公开(公告)号：CN1543062A

公开(公告)日：2004-11-03

申请号：CN200410032823.9

申请日：2004-04-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中川原修 ,  筱田明典

IPC: H03H9/145

CPC classification number: H03H3/08 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/4908

Abstract: 一种压电基材配备有包括第一电极层，第二电极层和主要由铝制成的第三电极层的叉指式换能器电极。压电基材在压电基材的表面上具有阶梯式结构，该阶梯式结构包括各自的宽度为约50nm或更小的阶面和各自的宽度为单分子层(例如，约14)的阶梯。

公开(公告)号：CN100384086C

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200410032823.9

申请日：2004-04-12

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 中川原修 ,  筱田明典

IPC: H03H9/145

CPC classification number: H03H3/08 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/4908

Abstract: 一种压电基材配备有包括第一电极层，第二电极层和主要由铝制成的第三电极层的叉指式换能器电极。压电基材在压电基材的表面上具有阶梯式结构，该阶梯式结构包括各自的宽度为约50nm或更小的阶面和各自的宽度为单分子层(例如，约14)的阶梯。