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公开(公告)号:CN113826408B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202080035943.1
申请日:2020-04-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电装置(100)包括基板(110)、压电元件(120)以及盖部(130)。压电元件(120)包含基部(121)和膜片部(122)。基部(121)位于第1主面(111)上,并且,在从第1主面(111)的法线方向观察时具有环状的外形。膜片部(122)在从法线方向观察时位于基部(121)的内侧。盖部(130)位于第1主面(111)上,在第1主面(111)侧与压电元件(120)分开且覆盖压电元件(120)。基板(110)在与膜片部(122)面对的位置形成有从第1主面(111)到达第2主面(112)的第1贯通孔(113)。在膜片部(122)形成有贯通狭缝(123)。
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公开(公告)号:CN114761143B
公开(公告)日:2023-07-21
申请号:CN202080081626.3
申请日:2020-07-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 在压电装置(100)中,悬臂梁部(120)具有固定端部(121)和自由端部(122)。板状部(130)具有相对端部(131)、支承端部(132)、第1侧方支承端部(133)以及第2侧方支承端部(134)。相对端部(131)与自由端部(122)相对。支承端部(132)在悬臂梁部(120)的延伸方向上位于与相对端部(131)侧相反的那一侧。板状部(130)在支承端部(132)的至少局部、第1侧方支承端部(133)的至少局部以及第2侧方支承端部(134)的至少局部连接于内侧面(111)。
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公开(公告)号:CN114830520A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202080087107.8
申请日:2020-08-18
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H02N2/00 , H01L41/187 , H01L41/337 , H04R17/00
Abstract: 换能器(100)包括基部(110)、多个梁部(120)以及结合材料部(130)。多个梁部(120)分别包含压电体层(10)、第1电极层(20)以及第2电极层(30)。结合材料部(130)在形成于相邻的多个梁部(120)之间的狭缝(123)内将多个梁部(120)彼此相互连接。结合材料部(130)以从基部(110)的上部到狭缝(123)内连续的方式设置。结合材料部(130)由杨氏模量比构成压电体层(10)的材料的杨氏模量低的材料构成。在基部(110)的中心轴线的轴向上,位于基部(110)的上部的结合材料部(130)的最大厚度比多个梁部(120)各自的厚度厚。
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公开(公告)号:CN114402446A
公开(公告)日:2022-04-26
申请号:CN202080064644.0
申请日:2020-05-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/04 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/187
Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)、第2电极层(130)以及连接电极(140)。压电体层(110)具有第1面(111)、第2面(112)以及贯通孔(113)。第2电极层(130)位于压电体层(110)的第2面(112)侧。第2电极层(130)面向贯通孔(113)。第2电极层(130)含有硅作为主要成分。连接电极(140)设于第2电极层(130)中的面向贯通孔(113)的连接面(131)上。连接电极(140)由金属形成。连接面(131)的表面粗糙度(Ra)比第2电极层(130)的压电体层(110)侧的面中的连接面(131)以外的部分即主面(132)的表面粗糙度(Ra)大。
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公开(公告)号:CN114342098A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202080062313.3
申请日:2020-05-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/29 , H03H9/17
Abstract: 在压电元件(100)中,第二电极层(130)位于单晶压电体层(110)的第二面(112)侧。在第二电极层(130)形成有与贯通孔(113)面对的孔部(131)。第二电极层(130)由Pt、Ti、Al、Cu、Au、Ag、Mg或者包含这些金属中的至少一种作为主成分的合金构成。第三电极层(140)配置在第二电极层(130)的与单晶压电体层(110)侧相反的一侧。第三电极层(140)设置为至少具有在从与第二面(112)垂直的方向观察时与孔部(131)的缘部(132)隔开间隔地位于比孔部(131)的缘部(132)靠外侧的位置的部分。第三电极层(140)由Ni或者包含Ni作为主成分的合金构成。
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公开(公告)号:CN114731149A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202080080825.2
申请日:2020-07-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 压电装置(100)包括外侧基部(110)、突出基部(120)以及仅一个悬臂梁部(130)。突出基部(120)具有突出部(121)和顶端部(122)。突出部(121)从外侧基部(110)的内周面(111)朝向环状的中央(C)突出。顶端部(122)连接于突出部(121)且位于上述中央(C)。悬臂梁部(130)连接于顶端部(122),与突出部(121)分开且伸出。悬臂梁部(130)具有固定端部(131)和自由周端部(132)。固定端部(131)连接于顶端部(122)。自由周端部(132)位于沿着内周面(111)的位置。突出部(121)位于自由周端部(132)的一端(132a)与另一端(132b)之间。
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公开(公告)号:CN114402447A
公开(公告)日:2022-04-26
申请号:CN202080064677.5
申请日:2020-05-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/187 , H01L41/29 , H01L41/313 , H01L41/332 , H01L41/337
Abstract: 压电元件(100)包括压电体层(110)、第1电极层(120)以及第2电极层(130)。压电体层(110)具有第1面(111)和第2面(112)。第2面(112)位于与第1面(111)相反的那一侧。第1电极层(120)设于第1面(111)上。第2电极层(130)设于第2面(112)上。第2电极层(130)至少局部隔着压电体层(110)而与第1电极层(120)相对。第2电极层(130)含有硅作为主要成分。压电体层(110)由单晶形成。
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公开(公告)号:CN113826408A
公开(公告)日:2021-12-21
申请号:CN202080035943.1
申请日:2020-04-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电装置(100)包括基板(110)、压电元件(120)以及盖部(130)。压电元件(120)包含基部(121)和膜片部(122)。基部(121)位于第1主面(111)上,并且,在从第1主面(111)的法线方向观察时具有环状的外形。膜片部(122)在从法线方向观察时位于基部(121)的内侧。盖部(130)位于第1主面(111)上,在第1主面(111)侧与压电元件(120)分开且覆盖压电元件(120)。基板(110)在与膜片部(122)面对的位置形成有从第1主面(111)到达第2主面(112)的第1贯通孔(113)。在膜片部(122)形成有贯通狭缝(123)。
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