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公开(公告)号:CN100595581C
公开(公告)日:2010-03-24
申请号:CN200580029790.5
申请日:2005-08-22
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01N29/02
CPC classification number: G01N29/036 , G01N29/022 , G01N29/222 , G01N2291/022 , G01N2291/0256 , G01N2291/0423 , G01N2291/0425
Abstract: 本发明提供能够以高精度测定少量液体中的检测对象物质的、使用弹性表面波元件的液体中物质检测传感器及使用该液体中物质检测传感器的液体中物质检测装置。液体中物质检测传感器1具备:具有开口部2a及2b、而且在一面上设置电极连接盘的衬底基板2;以及在一面上设置具有至少一个IDT电极的检测部的SAW元件6及7,通过倒装芯片键合法使用凸点电极安装SAW元件6及7,使得SAW元件6及7的检测部面对衬底基板2的开口部2a及2b,利用与检测对象物质结合的反应膜13覆盖至少一个检测部。
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公开(公告)号:CN101467034A
公开(公告)日:2009-06-24
申请号:CN200780021611.2
申请日:2007-03-30
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01N29/02
CPC classification number: G01N29/022 , G01N2291/014 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0423 , G01N2291/0425
Abstract: 提供一种可以更高灵敏度且准确地测定液体中的检测物质的液体中物质检测传感器。该液体中物质检测传感器(1)具备:含有按照覆盖至少1个IDT的方式来设置与液体中的物质反应的反应膜的感测用SAW元件(12)、及包含第1放大电路(15)的感测用振荡电路(11);和包含具有至少1个IDT、没有反应膜的参考用SAW元件(22)、及第2放大电路(25)的参考用振荡电路(21);感测用振荡电路(11)的振荡频率、和参考用振荡电路(21)的振荡频率在设感测用SAW元件及参考用SAW元件所使用的压电基板的机电耦合数为k2(%)时,间隔200×k2(ppm)以上。
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公开(公告)号:CN114127420A
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202080046213.1
申请日:2020-03-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 冈口健二朗
Abstract: 泵装置(1)具备压电泵(10)和外部壳体(70)。压电泵(10)具备:具有吸入口(400)和排出口(520)的泵壳体、配置于泵壳体的内部并将泵壳体的内部空间(500)划分为靠吸入口(400)侧的第一空间(501)和靠排出口侧的第二空间(502)的振动板(31)、以及配置于振动板(31)的压电元件(20)。外部壳体(70)形成由将连通于外部的外部流入口(701)与吸入口(400)连通的内部空间(700)构成的流路。流路具有与泵壳体中的形成有吸入口(400)的外主表面(40op)平行并配置于外主表面(40op)的外侧的部分。
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公开(公告)号:CN113614374A
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN202080021881.9
申请日:2020-01-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明涉及泵单元。本发明的泵单元(100)具备:多个压电泵(1),分别具有第一流路,能够吸引或者排放流体;流路形成部件(50),具有用于与多个第一流路的每一个连接的第二流路;以及散热部(60),对在多个压电泵(1)的每一个中产生的热量进行散热,散热部(60)配置于多个压电泵(1)的每一个与流路形成部件(50)之间,在散热部(60)设置有将第一流路和第二流路连接的贯通孔。
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公开(公告)号:CN113165790A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN201980077512.9
申请日:2019-11-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供雾化器,雾化器具备:第一压电泵,从排出口排出气体;第一流路,是具有第二端、和与第一压电泵的排出口连接的第一端的流路,且在第一端与第二端之间设置有连接点;液体存积部,用于存积液体;以及第二流路,具有与液体存积部连接的第一端、和与连接点连接的第二端。
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公开(公告)号:CN110337542B
公开(公告)日:2021-04-27
申请号:CN201880014233.3
申请日:2018-02-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 流体控制装置具备:压电泵,具有压电元件;驱动电路,被施加驱动电源电压,来驱动压电元件;以及起动电路,设置在电源电压的输入部与驱动电路之间。起动电路使驱动电源电压在起动后的第一阶段(P1)上升到小于稳态电压(Vc)的电压(V1),在接着第一阶段(P1)的第二阶段(P2)使其维持或者下降,在接着第二阶段(P2)的第三阶段(P3)使其上升到稳态电压(Vc)。
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公开(公告)号:CN110709606B
公开(公告)日:2020-09-18
申请号:CN201880035346.1
申请日:2018-05-21
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压力控制装置(10)具备泵(21)、连结管(30)、第1阀(41)和第2阀(42)。泵(21)具有吸入口(211)与排出口(212)。连结管(30)的第1端与排出口(212)连通,第2端与吸入口(211)连通,连结管具有包含第1端的第1空间(31)、包含第2端的第2空间(32)和第1空间(31)与第2空间(32)之间的第3空间(33)。第1阀(41)在将第1空间(31)与连结管(30)的外部空间连通而不将第1空间(31)与第3空间(33)连通的状态、和不将第1空间(31)与连结管(30)的外部空间连通而将第1空间(31)与第3空间(33)连通的状态之间进行切换。第2阀(42)在将第2空间(32)与第3空间(33)连通的状态、和不将第2空间(32)与第3空间(33)连通的状态之间进行切换。
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公开(公告)号:CN111656014A
公开(公告)日:2020-09-11
申请号:CN201980010451.4
申请日:2019-01-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明提供流体控制装置(101),具备压电泵(10)、压力容器(12)、输入部、驱动控制部(30)以及驱动电路(20)。压电泵(10)具备体积因压电元件(11)的位移而变动的泵室(117)、以及与泵室(117)连通并具有阀膜(130)的阀室(120),并具有连通泵室(117)与泵室外的泵室开口、以及连通阀室与阀室外的阀室开口。压力容器(12)与阀室(120)连通。输入部从电源输入电源电压。驱动控制部(30)由从输入部输入的电源电压生成驱动电源电压并输出。驱动电路(20)被施加来自驱动控制部(30)的驱动电源电压,而驱动压电元件(11)。另外,驱动控制部(30)根据阀膜(130)的振动状态,来调整驱动电源电压或者与该驱动电源电压对应的驱动电流。
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公开(公告)号:CN110213990A
公开(公告)日:2019-09-06
申请号:CN201880008312.3
申请日:2018-02-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 冈口健二朗
IPC: A61B5/0225 , F04B45/047 , F04B49/02 , F04B49/10 , H02N2/06 , H03B5/32 , H03H11/04
Abstract: 流体控制装置(10)具备:压电泵(11),包含压电元件(12),且排出压的输出根据压电元件(12)的驱动频率而变化;自激电路(20),通过驱动电源电压(Vc)进行自激振荡而以振荡频率驱动压电元件(12);以及控制电路(13),生成控制电压(Vg)。根据控制电压(Vg)而自激电路(20)的振荡频率变化。
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公开(公告)号:CN103988327B
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:CN201280059515.8
申请日:2012-11-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 冈口健二朗
IPC: H01L41/09 , H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/042
Abstract: 压电元件用驱动电路(10)包括H桥电路(11)、带LPF的差动放大电路(12)、放大电路(13)、以及反相电路(14)。从H桥电路(11)输出的彼此反相的第1、第2驱动信号施加于压电元件(P)。与H桥电路(11)的第1输出端子(OUT1)相连接的电阻器(15)的两端电压输入带LPF的差动放大电路(12)。从带LPF的差动放大电路(12)输出的差动信号通过低通滤波器的功能而使高次谐波分量受到抑制,从而使压摆率得以降低。因此,输入H桥电路(11)的第1、第2输入端子(IN1、IN2)的第1、第2控制信号的压摆率也得以降低。由此,第1、第2控制信号成为台阶状的波形,成为高次谐波分量受到抑制的信号。
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