公开(公告)号：CN1930319A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200580007849.0

申请日：2005-03-10

Applicant: 新明和工业株式会社 ,  株式会社大岛电机制作所

Inventor： 米山信夫 ,  中山孝 ,  泷川志朗 ,  梅泽隆男 ,  石泽资右 ,  高野博史

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/34 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/3435

Abstract: 本发明提供一种能够对依然装载于成型加工用的模具上的基体材料进行成膜加工的成膜装置。该装置具有一端利用底部封闭，另一端开放的筒状的框体(1h)、设置于所述底部内表面的靶(1a)、以及贯通框体(1h)的壁部形成的端口(3b)。

公开(公告)号：CN100529166C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200580007849.0

申请日：2005-03-10

Applicant: 新明和工业株式会社 ,  株式会社大岛电机制作所

Inventor： 米山信夫 ,  中山孝 ,  泷川志朗 ,  梅泽隆男 ,  石泽资右 ,  高野博史

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/34 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/3435

Abstract: 本发明提供一种能够对依然装载于成型加工用的模具上的基体材料进行成膜加工的成膜装置。该装置具有一端利用底部封闭，另一端开放的筒状的框体(1h)、设置于所述底部内表面的靶(1a)、以及贯通框体(1h)的壁部形成的端口(3b)。

公开(公告)号：CN101263242A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200680033242.4

申请日：2006-09-11

Applicant: 株式会社大岛电机制作所

Inventor： 梅泽隆男 ,  北爪敦夫 ,  高野博史 ,  尾山总美

IPC: C23C14/50

CPC classification number: C23C14/00 ,  B29C37/0028 ,  B29C45/0053 ,  B29C45/0062 ,  B29C45/1671 ,  B29C59/142 ,  B29C2045/0067 ,  B29C2045/0079 ,  B29C2791/006

Abstract: 在将设置有工件的工件室侧的第二模具与设置有用于进行真空成膜的目标的目标室侧的第一模具进行合模，在上述工件上进行真空成膜的情况下，可缩短真空成膜工序所需的时间、降低成本，在设置了用于进行真空成膜的目标的目标室(7b)侧的成膜用模具(7a)的开口端设置挡板装置(13)，该挡板装置(13)具有开设了连通孔(19a、20a)的第一、第二支撑板(19、20)，和设置在两板(19、20)之间、对上述连通孔(19a、20a)进行开闭的挡板(17)，在上述合模后开放挡板(17)，在成模(2a)后，在脱模前的阶段封闭挡板(17)。