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公开(公告)号：CN104074766A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410116543.X
申请日：2014-03-26
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F23J13/00 , B01D53/68 , B01D53/76 , B01D2251/102 , B01D2257/204 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04C25/02 , F04C2220/30 , F23G5/32 , F23G7/065 , F23J2219/00 , F23J2900/01007 , F23L17/00
Abstract: 本发明提供带有除害功能的真空泵，通过旋转地供给可将废气和燃料充分稀薄化的量的空气而使其燃烧，能够在处理副产物不熔融或不向除害部内附着的情况下以粉体状态直接排出。本发明提供的真空泵（1），在真空泵（1）的排气口上附设有对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使其无害化的除害部（10），除害部（10）在筒状体（11）的一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口，在另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口，在筒状体（11）的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴（16），在筒状体的周壁上设有以沿着周壁的内周面而形成旋转流方式喷出空气的多个空气喷嘴（15），多个空气喷嘴（15）沿筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置。
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公开(公告)号：CN1877132A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610074182.2
申请日：2006-04-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种可在最适合处理状态的状态下运转并提高真空排气系统的效率的真空排气系统。真空排气系统(10)具有真空泵(20)、(30)、设置于真空排气系统(10)中的真空区域的压力传感器(50)。真空泵(20)、(30)具有输送气体的一对转子、使一对转子旋转的电动机、使一对转子同步的定时齿轮、控制电动机旋转的驱动器(26)、(36)。真空排气系统(10)还具有控制部(60)，根据由压力传感器(50)检测出的压力，经由真空泵(20)、(30)的驱动器(26)、(36)来控制转子的旋转速度。
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公开(公告)号：CN112664460B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202011095546.1
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；以及侧加热器(55A)，该侧加热器配置在侧罩(10A)内。
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公开(公告)号：CN118462578A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410156186.3
申请日：2024-02-04
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种粉体难以夹在罗茨转子间，能够维持罗茨转子的顺利的旋转的真空泵。第一罗茨转子(8C)及第二罗茨转子(9C)分别具有：具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面(31)、与渐开线侧面(31)的外侧端部连接的圆弧凸面(34)、以及与渐开线侧面(31)的内侧端部连接的圆弧凹面(36)，圆弧凸面(34)的曲率半径比圆弧凹面(36)的曲率半径大。
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公开(公告)号：CN111048441B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN201910963541.7
申请日：2019-10-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够抑制因配管的壁面的腐蚀而导致的装置性能下降、装置整体故障的除害装置和该除害装置的配管部的更换方法及配管的清洗方法。除害装置(100)具有形成供处理气体流动的流路(103)的内壁(104)，还具备：第一配管(130)，形成流路(103)的一部分；能够更换的配管部170，形成流路(103)的一部分，且位于第一配管(130)的流路(103)的下游侧并与第一配管(130)连接，配管部具有对将附着于内壁(104)的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部(174)；及第二配管(150)，形成流路(103)的一部分，且位于配管部(170)的流路(103)的下游侧并与配管部(170)连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116576110A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310073318.1
申请日：2023-02-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种能够从转子室良好地排出气体中含有的粉体的真空泵。真空泵(1)具备：在内部具有转子室(5)的泵壳体(6)；配置于转子室(5)内的一对罗茨转子(8)；及支承一对罗茨转子(8)的一对旋转轴(9)。泵壳体(6)具有与转子室(5)连通的气体入口(12)和气体出口(13)，形成转子室(5)的内壁(22)与形成气体出口(13)的内壁(23)的连接部(25)位于通过各罗茨转子(8)的旋转中心(RC)和下止点(LP)地延伸的转子中心线(CL)上，或者位于转子中心线(CL)的外侧。
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公开(公告)号：CN114109832A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111445458.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 一种信息处理装置，具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
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公开(公告)号：CN104214101A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410234030.9
申请日：2014-05-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: B01D53/74 , B01D53/005 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , Y10T137/85978
Abstract: 本发明提供带除害功能的真空泵，不需要为了将废气处理至容许浓度以下而进行除害部的定制(根据规格改变)，能够大幅缩短设计时间、验证时间，能够削减交货期，而且，与安全容许浓度相符地提供最低限度的规格，由此能够以最小限度的初始成本、使用成本来提供带除害功能的真空泵。在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理使之无害化的除害部(10)，在该真空泵(1)中，准备多个类型的、废气的处理形式以及/或者废气的处理量不同的除害部，并根据从真空泵(1)排出的废气的气体量以及气体种类而从多个类型的除害部(10)中选定1台或者多台除害部(10)，将所选定的除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。
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公开(公告)号：CN101111680B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200680003883.5
申请日：2006-04-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B49/10
CPC classification number: F04B51/00 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C2220/10 , F04C2270/80 , F04C2280/02
Abstract: 本发明提供了一种能够进行干式真空泵的自诊断的真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统。真空泵自诊断方法确定故障的发生，并且当预定的警报设定值被用于旋转所述真空泵的转子的马达的电流的积分值或平均值超过时产生警报。在用于进行真空泵的自诊断的真空泵自诊断系统中，该真空泵包括外壳和设置在外壳内的可旋转的转子，以通过转子的旋转吸入和排出气体，转子包括多级，且压力传感器设置在转子级之间。设置一自诊断单元，以计算用于旋转所述转子的马达的电流的积分值或平均值，并且当积分值或平均值超过预定警报设定值时进行真空泵的自诊断。该自诊断单元基于由所述压力传感器检测的压力值从一种自诊断计算方法转换到另一种自诊断计算方法或中断自诊断计算。
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公开(公告)号：CN1877132B
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200610074182.2
申请日：2006-04-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种可在最适合处理状态的状态下运转并提高真空排气系统的效率的真空排气系统。真空排气系统(10)具有真空泵(20)、(30)、设置于真空排气系统(10)中的真空区域的压力传感器(50)。真空泵(20)、(30)具有输送气体的一对转子、使一对转子旋转的电动机、使一对转子同步的定时齿轮、控制电动机旋转的驱动器(26)、(36)。真空排气系统(10)还具有控制部(60)，根据由压力传感器(50)检测出的压力，经由真空泵(20)、(30)的驱动器(26)、(36)来控制转子的旋转速度。
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