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公开(公告)号：CN102162082A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110036180.5
申请日：2011-02-11
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种能够对应于大型基板的蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀方法。在蒸镀掩模（10）上形成开口部（11），以使其中心间距离为基板（50）的像素（51a1、51a2）的中心间距离的2倍。将该蒸镀掩模配置在基板上，在进行对位以使开口部和遮蔽部（19）交替地配置在各像素（51a1、51a2、51ax）的上方的状态下，将与开口部面对的像素（51a1）成膜，接着使蒸镀掩模移动像素（51a1、51a2）的中心间距离，使开口部位于在移动前与遮蔽部面对的未成膜的像素（51a2、51ax）的上方，在此状态下在未成膜的像素（51a2、51ax）上成膜薄膜。由于开口部的间隔比以往宽，所以能够使在开口部形成时蒸镀掩模损坏的可能性比以往减小，大型的蒸镀掩模的制造变得容易。
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公开(公告)号：CN101927610A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010207271.6
申请日：2010-06-17
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: B41J2/21 , G02B5/20 , G02F1/1335
Abstract: 本发明涉及喷出装置。本发明提供一种喷出装置中命中位置与喷出口的对位方法。本发明的喷出装置(10)具有在第一方向能移动的基板移动部(20)、保持多个头(32)的头保持部(30)、移动摄像机(21)、多个固定摄像机(31)。首先，由移动摄像机(21)对头(32)所具有的喷出口(35)进行拍摄，并通过个别头位置修正单元进行各头(32)的相对的对位。接着，由固定摄像机(31)对基板(50)上的多个基板基准点进行拍摄，并以多个基板基准点与第二方向平行的方式，利用基板旋转机构(42)使基板(50)旋转移动。再接着，由头移动机构使头保持部(30)向对位方向仅移动所希望距离。通过以上的顺序，能以基板(50)上的规定的命中位置通过规定的喷出口(35)的正下方位置的方式进行对位。
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公开(公告)号：CN101927600A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010212510.7
申请日：2010-06-22
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明涉及喷出装置及喷出方法。本发明提供喷出装置及喷出方法，其构成为，对沿两个导轨移动基板的基板移动部在水平面上的旋转方向的倾斜进行检测并修正。本发明的喷出装置(10)构成为，具有第一、第二主干涉装置(62a)、(62b)、和第一、第二主镜装置(61a)、(61b)，能测定在基板移动部(20)的水平面上的旋转方向的倾斜。基板移动部(20)的移动中，根据该测定结果分别控制两个导轨上的移动量，使所述倾斜与移动开始前相同。喷出装置(10)构成为，具有第一、第二副干涉装置(62c)、(62d)、和副镜装置(61c)，且能测定基板移动部(20)在x轴方向的位置。基板移动部(20)的移动中，通过根据该测定结果控制头(32)的移动并使头(32)与基板移动部(20)的x轴方向的相对位置关系与移动开始前相同，能使从喷出口(35)喷出的喷出液，命中基板(50)上的各命中位置。
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公开(公告)号：CN101267894B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200680034370.0
申请日：2006-10-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: B41J2/175 , B41J2/18 , G02F1/1303 , G02F1/13394 , Y10T137/3115 , Y10T137/3127 , Y10T137/85954
Abstract: 本发明提供气泡发生较少的涂布装置。使供给侧的循环罐(31L)的内部空间压力为比大气压低但比缓冲罐(41a-41c)内部空间压力高的压力，供给分散液，使作为回收目的地的循环罐(31R)的内部压力比大气压低，回收喷出室(42a-42c)内部的分散液。分散液不与比大气压高的高压气体接触，因此气体的溶解少，不使用泵，因此没有气体卷入或固体微粒的变形。
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公开(公告)号：CN1950536A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200580013553.X
申请日：2005-05-13
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种可对大型基板进行膜厚分布均匀的成膜、并可准确且响应性良好地进行蒸镀时加热温度和蒸发速度的控制的有机材料用蒸发源及采用该蒸发源的有机蒸镀装置。本发明的蒸发源具有容器主体部(31a)和盖部(31b)，所述容器主体部具有由高频感应线圈(50)构成的加热部，并用于容纳既定的有机材料，所述盖部具有用于使该有机材料的蒸气通过的蒸发口(31c)。从盖部(31b)的蒸发口(31c)放出的有机材料的蒸气量，就二维位置而言，以既定的基准位置为基准呈逐渐扩展状增加。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102162082B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201110036180.5
申请日：2011-02-11
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 提供一种能够对应于大型基板的蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀方法。在蒸镀掩模（10）上形成开口部（11），以使其中心间距离为基板（50）的像素（51a1、51a2）的中心间距离的2倍。将该蒸镀掩模配置在基板上，在进行对位以使开口部和遮蔽部（19）交替地配置在各像素（51a1、51a2、51ax）的上方的状态下，将与开口部面对的像素（51a1）成膜，接着使蒸镀掩模移动像素（51a1、51a2）的中心间距离，使开口部位于在移动前与遮蔽部面对的未成膜的像素（51a2、51ax）的上方，在此状态下在未成膜的像素（51a2、51ax）上成膜薄膜。由于开口部的间隔比以往宽，所以能够使在开口部形成时蒸镀掩模损坏的可能性比以往减小，大型的蒸镀掩模的制造变得容易。
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公开(公告)号：CN101927608B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201010208492.5
申请日：2010-06-18
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: B41J2/165
Abstract: 本发明涉及维护装置及喷出装置。本发明提供一种以在头的下方移动且能进行喷出口的清扫和检查的方式构成的维护装置及具有维护装置的喷出装置。本发明的维护装置(10)沿喷出装置(70)的主导轨(72)移动，该喷出装置(70)是使基板(95)沿主导轨(72)移动，并通过头保持部(80)的下方，从多个头(81)的喷出口(82)使喷出液的液滴喷出，并命中到基板(95)。维护装置(10)具有：载置于主导轨(72)上的第一移动台(15a)；配置于第一移动台(15a)上的载置台(19)；载置于载置台(19)上的检查装置(20)和清扫装置(30)。通过使第一移动台(15a)沿主导轨(72)移动到头保持部(80)的下方，然后，通过使载置台(19)在第一移动台(15a)上移动，使清扫装置(30)配置于各头(81)的正下方，进而能除去喷出口(82)的附着物，或者，使检查装置(20)的摄像机的焦点配置于各喷出口(82)的正下方，并对喷出液的液滴进行摄影，进而能检查喷出口(82)。
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公开(公告)号：CN101927599B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201010208450.1
申请日：2010-06-18
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: B41J2/01
Abstract: 本发明涉及喷出装置及使用喷出装置的喷出方法。本发明提供一种喷出装置，在使基板通过头保持部之下的期间能同样地喷出油墨。本发明的喷出装置具有头保持部(30)和在y轴方向能移动的基板移动部(20)。在头保持部(30)，多个头(32)构成头组，多个头组构成头群。一个头组中的头(32)以多个喷出口(35)正投影于x轴上的位置间隔相等的方式配置，且在一个头群中，正投影于x轴上的喷出口的位置关系中，在一个头组中邻接的两个喷出口(35)之间设置其它的头组的喷出口(35)，多个头组中的喷出口等间隔地配置。将被喷出范围的宽度为一个头群中包含的喷出口(35)的列的x轴方向的宽度以下的基板(50)，在基板移动部(20)上对位后，一边使其通过头保持部(30)之下，一边喷出所述油墨，由此，能同样地喷出。
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公开(公告)号：CN101927608A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010208492.5
申请日：2010-06-18
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: B41J2/165
Abstract: 本发明涉及维护装置及喷出装置。本发明提供一种以在头的下方移动且能进行喷出口的清扫和检查的方式构成的维护装置及具有维护装置的喷出装置。本发明的维护装置(10)沿喷出装置(70)的主导轨(72)移动，该喷出装置(70)是使基板(95)沿主导轨(72)移动，并通过头保持部(80)的下方，从多个头(81)的喷出口(82)使喷出液的液滴喷出，并命中到基板(95)。维护装置(10)具有：载置于主导轨(72)上的第一移动台(15a)；配置于第一移动台(15a)上的载置台(19)；载置于载置台(19)上的检查装置(20)和清扫装置(30)。通过使第一移动台(15a)沿主导轨(72)移动到头保持部(80)的下方，然后，通过使载置台(19)在第一移动台(15a)上移动，使清扫装置(30)配置于各头(81)的正下方，进而能除去喷出口(82)的附着物，或者，使检查装置(20)的摄像机的焦点配置于各喷出口(82)的正下方，并对喷出液的液滴进行摄影，进而能检查喷出口(82)。
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公开(公告)号：CN101663614A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200880013121.2
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G02F1/1339 , B05D1/26 , B05D3/00
CPC classification number: G02F1/13392 , G02F1/13394
Abstract: 本发明提供不产生条纹的衬垫料的配置技术。通过计算机(8)使随机数产生，按产生的每一个使其与喷出对象物(10)的喷出位置(11)一对一地对应，在计算机(8)内部的存储装置(9)中存储。基于存储的随机数，按喷出位置(11)的每一个求取系数值，将系数值乘以按各喷嘴孔(N 1 ～N n )的每一个设定的电压值，对按各喷出位置(11)的每一个求取的个别电压值进行计算。以与喷出位置(11)对应的个别电压值对喷出头(4)内的压电元件施加电压，当从喷出头(4)内设置的多个喷嘴孔(N 1 ～N n )喷出包含衬垫料的喷出液时，在喷出对象物(10)上配置按照随机数的个数的衬垫料。
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