁场设计劳动力的磁体构件等。磁体构件(110)具备：在靶(20)的里面一侧使磁矩的方向错开地配置，以形成直到靶表面(20A)的第1磁力线的内外部磁体(10、13)、及形成抵消第1磁力线产生的磁通密度的宽度方向的分量的第2磁力线，在与内外部磁体(10、13)之间的靶(20)的里面一侧，使磁矩的方向错开地配置的中间磁体(11、12)、以及配置于靶(20)的里面一侧，引导第2磁力线，以使从中间磁体(11、12)的一个端面出发的第2磁力线进入到中间磁体(11、12)的另一端面的磁性构件(24)；磁性构件(24)在与内部磁体(10)或外部磁体(13)之间形成到靶(20)的厚度方向的中途为止的磁力线。
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公开(公告)号：CN1973059A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200580020739.8
申请日：2005-09-05
Applicant: 新明和工业株式会社
CPC classification number: C23C14/352 , B05D1/62 , C23C14/205 , H01J37/3405 , H01J37/3447
Abstract: 本发明提供将圆筒构件的一部分作为靶使用，而且有意利用该圆筒构件附加等离子体聚合功能的的真空成膜装置。真空成膜装置(100)具备具有内部空间的导电性真空槽(13)、在内部空间(10)并排配置多个弯曲成扇形的弯曲构件(31、32)，以此形成大致圆筒形从而形成的框体(15)、配置于被框体(15)包围的内部，沿着框体(15)的圆周方向形成磁场的磁场形成装置(33)，弯曲构件(15、16)中的至少一个是使用于溅射的靶，而且是除了靶的框体(15)的区域外被使用于等离子体聚合的装置。
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公开(公告)号：CN103097265B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201180042572.0
申请日：2011-09-26
Applicant: 新明和工业株式会社
IPC: B65F3/20
Abstract: 将一对旋转支承部件支承在垃圾投入箱的一对侧壁（6a）上，能够旋转，将挤入板（26）支承在该一对旋转支承部件（22）之间且以偏心于旋转支承部件的旋转中心而设的转轴（25）为中心旋转。让挤入板（26）在该旋转支承部件旋转1周的时间内旋转1／2周。在挤入板（26）的在厚度方向上相对的一对表面（26a）上沿着转轴（25）的轴心方向留有间隔地设置多个突条（33），在隔板（21）的下端部（21b）形成供各突条（33）通过的切口部（34）。这样便能够用一简单的结构边防止垃圾倒流及被咬住边效率良好地将垃圾挤入垃圾盛装箱内。
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公开(公告)号：CN103079972A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201180042604.7
申请日：2011-09-27
Applicant: 新明和工业株式会社
IPC: B65F3/20
Abstract: 使一对旋转支承部件分别由垃圾投入箱的一对侧壁支承着能够旋转，将挤入板(26)支承于一对旋转支承部件之间且能够以偏心于旋转支承部件的旋转中心而设的转轴(25)为中心旋转。使挤入板(26)构成为在旋转支承部件旋转1周的时间内该挤入板(26)旋转1/2周，在该挤入板(26)的表面对着接近所述隔板(21)的固定状下端的状态下旋转，从旋转支承部件的旋转中心到转轴的轴心的偏心量a与从该转轴的轴心到该挤入板的一端的距离b之间的关系为b≥2a。因此能够适当地形成行星旋转挤入板式垃圾收集装置中已固定隔板的下端和挤入板之间的间隙且能够使该行星旋转挤入板式垃圾收集装置包括结实、重量轻、易制造的挤入板。
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公开(公告)号：CN101300372A
公开(公告)日：2008-11-05
申请号：CN200680041174.6
申请日：2006-11-02
Applicant: 新明和工业株式会社
IPC: C23C14/35
CPC classification number: C23C14/3407 , H01J37/3405 , H01J37/3461
Abstract: 本发明提供能够利用简单的驱动机构改变靶表面上的磁力线分布，谋求靶的均匀侵蚀的磁体构件。磁体构件(110)具备配置于靶(20)的背面(20B)一侧，而且配置得能够形成达到靶(20A)表面的主磁力线的主磁体(10、13)、配置于所述靶(20)的背面(20B)一侧，配置得可形成能够改变主磁力线形成的磁通密度分布的校正磁力线的校正磁体(11)、配置于所述靶(20)的背面(20B)一侧的所述校正磁力线的磁路(21A、21B、24)、以及能够改变贯通磁路(21A、21B、24)内部的校正磁力线的强度的磁场校正手段(12、14)。
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公开(公告)号：CN1930319A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200580007849.0
申请日：2005-03-10
Applicant: 新明和工业株式会社 , 株式会社大岛电机制作所
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/34 , H01J37/32458 , H01J37/3435
Abstract: 本发明提供一种能够对依然装载于成型加工用的模具上的基体材料进行成膜加工的成膜装置。该装置具有一端利用底部封闭，另一端开放的筒状的框体(1h)、设置于所述底部内表面的靶(1a)、以及贯通框体(1h)的壁部形成的端口(3b)。
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