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公开(公告)号：CN108450010B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201680055320.4
申请日：2016-09-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本结构能够以紧凑的组件尺寸并且以最小的横轴灵敏度实现加速度的双向感测。旋转质量块(100)包括第一框架(102)和第二框架(102)。在一个感测方向上，该结构采用第一框架和第二框架的组合检测质量块，这提高了利用所述装置尺寸可实现的信噪比水平。在另一个感测方向上，具有至少两个感测元件的检测结构(140)用于检测第二框架的检测质量块的位移。由于检测结构(140)的特定内部构造，感测元件在一个方向上的信号贡献相互抵消。
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公开(公告)号：CN108027386B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201680054607.5
申请日：2016-09-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安斯·布卢姆奎斯特 , 维莱-佩卡·吕特克宁 , 马蒂·柳库
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , B81C1/00 , B81B3/00 , B81B7/00
Abstract: 本发明涉及一种微机电装置，其包括半挠性敏感质量块，该半挠性敏感质量块包括至少一个一级部分、至少一个二级部分和将半挠性敏感质量块的所述至少一个一级部分和所述至少一个一级部分悬挂的至少一个刚性弹簧。当该装置处于其正常操作范围时，刚性弹簧大致使所述至少一个一级部分和所述至少一个二级部分作为单个刚性实体移动。该装置还包括构造成使所述至少一个一级部分停止的至少一个第一止动器结构。半挠性敏感质量块构造成在该装置受到以超出该装置的正常操作范围的力碰撞该装置的冲击时通过所述至少一个刚性弹簧的偏转而变形。在该冲击引起半挠性敏感质量块至少在沿着运动轴线的一个方向上的运动的同时，所述至少一个刚性弹簧还构造成产生回复力，该回复力使半挠性敏感质量块的所述至少一个二级部分被驱动成在与由冲击引起的沿着运动轴线的运动相反的方向上进行回复运动，其中，所述至少一个二级部分在回复运动中的动量进一步使所述至少一个一级部分与第一止动器结构脱离。
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公开(公告)号：CN107667067B
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201680027941.1
申请日：2016-05-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 安蒂·伊霍拉 , 阿尔蒂·托尔凯利 , 维尔-佩卡·吕特克宁 , 马蒂·柳库
IPC: G01P15/125 , B81B3/00
Abstract: 本发明涉及一种微机械器件，其包括仅包含均质硅材料的多层微机械结构。器件层包括至少一转子和至少两个定子。来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第一表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度，并且来自转子和至少两个定子中的至少一些从器件层的第二表面至少部分地凹入至至少两个不同的凹入深度。
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公开(公告)号：CN109782431A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811331965.3
申请日：2018-11-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供了一种具有中央支撑件的微机电反射器。本发明涉及一种扫描式微机电反射器系统，其包括具有反射器本体的反射器、在器件平面上方的与反射器本体竖向对准的第一腔体以及在器件平面下方的与反射器本体竖向对准的第二腔体。反射器还包括位于反射器本体中的中央开口内的中央附接点。一个或更多个挠曲件从中央开口的侧壁延伸至中央附接点。挠曲件使得在致动器单元将反射器本体向器件平面外倾斜时中央附接点能够保持静止在器件平面中。反射器系统包括延伸穿过腔体到达反射器的中央附接点的中央支撑结构。
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公开(公告)号：CN109425981B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN201810966381.7
申请日：2018-08-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 一种紧凑并且稳健的微机电反射器系统，其包括支承件、反射器、包括边缘点的反射器的外围边缘以及包括压电致动器并且从支承件悬挂反射器的悬挂件。两对悬挂件从两个固定点被固定至支承件，使得在每对悬挂件中，成对悬挂件的第一端被固定至该对悬挂件共同的固定点。第一旋转轴与穿过两个固定点的线对准，并且将反射器分成第一反射器部分和第二反射器部分。在每对悬挂件中，一个悬挂件的第二端被耦接至第一反射器部分，并且另一悬挂件的第二端被耦接至第二反射器部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108872638B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201810414277.7
申请日：2018-05-03
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 马蒂·柳库 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01P15/18 , G01P15/125
Abstract: 本公开内容描述了一种电容式微电子机械加速度计。该加速度计具有至少第一传感器，第一传感器包括作为双侧式跷跷板框架的转子。转子包括在其旋转轴的第一侧的一个或更多个第一阻尼板以及在其旋转轴的第二侧的一个或更多个第二阻尼板。一个或更多个第二阻尼板在该一个或更多个第一阻尼板中的至少一些的上方或下方被固定至内封装平面，使得至少一个第一阻尼板与第二阻尼板的投影在旋转轴的每一侧交叠。框架形转子可以围绕位于衬底平面中的第二加速度传感器和第三加速度传感器。
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公开(公告)号：CN108982917B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201810413983.X
申请日：2018-05-03
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 马蒂·柳库 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 描述了一种微电子机械加速度计。该加速度计包括：用于测量沿着垂直于衬底平面的竖直轴的加速度的第一传感器；以及具有与衬底平面相邻且平行的至少一个内封装平面的加速度计封装。第一传感器包括相对于衬底可移动的转子、转子悬吊件以及相对于衬底不可移动的一个或更多个定子。转子是跷跷板框架，其中纵向转子杆包括一个或更多个第一偏转电极，并且第二偏转电极在该一个或更多个第一偏转电极中的每一个的上方和/或下方被固定至内封装平面，使得它们交叠。该加速度计可以被配置成通过将测试电压施加于至少一个第一偏转电极和至少一个第二偏转电极来执行自测试。可以利用在转子电极与定子电极之间进行的电容式测量来读取自测试响应信号。
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公开(公告)号：CN109425981A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810966381.7
申请日：2018-08-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 一种紧凑并且稳健的微机电反射器系统，其包括支承件、反射器、包括边缘点的反射器的外围边缘以及包括压电致动器并且从支承件悬挂反射器的悬挂件。两对悬挂件从两个固定点被固定至支承件，使得在每对悬挂件中，成对悬挂件的第一端被固定至该对悬挂件共同的固定点。第一旋转轴与穿过两个固定点的线对准，并且将反射器分成第一反射器部分和第二反射器部分。在每对悬挂件中，一个悬挂件的第二端被耦接至第一反射器部分，并且另一悬挂件的第二端被耦接至第二反射器部分。
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公开(公告)号：CN108982917A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810413983.X
申请日：2018-05-03
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 马蒂·柳库 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 描述了一种微电子机械加速度计。该加速度计包括：用于测量沿着垂直于衬底平面的竖直轴的加速度的第一传感器；以及具有与衬底平面相邻且平行的至少一个内封装平面的加速度计封装。第一传感器包括相对于衬底可移动的转子、转子悬吊件以及相对于衬底不可移动的一个或更多个定子。转子是跷跷板框架，其中纵向转子杆包括一个或更多个第一偏转电极，并且第二偏转电极在该一个或更多个第一偏转电极中的每一个的上方和/或下方被固定至内封装平面，使得它们交叠。该加速度计可以被配置成通过将测试电压施加于至少一个第一偏转电极和至少一个第二偏转电极来执行自测试。可以利用在转子电极与定子电极之间进行的电容式测量来读取自测试响应信号。
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公开(公告)号：CN108872638A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810414277.7
申请日：2018-05-03
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 马蒂·柳库 , 维莱-佩卡·吕特克宁
IPC: G01P15/18 , G01P15/125
Abstract: 本公开内容描述了一种电容式微电子机械加速度计。该加速度计具有至少第一传感器，第一传感器包括作为双侧式跷跷板框架的转子。转子包括在其旋转轴的第一侧的一个或更多个第一阻尼板以及在其旋转轴的第二侧的一个或更多个第二阻尼板。一个或更多个第二阻尼板在该一个或更多个第一阻尼板中的至少一些的上方或下方被固定至内封装平面，使得至少一个第一阻尼板与第二阻尼板的投影在旋转轴的每一侧交叠。框架形转子可以围绕位于衬底平面中的第二加速度传感器和第三加速度传感器。
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