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公开(公告)号：CN109314030B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201680086434.5
申请日：2016-06-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/075 , H01J37/252
Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。
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公开(公告)号：CN109314030A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201680086434.5
申请日：2016-06-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/075 , H01J37/252
Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。
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公开(公告)号：CN301456175S
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201030255891.8
申请日：2010-07-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为：探针架。2.本外观设计产品的用途为：保持在评价(测定)半导体芯片等样品的电特性时使用的微细探测器(探针)。在本外观设计产品的主视图右端表示的细筒状部上插入微细探测器，保持微细探测器进行使用。3.本外观设计产品的设计要点在于：立体图所示的形状。4.指定图片：立体图。5.使用状态参考图中，B为本外观设计产品。
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公开(公告)号：CN301538685S
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201030255870.6
申请日：2010-07-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为：半导体检查机用探针保持台。2.本外观设计产品的用途为：在评价(测定)半导体器件等样品的电特性的半导体检查装置中，安装在用于使探针对样品向需要测定的位置进行触针的探针移动机构的探针保持台。3.本外观设计产品的设计要点在于：立体图所示的形状。4.指定图片：立体图。5.使用状态参考图中，C为检测器，D为样品托座，E为检测器，F为本外观设计产品，G为探针，H为安装台。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN301436717S
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201030255892.2
申请日：2010-07-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品的名称为：探针收纳容器。2.本外观设计产品的用途为：用于保管、输送利用半导体检查装置评价(测定)半导体器件等样品的电特性的时候使用的微细探针的探针收纳容器。本外观设计产品由本体和盖构成，本体上具有探针保持部，通常装配盖进行探针的保管、输送。3.本外观设计产品的设计要点在于：立体图、后视图所表示的形状。4.指定图片：立体图。5.使用状态参考图中，C为空气孔，D为探针，E为空气孔，F为探针保持部。
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公开(公告)号：CN300935047D
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200830006182.9
申请日：2008-02-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本产品是用于对半导体片等的试样(样品)进行电测试时，使其保持上
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公开(公告)号：CN300903291D
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200830006184.8
申请日：2008-02-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本产品是对半导体片等的试样(样品)进行电测试时，为了保持上
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公开(公告)号：CN302889250S
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201430101448.3
申请日：2014-04-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1．本外观设计产品的名称：电子显微镜用试剂架。2．本外观设计产品的用途：本产品为用在电子显微镜上的试剂架，可将试剂搭载在设置于本产品主体上面的试剂搭载部，再将本产品配置在电子显微镜主体上进行使用。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。5．在参考图中，D-信号端子，E-试剂交换台，F-上下移动机构，G-刻度，H-试剂固定，I-试剂搭载部。
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公开(公告)号：CN300903290D
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200830006183.3
申请日：2008-02-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本产品是对半导体片等的试样(样品)进行电测试时，为了保持上
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