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公开(公告)号:CN113614374B
公开(公告)日:2023-01-13
申请号:CN202080021881.9
申请日:2020-01-10
Applicant: 株式会社村田制作所(JP)
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明涉及泵单元。本发明的泵单元(100)具备:多个压电泵(1),分别具有第一流路,能够吸引或者排放流体;流路形成部件(50),具有用于与多个第一流路的每一个连接的第二流路;以及散热部(60),对在多个压电泵(1)的每一个中产生的热量进行散热,散热部(60)配置于多个压电泵(1)的每一个与流路形成部件(50)之间,在散热部(60)设置有将第一流路和第二流路连接的贯通孔。
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公开(公告)号:CN113614374A
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN202080021881.9
申请日:2020-01-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明涉及泵单元。本发明的泵单元(100)具备:多个压电泵(1),分别具有第一流路,能够吸引或者排放流体;流路形成部件(50),具有用于与多个第一流路的每一个连接的第二流路;以及散热部(60),对在多个压电泵(1)的每一个中产生的热量进行散热,散热部(60)配置于多个压电泵(1)的每一个与流路形成部件(50)之间,在散热部(60)设置有将第一流路和第二流路连接的贯通孔。
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