公开(公告)号：CN1543062A

公开(公告)日：2004-11-03

申请号：CN200410032823.9

申请日：2004-04-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中川原修 ,  筱田明典

IPC: H03H9/145

CPC classification number: H03H3/08 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/4908

Abstract: 一种压电基材配备有包括第一电极层，第二电极层和主要由铝制成的第三电极层的叉指式换能器电极。压电基材在压电基材的表面上具有阶梯式结构，该阶梯式结构包括各自的宽度为约50nm或更小的阶面和各自的宽度为单分子层(例如，约14)的阶梯。

公开(公告)号：CN1430330A

公开(公告)日：2003-07-16

申请号：CN02160503.3

申请日：2002-12-27

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中川原修 ,  佐伯昌彦 ,  井上和裕

IPC: H03H9/25 ,  H03H3/08

CPC classification number: H03H9/02929 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49128 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49135 ,  Y10T29/49155

Abstract: 提供改善电极的抗应力迁移性，从而耐电性优良的声表面波元件。例如为了在θ旋转Y切割(θ＝36°～42°)的LiTaO3压电基片(2)上形成电极(3)，形成将Ti或Cr作为主成分的基底电极层(5)后，在其上形成将Al作为主成分的Al电极层(4)。Al电极层(4)是外延生长的取向膜，而且成为具有双晶结构的多晶膜，该结构在X射线衍射极点图中观察的衍射图案具有多个对称中心。