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公开(公告)号：CN116715186A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310196602.8
申请日：2023-03-03
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了基于仿生学的纤毛光学流体传感器阵列及流场测试方法，所述纤毛光学流体传感器阵列制作方法包括步骤S1‑S7从硅模板上剥离形成PDMS金字塔阵列，在PDMS金字塔上表面添加透明的机械力传递层，并在机械力传递层上制作纤毛。本发明设计的新型仿生学纤毛光学流体传感器阵列，利用将流场信息转化为光学信息并结合人工智能处理的方法实现流场测试，摒弃了传统仿生纤毛流体传感器阵列将流场信号转化为电学信号带来的复杂电极布线和信号处理电路问题；纤毛光学流体传感器阵列的制作采用光刻、湿法刻蚀，PDMS微结构制作等常规微纳加工工艺；基于该方法可以设计大面积的传感器阵列，并应用于典型流场测试，湍流测试和预测边界层分离的临界条件等。
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公开(公告)号：CN111812357A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010662491.1
申请日：2020-07-10
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于微纳米制造的自填料三臂式热扫描探针，该探针由三臂式悬臂梁、金属接触焊盘、打印用镍铬合金加热电极、输运用镍铬合金加热电极和聚合物存储区组成。本发明采用光刻、湿法刻蚀等常规微纳加工工艺制作得到。本发明利用加热电极的梯度密度设计，产生连续的温度梯度变化，从而实现打印料物从储存区到针尖区的持续性输运，实现自填料。本发明可以和CMOS工艺无缝集成，且打印出的材料可以通过CMOS工艺中常用的丙酮或者氧气等离子体彻底消除，没有沾污；而且采用本发明的微纳米加工方法只需要造价远远低于电子束光刻机或者极紫外光刻机的原子力显微镜，在常温下打印，具有成本低、使用简单的特点。
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公开(公告)号：CN114804010A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210394573.1
申请日：2022-04-14
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供了一种表面增强红外吸收衬底及其制备方法，属于功能材料技术领域。本发明利用模板微球光刻加等离子体刻蚀的方式，能够简单、低成本、大面积的制备表面增强红外吸收(SEIRA)衬底，且制备得到的SEIRA衬底中柱体阵列周期性好，保证SEIRA衬底具有较高的增强效率，解决了现有技术中SEIRA衬底无法兼顾低成本和高增强效率的问题。
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公开(公告)号：CN110482484B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN201910764303.3
申请日：2019-08-19
Applicant: 浙江大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种低成本的基于应力剥离技术的微悬臂梁的制备方法，该方法包括两种实现方式：一种是先剥离后光刻，另一种是先光刻后剥离。本发明可以将基体材料用低成本材料取代，只有微悬臂梁是单晶硅材料，一次生产AFM探针悬臂所消耗的材料仅为针尖高度加上悬臂的厚度，约为20微米，剩余的硅晶体还可以抛光后继续使用，考虑到重新抛光所消耗的硅晶体约为80微米，一次生产仅消耗100微米的硅晶体；若采用传统方法，一块1mm厚的硅晶体仅能支持一次生产，而本发明可将材料使用率提高10倍，大大提高了单晶硅材料的使用率，降低了成本；本发明对块状微悬臂梁原材料的利用率高，成本低，仅使用了少量化学试剂用于刻蚀薄膜。
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公开(公告)号：CN112098681B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202010935741.4
申请日：2020-09-08
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法，该方法通过高能离子束(如氦离子)注入到针尖底部附近，使得针尖附件衬底材料发生隆起，从而引起针尖的倾斜，类似比萨斜塔效应，可以实现针尖的倾斜。通过控制离子束注入的剂量，可以控制隆起的体积，控制针尖倾斜的角度。该方法可以精确控制原子力探针针尖的倾斜角，控制纳米柱子之间的距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114804010B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202210394573.1
申请日：2022-04-14
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明提供了一种表面增强红外吸收衬底及其制备方法，属于功能材料技术领域。本发明利用模板微球光刻加等离子体刻蚀的方式，能够简单、低成本、大面积的制备表面增强红外吸收(SEIRA)衬底，且制备得到的SEIRA衬底中柱体阵列周期性好，保证SEIRA衬底具有较高的增强效率，解决了现有技术中SEIRA衬底无法兼顾低成本和高增强效率的问题。
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公开(公告)号：CN119355301A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411520666.X
申请日：2024-10-29
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种分析器件电极接触情况的方法，该方法利用器件工作中电阻分布不均带来的发热差异评估接触质量，步骤S1、通过显微镜得到平面器件工作时的高分辨率温度分布图；步骤S2、通过对比非接触区域和接触区域的温度分布确定接触电阻对器件的影响；步骤S3、对接触区域放大后，测试其表面形貌图和温度分布图，对比形貌和温度分布情况，获得缺陷、气泡和污染物信息；步骤S4、在步骤S3测得的温度分布图中用温度分布的方差/平均值评估接触均匀性。本发明分析方法方便并且不会破坏器件，无需复杂的测试流程，针对复杂的器件结构也能有较好的效果，除此之外可以额外同时获得气泡、污染物的分布、材料缺陷的分布和接触面积的信息并提供优化路线。
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公开(公告)号：CN113582129B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202110850450.X
申请日：2021-07-27
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于金属辅助化学蚀刻方法的大高宽比探针，该探针由一体化制造的基底、悬臂梁和大高宽比针尖组成。本发明采用光刻、刻蚀等常规微纳加工工艺结合金属辅助的化学湿法刻蚀制作得到。本发明利用金属辅助化学蚀刻技术，对硅进行各向异性的湿法蚀刻，得到大高宽比的针尖，且制备的针尖拥有侧面光滑、横截面形状变化小的优势。本发明基于传统微加工工艺，引进了金属辅助化学蚀刻技术，相对RIE、ICP等深硅刻蚀技术，具备低成本、可控性强等优点。
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公开(公告)号：CN116819750A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310697479.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超构透镜阵列的实时三维显微成像装置及方法。所述装置从下到上包括平面反射镜、微流控通道、超构透镜阵列；所述平面反射镜设有金属薄膜、透明介质，金属薄膜用于实现对光波的反射，透明介质用于保护金属膜以及支撑被观测物体，使得被观测物体下方光场被反射导出；所述超构透镜阵列用于将被观测物体多个不同视角的信息分别成像于同一焦平面，对一组正交偏振的光波分别具有独立的透反射调制能力；多个不同视角的信息分别通过显微镜成像后进行三维图像融合，得到三维场景重构。本发明为生物光子学中活体实时三维显微成像提供了实现方法，为超表面以及微流控生物芯片的应用开辟了新的思路。
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公开(公告)号：CN116597404A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310514947.3
申请日：2023-05-06
Applicant: 浙江大学
IPC: G06V20/56 , G06V10/764 , G06V20/40 , G06V10/82 , G06N3/0442 , G06N3/08
Abstract: 本发明公开了一种基于多源传感器融合的可持续道路异常检测方法，包括：在道路异常检测路段内，通过客户端在车辆行驶过程中采集加速度数据、GPS、时间戳和视频数据，上传至服务器；在服务器上进行数据预处理。对预处理得到的数据按视频帧的分辨率进行分类检测：当视频帧的分辨率大于预设的分辨率阈值时，将加速度数据和视频帧数据输入至第一道路异常检测网络进行预测，得到第一单车异常路面检测结果；当视频帧的分辨率小于预设的分辨率阈值时，将加速度数据输入至第二道路异常检测网络进行预测，得到第二单车异常路面检测结果；对单车异常路面检测结果基于OPTICS算法进行多车感知结果融合，得到异常路面检测结果。
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