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11.

发明公开
弹性波装置审中-实审

公开(公告)号：CN117083798A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202280025170.8

申请日：2022-03-29

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则 , 木村哲也 , 铃木胜己 , 石井优太

IPC: H03H9/25

Abstract: 弹性波装置(10A)具备：压电层(12)，具有相互对置的第1主面(12a)和第2主面(12b)；功能电极(14)，设置在压电层(12)的第1主面(12a)以及第2主面(12b)之中的至少一个主面之上；和支承基板(11)，层叠在压电层(12)的第2主面(12b)侧。在支承基板(11)与压电层(12)之间设置有空洞部(13)。从支承基板(11)和压电层(12)的层叠方向观察，功能电极(14)的至少一部分设置为与空洞部(13)重叠。设置有贯通压电层(12)并到达空洞部(13)的贯通孔(19)。在压电层(12)的第1主面(12a)之中的、形成贯通孔(19)的外缘(19a)的区域，设置有比未设置贯通孔(19)的区域突出的凸部(20)。

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