公开(公告)号：CN110462516A

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201880018047.7

申请日：2018-07-25

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  李泰燮 ,  金智慧

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/033 ,  G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供了具有优异的储存稳定性、灵敏度、显影特性、耐镀覆性和耐热性的正性光致抗蚀剂组合物。更具体地，将呈具有与所述光致抗蚀剂组合物中包含的树脂相同的重复单元结构的低聚物的形式的特定溶解抑制剂应用于所述组合物。

公开(公告)号：CN110178086A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201880006629.3

申请日：2018-10-25

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  金容美 ,  金智慧

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033

Abstract: 本公开内容涉及化学增幅型光致抗蚀剂组合物和使用其的光致抗蚀剂膜，所述化学增幅型光致抗蚀剂组合物能够使由所述组合物获得的光致抗蚀剂的开裂最小化并提高对基底的粘合性和感光度。

公开(公告)号：CN101998947B

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN200980112763.2

申请日：2009-06-30

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 许闰姬 ,  林敏映 ,  池昊燦 ,  金星炫 ,  金韩修 ,  金善花

IPC: C07C51/54

CPC classification number: C07C59/285 ,  C07C269/02 ,  C07C2603/18 ,  C07C271/16

Abstract: 本发明涉及一种氨基甲酸酯的多官能单体、一种该单体的制备方法，及一种含有该单体的光敏树脂组合物。所述氨基甲酸酯的多官能单体通过反应以下化合物而制备：(a)一种具有至少2个环氧基的环氧化合物，(b)一种具有酸基的二元醇化合物，(c)一种具有烯键式不饱和基和异氰酸酯基的化合物。所述含有本发明的氨基甲酸酯多官能单体的光敏树脂组合物具有较低的粘度和优良的感光性，及突出的耐化学性、耐热性和显影宽容度。

公开(公告)号：CN101646698B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN200880010494.4

申请日：2008-10-06

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 金韩修 ,  金星炫 ,  朴光汉 ,  林敏映 ,  许闰姬 ,  刘志钦 ,  金善花

IPC: C08F220/00 ,  C08F2/38

CPC classification number: G03F7/027 ,  C08F2/38 ,  C08F120/18 ,  C08F220/06 ,  C08F220/10 ,  C08F222/00 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/033 ,  G03F7/0382

Abstract: 提供了一种碱溶性树脂。该碱溶性树脂使用多官能硫醇化合物作为链转移剂而制得。所述碱溶性树脂具有比相同分子量的树脂更低的粘度。还提供了一种含有所述碱溶性树脂作为粘结剂用树脂的负型光敏树脂组合物。所述碱溶性树脂的使用降低了光敏树脂组合物的整体粘度，从而使用少量光敏树脂组合物即可有效降低光致抗蚀剂图案的阶跃部分的高度。

公开(公告)号：CN111699206B

公开(公告)日：2022-05-10

申请号：CN201980012719.8

申请日：2019-10-31

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 金智慧 ,  全成浩 ,  林敏映

IPC: C08F232/02 ,  C08F8/34 ,  G03F7/039

Abstract: 本公开内容涉及包含光致产酸剂的聚合物。

公开(公告)号：CN109429511B

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN201880001512.6

申请日：2018-03-16

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  李泰燮 ,  金智慧

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明涉及正性光致抗蚀剂组合物、使用其的光致抗蚀剂图案和用于制造图案的方法，所述正性光致抗蚀剂组合物包含含有特定结构的重复单元的丙烯酸类树脂、和光敏酸产生化合物。

公开(公告)号：CN111670177A

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN201980010872.7

申请日：2019-10-11

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 朴贤旻 ,  林敏映

IPC: C07C309/23 ,  C07C321/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/032 ,  G03F7/26

Abstract: 本说明书提供了化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物、包含其的光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。

公开(公告)号：CN110178084A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201880006630.6

申请日：2018-11-22

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 安庸植 ,  金容美 ,  林敏映

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/028 ,  G03F7/11

Abstract: 本发明涉及光致抗蚀剂组合物和使用其的光致抗蚀剂膜，所述光致抗蚀剂组合物能够形成其中在金属表面基底上形成精细图案期间高度感光的同时抑制基脚现象的图案，并且能够产生化学稳定性优异的光致抗蚀剂膜。

公开(公告)号：CN101646977B

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN200880009943.3

申请日：2008-11-10

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 崔东昌 ,  崔庚铢 ,  池昊燦 ,  车槿英 ,  林敏映 ,  金星炫 ,  金韩修 ,  许闰姬 ,  刘志钦

IPC: G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0007 ,  G03F7/033 ,  G03F7/105

Abstract: 本发明的有色分散体包含一种作为粘合剂树脂的含有式1至4的单体的树脂。因此，可提供一种用于具有高遮光性的黑色矩阵的光致抗蚀剂组合物，该组合物含有分散性稳定的本发明有色分散体；并且可制备一种具有均匀的加工特性同时保持高遮光性的高灵敏性黑色矩阵。

公开(公告)号：CN101998947A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN200980112763.2

申请日：2009-06-30

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 许闰姬 ,  林敏映 ,  池昊燦 ,  金星炫 ,  金韩修 ,  金善花

IPC: C07C51/54

CPC classification number: C07C59/285 ,  C07C269/02 ,  C07C2603/18 ,  C07C271/16

Abstract: 本发明涉及一种氨基甲酸酯的多官能单体、一种该单体的制备方法，及一种含有该单体的光敏树脂组合物。所述氨基甲酸酯的多官能单体通过反应以下化合物而制备：(a)一种具有至少2个环氧基的环氧化合物，(b)一种具有酸基的二元醇化合物，(c)一种具有烯键式不饱和基和异氰酸酯基的化合物。所述含有本发明的氨基甲酸酯多官能单体的光敏树脂组合物具有较低的粘度和优良的感光性，及突出的耐化学性、耐热性和显影宽容度。