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公开(公告)号:CN115144614A
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202210313136.2
申请日:2022-03-28
IPC: G01P15/125 , G01C21/16 , B81B7/00
Abstract: 微振动体(2)包括曲面部(21)、从曲面部凹入的凹部(22)、从凹部的底面(22b)突出的底面突出部(23)以及在底面突出部内的通孔(24)。安装基板(3)具有供底面突出部插入其中的定位凹部(43),以及围绕内框架部的电极部(53)。接合构件(52)位于定位凹部中,并将底面突出部与安装基板接合。底面与安装基板的围绕定位凹部的区域接触。底面突出部具有与定位凹部间隔一定距离的梢端面(23b)。接合构件至少部分地进入通孔,并且电连接到导电层。
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公开(公告)号:CN112088483A
公开(公告)日:2020-12-15
申请号:CN201980030650.1
申请日:2019-06-06
Applicant: 株式会社电装
IPC: H02N11/00 , B06B1/04 , B81B3/00 , G01C19/5747 , H01L29/84
Abstract: 静电致动器具备固定电极(1)和以与固定电极(1)对置的方式配置的可动电极(2)。可动电极(2)能够相对于固定电极(1)及固定部(3)位移。在可动电极(2)与固定部(3)之间作用吸引力。并且,静电致动器的在对固定电极(1)及可动电极(2)施加了电压时的可动电极(2)的非线性振动被在可动电极(2)与固定部(3)之间作用的吸引力降低。
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